公开(公告)号：CN109827681A

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201910125217.8

申请日：2019-02-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 聂萌 ,  艾鹭 ,  陈佳琦

IPC: G01L1/14 ,  G01L1/18 ,  G01L9/06 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明公开一种含有放大结构的柔性应变传感器及其制备方法，该传感器包括柔性基底、感应薄膜层和结构层；柔性基底的顶端表面设有中心凹槽和四个边缘凹槽，四个边缘凹槽成中心对称分布在中心凹槽的四周；边缘凹槽的长度方向与柔性基底的横向成夹角设置，且该夹角为锐角；感应薄膜层位于柔性基底的中心凹槽中；结构层含有四个结构柱，结构柱位于柔性基底的边缘凹槽中并与边缘凹槽一一对应。本发明柔性应变传感器通过放大结构对感压薄膜层放大拉伸，实现提高柔性应变传感器的灵敏度的目的。本发明制备方法，工艺流程简单，可行性高。

公开(公告)号：CN109827681B

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201910125217.8

申请日：2019-02-19

Applicant: 东南大学

Inventor： 聂萌 ,  艾鹭 ,  陈佳琦

IPC: G01L1/14 ,  G01L1/18 ,  G01L9/06 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明公开一种含有放大结构的柔性应变传感器及其制备方法，该传感器包括柔性基底、感应薄膜层和结构层；柔性基底的顶端表面设有中心凹槽和四个边缘凹槽，四个边缘凹槽成中心对称分布在中心凹槽的四周；边缘凹槽的长度方向与柔性基底的横向成夹角设置，且该夹角为锐角；感应薄膜层位于柔性基底的中心凹槽中；结构层含有四个结构柱，结构柱位于柔性基底的边缘凹槽中并与边缘凹槽一一对应。本发明柔性应变传感器通过放大结构对感压薄膜层放大拉伸，实现提高柔性应变传感器的灵敏度的目的。本发明制备方法，工艺流程简单，可行性高。