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公开(公告)号：CN119761182A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411820316.5
申请日：2024-12-11
Applicant: 东北大学
IPC: G06F30/27 , G06F30/17 , G06N3/0464 , G06N3/126 , G06N7/08 , G06F119/06 , G06F119/08
Abstract: 本发明提供了一种用于布局可调的加热体组结构的非均匀布局优化方法，涉及真空炉技术领域，本发明通过神经网络对加热体布局参数在指定的目标函数，包括但不限于炉内温度均匀性、工件温度均匀性、炉内最大能效比、工件表面热流密度等指标进行寻优，通过所述方法可以得到在满足真空炉的物理边界条件，及满足目标函数的条件下，包括但不限于对真空烧结炉的加热体布局参数进行寻优，通过所述方法可以得到满足目标函数及边界条件的最优的加热体组布局参数，通过所述基于神经网络的加热体非均匀布局参数优化方法得到满足目标函数及边界条件的最优的加热体布局参数后，可通过所述可调节加热体组实现加热体长度动态可调。
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公开(公告)号：CN119492267A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411528157.1
申请日：2024-10-30
Applicant: 东北大学
IPC: F27D5/00 , G06F30/17 , G06F30/27 , G06N3/126 , G06N5/01 , F27D19/00 , F27D21/00 , F27B21/08 , G06F119/14 , G06F119/08 , G06F111/06
Abstract: 本发明提供一种真空烧结炉工件支撑装置及摆放优化方法，涉及真空烧结炉工件摆放及热传递技术领域。一种真空烧结炉工件支撑装置，包括侧支撑板、下支撑板、夹持装置、测温装置和水平测量装置，夹持装置的设计为可调节装置，可以适应不同尺寸的管型工件，移动测温装置，实时监测烧结过程的温度，确保烧结过程温度均匀，红外测温仪与炉外气缸通过可调连接杆连接，可以实现高温退回，防止红外测温仪因高温损坏；一种真空烧结炉工件摆放优化方法，利用传热学模拟及遗传算法相结合的方法得到最优的工件摆放方式，减小由于内部支撑板对工件温度均匀性的影响，实现了烧结效率的提高、能耗的降低以及工件质量的提升。
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公开(公告)号：CN105642454A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201511029098.4
申请日：2015-12-31
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种用于真空卷绕喷涂镀膜的喷嘴，属于真空镀膜技术领域。本发明提供一种可以改善喷射的镀膜效果和提高喷嘴雾化效果的用于真空卷绕喷涂镀膜的喷嘴。本发明包括喷嘴头部、喷嘴中部及喷嘴尾部，喷嘴头部包括换能器前盖、换能器后盖和喷嘴帽；喷嘴帽包括喷嘴帽头部压紧块，静电装置导电块与高压静电线相连接；在喷嘴头部流道前组成块和喷嘴头部流道中组成块的外部缠绕有加热丝，加热丝与加热低压电极相连；在换能器前盖上并列套装有一对环形电极片，在一对环形电极片之间设置有压电陶瓷片，环形电极片与换能器低频电极引线相连接；其特点是在换能器前盖的流道内设置有若干级挡板，在挡板上设置有若干个通孔，相邻挡板上的通孔错开设置。
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公开(公告)号：CN103994232A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410199026.3
申请日：2014-05-12
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F16K1/00 , F16K27/02 , F16K31/007 , F16K51/02
Abstract: 一种宽量程精密真空漏气阀，属于流体传动与控制技术领域，涉及一种真空阀门。本发明在低、中真空进行手动大幅调节，在中、高真空进行静电精密调节，实现了在较宽压力范围内漏率的精密连续调节；且耐高温烘烤、具有良好的气密性。本发明包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，在上阀体的侧壁上设置有调节螺栓，上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰。
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公开(公告)号：CN102709473B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201210204871.6
申请日：2012-06-20
Applicant: 东北大学
IPC: H01L45/00
Abstract: 本发明属于半导体与器件领域，具体涉及一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法。本发明的技术方案是：称取Ni(CH3COO)2·4H2O，溶于乙二醇甲醚中，加入摩尔比为（3-15）：1的RuCl3·3H2O和Al(NO3)3·9H2O得到Ru-Al共掺杂的镍溶胶，同时称取SnCl2·2H2O溶于无水乙醇中，得到锡溶胶，将Ru-Al共掺杂的镍溶胶与锡溶胶混合，在空气中静置陈化，对静置陈化后的Ru-Al共掺杂的镍锡复合溶胶用匀胶机进行旋涂镀膜，最后进行热处理，得到Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜。本发明是采用溶胶凝胶法制备Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜，沉积设备简单、成本低，易控制薄膜组分，而且作为半导体元件具有良好的可重复电阻开关特性和记忆特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102692332A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210191079.1
申请日：2012-06-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种用于真空喷雾特性研究的镀膜装置，由石英玻璃管构成的真空喷射室前端与安装有复合式真空规和各种引线法兰的真空门连接，后端通过放气阀CF法兰与抽气装置相接；两雾化喷头采用双流体感应充电气力式喷头，前面有带升降装置的喷嘴挡板；由四个烧杯和两个HPLC液相色谱泵组成的液体输送装置和高压氮气输送装置各自分两路与雾化喷头相接；由外置电磁铁控制基片在喷射室内的移动和取出、放入；由红外线加热管和硅橡胶加热器加热；测试装置由发射光源、CCD高速摄像机、PC机和温度检测装置组成。该装置结构简单，易于操作，直观性好，成本低；用其可实现对真空喷雾各项特性的测试和综合性研究，同时还可制备不同浓度比多基片聚合物功能梯度薄膜和叠层膜。
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公开(公告)号：CN102653863A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201210143328.X
申请日：2012-05-10
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于半导体与器件领域，具体涉及一种Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜的制备方法。本发明方法是首先制备Ru-Li共掺杂镍溶胶，然后将Ru-Li共掺杂氧化镍溶胶在基片上进行旋转涂膜，最后在300-600℃条件下在空气中对薄膜热处理1-2h，得到Ru-Li共掺杂氧化镍薄膜。本发明制备的Ru-Li共掺杂NiO薄膜具有良好的可重复电阻开关特性，连续扫描9次均观察到开关现象；本发明仅通过掺杂制备的NiO薄膜与本征NiO薄膜相比开关比有所提高，改善了电阻存储器件的信噪比。
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公开(公告)号：CN119289698A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411516611.1
申请日：2024-10-29
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于真空炉技术领域，具体涉及一种排焦均匀且易清洁的真空烧结炉，包括炉体，炉体的炉门处设有氮气加热分流箱，将炉门处通入的氮气加热并均匀排入炉体内；炉体的内侧依次设置碳毡、石墨板、加热体组，加热体组通过接电装置与外部电源连接，接电装置用于加热体组的通电加热并根据氮气的充入量调整加热体组的位置；炉体的中部设有排焦装置，炉体内加热生成的焦气冲开排焦装置的炉内排焦管道的密封装置并通过止逆阀从外部排焦管道排出，本发明解决了冲入氮气在炉腔内分布不均匀和冲入常温氮气对炉门处局部工件存在冷冲击、排焦不彻底且效率低、维护困难等问题。
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公开(公告)号：CN111007338A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911239339.6
申请日：2019-12-06
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种真空变温环境下柔性电子器件形变测量装置及方法，装置包括真空室、试件弯扭机构、电加热管、制冷管及热沉筒；真空室内设有伸缩式滑台，试件弯扭机构设在伸缩式滑台上；热沉筒安装在真空室内，伸缩式滑台和试件弯扭机构均位于热沉筒内部；制冷管和电加热管分别螺旋缠绕套装在热沉筒内外筒壁上；真空室内设有设有氮气输入管。方法为：在柔性电子器件表面蒸镀上叉指电极；将柔性电子器件夹持到试件弯扭机构中；封闭真空室；设定弯扭速度、弯扭角度、弯扭次数、压强、变温前温度及变温后温度；抽真空；启动电加热管，直到达到变温前温度；对柔性电子器件进行弯扭且启动制冷管，直到达到变温后温度；充氮气恢复常压常温；取出柔性电子器件。
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公开(公告)号：CN104777050A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201510184666.1
申请日：2015-04-17
Applicant: 东北大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明提供一种阻变薄膜低温弯扭测试仪及测试方法，该测试仪包括：对阻变薄膜进行可调节角度的弯曲和扭曲的弯扭装置；控制弯扭装置的弯扭次数、弯扭速度、弯曲程度、扭转角度并测量阻变薄膜在弯扭测试过程中的伏安特性曲线的测控系统；根据测控系统的控制指令为阻变薄膜提供弯扭测试所需低温环境的低温系统；本发明的测试仪及测试方法能同时或分别实现弯曲和扭曲实验，且能适应不同长度、宽度的试验样品，结构简单，操作方便；可调节弯曲、扭曲的角度，实现不同程度的弯扭实验，可应用于各种柔性薄膜，尤其是满足低温下对于阻变薄膜的疲劳性检测，以满足相应电子器件投入应用前的寿命的估测，保证产品的质量的测试仪器。
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