一种用于真空喷雾特性研究的镀膜装置

    公开(公告)号:CN102692332B

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201210191079.1

    申请日:2012-06-11

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 一种用于真空喷雾特性研究的镀膜装置,由石英玻璃管构成的真空喷射室前端与安装有复合式真空规和各种引线法兰的真空门连接,后端通过放气阀CF法兰与抽气装置相接;两雾化喷头采用双流体感应充电气力式喷头,前面有带升降装置的喷嘴挡板;由四个烧杯和两个HPLC液相色谱泵组成的液体输送装置和高压氮气输送装置各自分两路与雾化喷头相接;由外置电磁铁控制基片在喷射室内的移动和取出、放入;由红外线加热管和硅橡胶加热器加热;测试装置由发射光源、CCD高速摄像机、PC机和温度检测装置组成。该装置结构简单,易于操作,直观性好,成本低;用其可实现对真空喷雾各项特性的测试和综合性研究,同时还可制备不同浓度比多基片聚合物功能梯度薄膜和叠层膜。

    一种用于真空喷雾特性研究的镀膜装置

    公开(公告)号:CN102692332A

    公开(公告)日:2012-09-26

    申请号:CN201210191079.1

    申请日:2012-06-11

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 一种用于真空喷雾特性研究的镀膜装置,由石英玻璃管构成的真空喷射室前端与安装有复合式真空规和各种引线法兰的真空门连接,后端通过放气阀CF法兰与抽气装置相接;两雾化喷头采用双流体感应充电气力式喷头,前面有带升降装置的喷嘴挡板;由四个烧杯和两个HPLC液相色谱泵组成的液体输送装置和高压氮气输送装置各自分两路与雾化喷头相接;由外置电磁铁控制基片在喷射室内的移动和取出、放入;由红外线加热管和硅橡胶加热器加热;测试装置由发射光源、CCD高速摄像机、PC机和温度检测装置组成。该装置结构简单,易于操作,直观性好,成本低;用其可实现对真空喷雾各项特性的测试和综合性研究,同时还可制备不同浓度比多基片聚合物功能梯度薄膜和叠层膜。

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