公开(公告)号：CN103994232A

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201410199026.3

申请日：2014-05-12

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  邵思佳 ,  隋文 ,  刘红彦

IPC: F16K1/00 ,  F16K31/04 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K1/00 ,  F16K27/02 ,  F16K31/007 ,  F16K51/02

Abstract: 一种宽量程精密真空漏气阀，属于流体传动与控制技术领域，涉及一种真空阀门。本发明在低、中真空进行手动大幅调节，在中、高真空进行静电精密调节，实现了在较宽压力范围内漏率的精密连续调节；且耐高温烘烤、具有良好的气密性。本发明包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，在上阀体的侧壁上设置有调节螺栓，上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰。

公开(公告)号：CN103994232B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201410199026.3

申请日：2014-05-12

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  邵思佳 ,  隋文 ,  刘红彦

IPC: F16K1/00 ,  F16K31/04 ,  F16K51/02

Abstract: 一种宽量程精密真空漏气阀，属于流体传动与控制技术领域，涉及一种真空阀门。本发明在低、中真空进行手动大幅调节，在中、高真空进行静电精密调节，实现了在较宽压力范围内漏率的精密连续调节；且耐高温烘烤、具有良好的气密性。本发明包括上阀体和下阀体，在上阀体的顶面上设置有第一凹槽，在第一凹槽下方的上阀体上设置有第一通孔，在上阀体的顶部设置有阀盖；在上阀体的内部竖直设置有阀芯，在上阀体的侧壁上设置有调节螺栓，上阀体通过调节螺栓与调节手柄相连接，在下阀体的顶面上设置有第二凹槽，所述阀芯底部设置在第二凹槽内；在下阀体的底面上设置有第三凹槽，在下阀体的底部设置有第一法兰；在下阀体的侧壁上设置有第二法兰。