公开(公告)号：CN102709473A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201210204871.6

申请日：2012-06-20

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  王博锋 ,  曹青 ,  李永宽 ,  巴德纯

IPC: H01L45/00

Abstract: 本发明属于半导体与器件领域，具体涉及一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法。本发明的技术方案是：称取Ni(CH3COO)2·4H2O，溶于乙二醇甲醚中，加入摩尔比为（3-15）：1的RuCl3·3H2O和Al(NO3)3·9H2O得到Ru-Al共掺杂的镍溶胶，同时称取SnCl2·2H2O溶于无水乙醇中，得到锡溶胶，将Ru-Al共掺杂的镍溶胶与锡溶胶混合，在空气中静置陈化，对静置陈化后的Ru-Al共掺杂的镍锡复合溶胶用匀胶机进行旋涂镀膜，最后进行热处理，得到Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜。本发明是采用溶胶凝胶法制备Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜，沉积设备简单、成本低，易控制薄膜组分，而且作为半导体元件具有良好的可重复电阻开关特性和记忆特性。

公开(公告)号：CN102709473B

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201210204871.6

申请日：2012-06-20

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  王博锋 ,  曹青 ,  李永宽 ,  巴德纯

IPC: H01L45/00

Abstract: 本发明属于半导体与器件领域，具体涉及一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法。本发明的技术方案是：称取Ni(CH3COO)2·4H2O，溶于乙二醇甲醚中，加入摩尔比为（3-15）：1的RuCl3·3H2O和Al(NO3)3·9H2O得到Ru-Al共掺杂的镍溶胶，同时称取SnCl2·2H2O溶于无水乙醇中，得到锡溶胶，将Ru-Al共掺杂的镍溶胶与锡溶胶混合，在空气中静置陈化，对静置陈化后的Ru-Al共掺杂的镍锡复合溶胶用匀胶机进行旋涂镀膜，最后进行热处理，得到Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜。本发明是采用溶胶凝胶法制备Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜，沉积设备简单、成本低，易控制薄膜组分，而且作为半导体元件具有良好的可重复电阻开关特性和记忆特性。

公开(公告)号：CN102392237A

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201110329169.8

申请日：2011-10-26

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  曹青 ,  姜永辉 ,  王博锋 ,  巴德纯

IPC: C23C20/08

Abstract: 本发明属于半导体材料与器件领域，具体涉及一种Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜的制备方法。实现本发明技术方案的要点是：将Zn(CH3COO)2·2H2O溶于无水乙醇中，加入与Zn(CH3COO)2·2H2O等摩尔的二乙醇胺，在水浴条件下搅拌后，再按比例加入AgNO3和LiCl继续搅拌，得到Ag-Li共掺杂的氧化锌溶胶，用匀胶机将得到的Ag-Li共掺杂氧化锌溶胶在基片上进行旋转涂膜，然后加热烘干，进行热处理，得到Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜。本发明制备的Ag-Li共掺杂ZnO薄膜不仅结晶性好、表面形貌好，而且透射比较高、导电性较好。