公开(公告)号：CN119530979A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411733361.7

申请日：2024-11-29

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  丘荣生 ,  周明旭

IPC: C30B29/36 ,  C30B23/00 ,  C30B33/02

Abstract: 一种低应力碳化硅单晶生长感应炉及碳化硅单晶生长方法，属于碳化硅晶体制备技术领域。本发明提供的低应力的碳化硅单晶生长真空感应炉包括支撑筒、感应炉上盖及感应炉下盖，感应炉上盖设置在支撑筒的上部，感应炉下盖设置在支撑筒的下部。本发明将保温层分为上、下两部分，通过升降机构对上保温层位置进行控制，在生长炉上盖增加堵头输运机构，将中部测温孔移到坩埚外缘进行测温，使得测温孔直径实现最小化，碳化硅籽晶径向温度梯度减小。采用所提供装置进行碳化硅单晶生长过程中，通过改进生长工艺，采用构建的函数控制生长过程中的温度，实现碳化硅晶锭生长面温度的精确控制，提高碳化硅晶锭晶型的稳定性，从而减小碳化硅晶锭的应力。

公开(公告)号：CN119761182A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411820316.5

申请日：2024-12-11

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  曹骏宇 ,  周明旭

IPC: G06F30/27 ,  G06F30/17 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/126 ,  G06N7/08 ,  G06F119/06 ,  G06F119/08

Abstract: 本发明提供了一种用于布局可调的加热体组结构的非均匀布局优化方法，涉及真空炉技术领域，本发明通过神经网络对加热体布局参数在指定的目标函数，包括但不限于炉内温度均匀性、工件温度均匀性、炉内最大能效比、工件表面热流密度等指标进行寻优，通过所述方法可以得到在满足真空炉的物理边界条件，及满足目标函数的条件下，包括但不限于对真空烧结炉的加热体布局参数进行寻优，通过所述方法可以得到满足目标函数及边界条件的最优的加热体组布局参数，通过所述基于神经网络的加热体非均匀布局参数优化方法得到满足目标函数及边界条件的最优的加热体布局参数后，可通过所述可调节加热体组实现加热体长度动态可调。

公开(公告)号：CN119492267A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202411528157.1

申请日：2024-10-30

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  周明旭 ,  景来兴

IPC: F27D5/00 ,  G06F30/17 ,  G06F30/27 ,  G06N3/126 ,  G06N5/01 ,  F27D19/00 ,  F27D21/00 ,  F27B21/08 ,  G06F119/14 ,  G06F119/08 ,  G06F111/06

Abstract: 本发明提供一种真空烧结炉工件支撑装置及摆放优化方法，涉及真空烧结炉工件摆放及热传递技术领域。一种真空烧结炉工件支撑装置，包括侧支撑板、下支撑板、夹持装置、测温装置和水平测量装置，夹持装置的设计为可调节装置，可以适应不同尺寸的管型工件，移动测温装置，实时监测烧结过程的温度，确保烧结过程温度均匀，红外测温仪与炉外气缸通过可调连接杆连接，可以实现高温退回，防止红外测温仪因高温损坏；一种真空烧结炉工件摆放优化方法，利用传热学模拟及遗传算法相结合的方法得到最优的工件摆放方式，减小由于内部支撑板对工件温度均匀性的影响，实现了烧结效率的提高、能耗的降低以及工件质量的提升。

公开(公告)号：CN119643629A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202411711105.8

申请日：2024-11-27

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  王元晖 ,  周明旭

IPC: G01N25/20 ,  G01J5/00 ,  G01K13/00 ,  G01K1/14 ,  G01K7/02 ,  G01N27/12 ,  G16C20/10

Abstract: 本申请提出一种基于优化后真空烧结炉的温度损伤检测方法及测温装置，属于传热学相关领域，方法包括：采用不同保温结构优化真空烧结炉结构，推导出碳毡保温层的一维性能仿真模型；根据碳毡保温层的一维性能仿真模型、温升曲线及工件温度，利用逆向仿真原则计算得到不同烧结温度下碳毡保温层的厚度的取值范围，再利用正向模拟，在不同烧结温度下碳毡保温层的厚度的取值范围中得到最优的碳毡保温层的厚度；采用最优的碳毡保温层的厚度作为测温装置的长度，构建真空烧结炉的测温装置，采用多个测温装置真空烧结炉的温度进行测量，根据测量结果，得到温度损伤检测结果。本申请方法解决了因温度过高无法直接测量结构优化后的有效加热区内的温度情况。

公开(公告)号：CN119289698A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202411516611.1

申请日：2024-10-29

Applicant: 东北大学

Inventor： 李建昌 ,  景来兴 ,  周明旭

IPC: F27D11/02 ,  F27D7/06 ,  F27D17/30

Abstract: 本发明属于真空炉技术领域，具体涉及一种排焦均匀且易清洁的真空烧结炉，包括炉体，炉体的炉门处设有氮气加热分流箱，将炉门处通入的氮气加热并均匀排入炉体内；炉体的内侧依次设置碳毡、石墨板、加热体组，加热体组通过接电装置与外部电源连接，接电装置用于加热体组的通电加热并根据氮气的充入量调整加热体组的位置；炉体的中部设有排焦装置，炉体内加热生成的焦气冲开排焦装置的炉内排焦管道的密封装置并通过止逆阀从外部排焦管道排出，本发明解决了冲入氮气在炉腔内分布不均匀和冲入常温氮气对炉门处局部工件存在冷冲击、排焦不彻底且效率低、维护困难等问题。