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公开(公告)号：CN101419062A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200810239211.5
申请日：2008-12-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种大口径双曲面次镜检测系统，包括相移干涉仪、两块对称放置的Hindle球面分块反射镜、被测大口径双曲面次镜及计算机系统，计算机系统与相移干涉仪连接，两块Hindle球面分块反射镜用来实现对双曲面次镜中心遮拦外对应区域的子孔径零检测，通过安装在计算机系统上的相移干涉仪数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的两个子孔径相位数据提取出来，通过调整机构相对旋转被测大口径双曲面次镜和两块Hindle球面分块反射镜的相对位置，实现对被测大口径双曲面次镜的全孔径范围测试，相邻子孔径间存在足够重叠区以实现高精度的数据拼接处理，最后由将所得到的子孔径测试数据送入计算机系统进行拼接处理，从而获得被测大口径双曲面次镜面形信息；本发明为大口径和超大口径双曲面次镜的研制提供了一种有效的低成本检测手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101285732A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810113460.X
申请日：2008-05-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
CPC classification number: G01M11/005
Abstract: 一种大口径抛物面镜检测系统，包括菲索型干涉仪、高精度平面反射镜、被测抛物面镜、电控平移台及计算机控制系统；平面反射镜实现对抛物面镜中心部分的自准直检测，之后移除平面镜，通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪，使得标准镜头产生的不同曲率半径的参考球面波前，与被测抛物面的平面反射镜口径外相应环形区域相匹配，通过计算机系统上的菲索型干涉仪数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来；由环形子孔径“拼接”算法对所得子孔径测试数据进行处理，然后与平面镜自准直检测所获得数据进行全孔径波前重构获得被测抛物面面形信息；本发明为大口径和超大口径抛物面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101261183A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200810104089.0
申请日：2008-04-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪，小孔滤波器，双计算全息图，被测非球面镜，大、小型五维调整架；双计算全息图由主全息和对准全息两部分图形组成，双计算全息图固定在小型五维调整架上，并与菲索型干涉仪、小孔滤波器一起置于大型五维调整架上，观察对准全息的干涉图形可判断主全息的调整状态，在实现主全息精确对准的前提下，保持双计算全息图和菲索型干涉仪的相对位置不变，通过调整大型五维调整架调整主全息相对被测非球面镜的位置，小孔滤波器可将双计算全息图衍射的杂散光滤除，提高干涉条纹的对比度，从而实现对被测非球面镜的高精度检测，该检测系统为大口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN1752730A
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN200510086657.5
申请日：2005-10-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径非球面光学元件中高频差检测方法，涉及一种对光学元件面形误差，尤其是表面面形中高频差的检测方法的改进。利用信息处理技术对激光数字干涉仪获取的数据进行处理，采取利用二维功率谱密度求解环围能量评价元件质量，以实现检测目的。本发明提出的方法，全面考虑了被检光学元件面形信息，从而可以更加客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用二维功率谱密度对光学元件面形质量进行评价，提供了一条检测面形质量的新途径，对高质量光学元件的质量评价具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN1746648A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510116819.5
申请日：2005-10-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径深型非球面镜检测系统包括菲索型干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机控制系统，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前转换为非球面波前，通过计算机控制电控平移台移动部分补偿器，产生的参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相匹配，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径“拼接”算法将所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息。本发明具有所需补偿器容易制造和装调等优点，为大口径、大相对口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有广阔的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109799076A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910139343.9
申请日：2019-02-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种光学元件自定心方法及装置，属于光电技术检测领域。该自定心装置包括微型投影模块、分光元件、物镜、旋转台和投影监控模块。微型投影模块投射计算机生成的特定图样到待定心的光学元件表面上，旋转台带动被测光学元件旋转，投影监控模块同步拍摄元件表面反射回来的投影图像，计算机分析监控模块采集到的投影图像，对自动控制系统发出控制信号，首先调整自定心装置的光轴与转台旋转轴重合，然后调整光学元件直至其光轴和转台旋转轴重合，从而实现光学元件自动定心功能。本发明有可以实现平面、球面和非球面等圆形光学元件的自动定心，为光学元件的加工和检测提供了便利，自定心效率和精度也可以得到大大提高。
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公开(公告)号：CN109490313A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811330664.9
申请日：2018-11-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法，属于光电技术检测领域。该装置包括测量头、旋转工件台、自动取样装置和喷淋装置。测量头包括传感器系统、照明系统和成像系统，照明系统为被测样品表面提供高均匀性和高亮度照明，旋转工件台和成像系统用于对光学表面区域的缺陷进行环带扫描和高分辨率散射成像。自动取样装置用作自动化生产中机械手自动夹取光学元件；喷淋设备一旦检测到表面上有灰尘、杂质等异物就被激活，用于准确去除被测件表面的灰尘、杂质等伪缺陷。本发明有效解决了大口径光学元件表面缺陷检测困难、效率低下的问题，可以快速测量大口径平面、球面和非球面光学元件的表面缺陷。
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公开(公告)号：CN103837123B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201410097979.9
申请日：2014-03-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B21/24
Abstract: 本发明是一种光学元件偏心测量装置，包括升降支架、位移传感器、力传感器、待测光学元件、支撑单元、升降旋转台、基座及数据处理和控制单元；升降支架与升降旋转台的底面固定在基座上；待测光学元件放置于支撑单元中，并由力传感器显示每次测量时支撑力是否一致，由位移传感器获得某个方向上的失高值，然后由升降旋转台将待测光学元件升到一高度并旋转一定角度后再降落回位，在力传感器显示同一数值后获得该角度上的失高值，数据处理和控制单元对旋转角度和力传感器进行控制，在获得多个方向上的一系列失高值后，由数据处理和控制单元计算出待测光学元件的偏心。
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公开(公告)号：CN103499310B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310492267.2
申请日：2013-10-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255 , G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种激光跟踪仪测量双曲面镜参数的装置及方法，包括激光跟踪仪，干涉仪，被测双曲面镜及辅助球面镜，激光跟踪仪配合随机配送靶球测量空间点位置坐标，干涉仪发出的波面经双曲面镜反射后，成为标准的球面波，标准的球面波经过辅助球面镜反射后，光波原路返回，对双曲面镜进行无像差点检测，在干涉仪以对双曲面镜进行无像差点检测的同时，利用激光跟踪仪配合靶球测量出干涉仪焦点空间位置坐标、辅助镜球心位置坐标，双曲面镜顶点坐标，最后通过这些空间位置坐标关系求得双曲面镜参数；本发明对双曲面镜的参数控制及研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102944194B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210475654.0
申请日：2012-11-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法，包括相移干涉仪、干涉仪调整架、被测非球面透镜、透镜支架、透镜调整架、对心器、精密旋转轴系、对心器调整架、直线导轨及计算机系统，被测非球面透镜固定在透镜支架上，支架固定在透镜调整架上，透镜调整架放置在直线导轨上；对心器固定在精密旋转轴系上，精密旋转轴系安装在对心器调整架上并放置在直线导轨上；相移干涉仪放置在干涉仪调整架上并固定在直线导轨中间，用干涉仪测得被测非球面透镜上非球面的面形数据，从面形数据中提取出多个同心圆形环带上的数据，根据各环带面形数据的最大、最小值以及相应的相位信息计算出该非球面的顶点位置，进而可以算出该非球面透镜的偏心大小。
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