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公开(公告)号：CN117629078A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311625089.6
申请日：2023-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种翼型光学结构的精密位移传感器，涉及精密位移测量领域，包括：第一折光装置和第二折光装置分别位于第一偏振分光镜的第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面；激光被第一偏振分光镜分为第一偏振光和第二偏振光；第一偏振光经过第一折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的+1级衍射光束经第一折光装置和第一偏振分光镜后得到第一反射光；第一反射光入射至探测器装置；第二偏振光经第二折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的‑1级衍射光束经第二折光装置和第一偏振分光镜后得到第二反射光；第二反射光入射至探测器装置；探测器装置实现位移测量。本发明提高了光路结构抗环境干扰的能力。
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公开(公告)号：CN105353170B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201510873126.4
申请日：2015-12-04
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜，二维激光干涉仪包括两个干涉仪，干涉仪分别位于测量样品在X方向和Y方向的位置，干涉仪的光源通过光纤从激光器引入，穿过玻璃窗的真空窗口片，在电镜内分成两束，分别入射到两个干涉镜；超声电机粗调位移台做扫描运动时，一个出射干涉光经真空窗入射到光电探测器作为位移台X轴位移数据信号；另一束干涉光经平面反射镜反射后入射靠近舱门的干涉仪，出射干涉光由另一个探测器接收作为位移台Y轴位移数据信号；所述X、Y轴位移数据配合电镜采集样品表面由电子束激发的二次电子信号，得到经过激光干涉仪溯源的测量数据。提供一种能够将其测量值直接溯源到米定义国家基准的标准的电子显微镜。
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公开(公告)号：CN112902826B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202110441050.3
申请日：2021-04-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器，涉及零件几何轮廓测量技术领域，包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块；杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点，杠杆转动安装于支点上，触针安装于杠杆的第一端，用于与被测样品接触，被测样品放置在载物台上；测量力恒定控制模块包括力传感器、力补偿装置和连接杆，力传感器以及力补偿装置均与数据处理模块连接，力传感器安装于载物台的下方，连接杆与杠杆的第二端连接，力补偿装置与连接杆连接；测量范围调整模块与数据处理模块连接，实现测量范围的调整。本发明在测量过程中控制测量力恒定，增加测量结果的真实性与可信度，并且实现对不同范围的轮廓进行高精度测量。
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公开(公告)号：CN112880973B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202110041338.1
申请日：2021-01-13
Abstract: 本发明公开了一种提高光栅周期测量精度的装置和方法，所述装置包括：激光器、第一隔离器、第二隔离器、多个反射镜、转台和探测器，激光器用于发出预设波长的激光；第一隔离器上设置有第一通孔，激光穿射第一通孔，第一隔离器用于防止激光反射至激光器；第二隔离器上设置有第二通孔，激光经第一通孔后穿射第二通孔；多个反射镜用于反射改变激光的方向；转台上设置有光栅，激光经过反射镜反射至光栅，并经由光栅衍射后原路返回；探测器用于在第二通孔处对衍射后的光斑进行取样。根据本发明的提高光栅周期测量精度的装置，简单易实现，可以有效地降低测量不确定度，提高测量精度。
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公开(公告)号：CN112902826A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110441050.3
申请日：2021-04-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器，涉及零件几何轮廓测量技术领域，包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块；杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点，杠杆转动安装于支点上，触针安装于杠杆的第一端，用于与被测样品接触，被测样品放置在载物台上；测量力恒定控制模块包括力传感器、力补偿装置和连接杆，力传感器以及力补偿装置均与数据处理模块连接，力传感器安装于载物台的下方，连接杆与杠杆的第二端连接，力补偿装置与连接杆连接；测量范围调整模块与数据处理模块连接，实现测量范围的调整。本发明在测量过程中控制测量力恒定，增加测量结果的真实性与可信度，并且实现对不同范围的轮廓进行高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111721677A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010460736.2
申请日：2020-05-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N15/02
Abstract: 本申请涉及一种颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质。基于多个角度与多个角度颗粒粒径、多个样品浓度与多个第一颗粒粒径，分别对多个角度颗粒粒径、多浓度条件下颗粒粒径采用多项式拟合的数学方法进行拟合，获得颗粒粒径随角度、浓度变化的趋势，进行回归分析预测，可以根据实际样本数据建立自变量与因变量的关系，进而预测出0°散射角和0样品浓度条件下对应的颗粒粒径。通过所述颗粒粒径测量方法可以消除颗粒间长程作用力、大颗粒自身散射信号互相干涉带来的粒径测量误差，解决了单一角度测量无法分析和消除误差的问题，并且解决了不同仪器、不同浓度和类型样品测量结果偏差大的问题。
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公开(公告)号：CN111366108A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010298483.3
申请日：2020-04-16
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪，垂直式表面粗糙度测头包括固定架、移动架、位移测量模块、针杆、触针和导向装置，移动架竖向滑动连接于固定架上，移动架上设置针杆，移动架的底板上设有导向装置，导向装置能够用于对针杆进行竖向导向以防止针杆摆动，针杆的底端固定设置有触针，针杆穿过导向装置，触针贯穿移动架的底板，位移测量模块用于测量针杆竖直方向上的移动距离；表面粗糙度仪包括架体、移动装置和上述的垂直式表面粗糙度测头。本发明中，触针与针杆在导向装置的作用下，测量过程中始终与工件表面垂直，操作简便、测量精准程度高。
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公开(公告)号：CN108917655B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201810818139.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开一种旋转平台，包括固定基座、转台和两个驱动器，固定基座的上表面开设有与转台形状相匹配的凹槽，转台可转动嵌置安装在凹槽内；转台包括中心圆形转子，中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个驱动器以中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，两个驱动器用于同时驱动两个旋转臂同向旋转；该旋转平台在转动时可避免中心产生平移。本发明还提供一种结构紧凑、受环境影响小、角度分辨率高的多倍程平面干涉角度测量系统，包括上述旋转平台、被测平面镜和测角干涉仪，被测平面镜放置在中心圆形转子的上表面，测角干涉仪设置在旋转平台的一侧。
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公开(公告)号：CN110967527A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811161314.4
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备装置，通过所述第一密封板与所述第二密封板对所述反应器进行密封，可以为制备扫描探针提供一个密闭环境。并且，所述反应器的管壁周围设置有冷淋结构，用以确保所述反应器内的温度恒定。所述扫描探针针尖的制备装置通过所述电极、所述电源控制模块以及所述采样电阻，可以实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的所述探针前躯体移出所述电腐蚀液，即可获得扫描探针。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需扫描探针，重现性好，针尖形貌及关键尺寸精确可控。
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公开(公告)号：CN110967526A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811161139.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。
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