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公开(公告)号：CN112683175A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011391427.0
申请日：2020-12-02
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种读数头和位移测量系统及测量方法。该读数头包括离轴抛物面镜、第一偏振元件、第二偏振元件以及偏振分光元件，入射到该读数头的光经过该离轴抛物面镜后射向光栅尺，并经该光栅尺衍射后产生正一级衍射光和负一级衍射光，该正一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第一偏振元件并产生第一线偏振光，该负一级衍射光经过该离轴抛物面镜反射后射向该第二偏振元件并产生第二线偏振光，该第一线偏振光和该第二线偏振光在该偏振分光元件相遇。本发明的光只需要经过一次光栅尺即可实现位移测量，提高了读数头传导到信号处理端的光功率，降低探测器的成本。
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公开(公告)号：CN112436711A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011261343.5
申请日：2020-11-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种位移装置，包括至少一个第一框架部和至少一个第二框架部，每个第一框架部和对应的第二框架部可以产生相对运动，第一框架部包括第一框架和多个线圈阵列，多个线圈阵列配置在第一框架的多个平面上，每个线圈阵列包括多个线圈，多个线圈沿第一方向两两相邻配置，第二框架部包括第二框架和多个磁体阵列，多个磁体阵列配置在第二框架的多个平面上，每个磁体阵列包含多个磁体，多个磁体中至少两个磁体具有相互不同的磁化方向，每一磁体沿第一方向交替排列，本位移装置实现各框架之间的相对运动，可根据各种需求实现不同距离位移，框架间无直接机械式接触，也方便于装备和维护操作，对于规模化的使用，能有效降低制造和使用成本。
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公开(公告)号：CN110133779B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201910427560.8
申请日：2019-05-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本申请公开一种用于形成闪耀光栅的方法，所述方法包括：在光栅衬底上制备钝化层；在所述钝化层上形成多个钝化层沟槽，所述多个钝化层沟槽沿高度方向宽度相同且彼此等距离间隔开；将所述钝化层上的图形转移至所述光栅衬底，从而在所述光栅衬底上形成多个衬底沟槽，所述多个衬底沟槽沿高度方向宽度相同且彼此等距离间隔开；用倾斜离子束轰击所述多个衬底沟槽一侧。根据本发明的方法，能够进行闪耀光栅的高集成度、高精度的制备，并能够实现衍射光栅衍射角的高精度制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110133779A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910427560.8
申请日：2019-05-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本申请公开一种用于形成闪耀光栅的方法，所述方法包括：在光栅衬底上制备钝化层；在所述钝化层上形成多个钝化层沟槽，所述多个钝化层沟槽沿高度方向宽度相同且彼此等距离间隔开；将所述钝化层上的图形转移至所述光栅衬底，从而在所述光栅衬底上形成多个衬底沟槽，所述多个衬底沟槽沿高度方向宽度相同且彼此等距离间隔开；用倾斜离子束轰击所述多个衬底沟槽一侧。根据本发明的方法，能够进行闪耀光栅的高集成度、高精度的制备，并能够实现衍射光栅衍射角的高精度制备。
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公开(公告)号：CN220040960U
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202320257902.8
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种紧凑式多轴精密运动台；其自下而上包括一级、二级和三级运动台，同时包括底部、中部、旋转和顶部框架。一级运动台通过X向直线驱动模块与X向陶瓷块接触摩擦实现中部框架相对底部框架在X方向的移动；二级运动台通过Rx向旋转驱动模块和旋转陶瓷块接触摩擦实现旋转框架相对中部框架在Rx方向的弧形旋转；三级运动台通过Y向直线驱动模块与Y向陶瓷块接触摩擦实现顶部框架相对旋转框架在Y方向的移动，通过Z向直线驱动模块和Z向陶瓷块接触摩擦实现Z向运动滑块在Z方向的移动；本实用新型运动台结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强，致动器作为驱动使得在各运动轴上运动精度高、功耗低、可靠性高。
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公开(公告)号：CN210273871U
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201921048826.X
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本实用新型公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装，用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子，包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成，并设置于上支撑板和下支撑板之间，在通电时压电陶瓷叠堆沿着支撑板法线方向运动以增大上支撑板和下支撑板之间的距离，从而将压电陶瓷电机定子组件精确扩张开，从而便于放入压电陶瓷电机动子。本实用新型可以解决压电陶瓷电机动子装配困难的问题，装配精度可以达到微米量级，在不对压电陶瓷电机定子进行破坏的条件下，实现压电陶瓷电机定子的精确安装，同时操作方便，易于控制。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN219697507U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202320269975.9
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种无轴承弧形压电电机；其包括尺蠖压电驱动模组和C字弧形动子；弧形动子的内弧面和内侧面交界处进行45°倒角形成内倒角面以和内倒角面尺蠖压电驱动模组接触，内倒角面尺蠖压电驱动模组沿弧线在动子内倒角面同心弧度上±25°位置布置，外侧面、外弧面尺蠖压电驱动模组在动子外侧面0°、外弧面0°位置分别布置。预紧力作用下，尺蠖压电驱动模组为动子上接触面提供沿弧面法向夹持力，各尺蠖压电驱动模组法向夹持力在非运动自由度的分力推力平衡，为动子提供非运动自由度约束。通电状态下，动子在沿弧形运动方向受到内倒角面，外侧、弧面尺蠖压电驱动模组的切向驱动力。本实用新型电机具有结构简单，驱动导向一体化的优点。
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公开(公告)号：CN209910594U
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201921057763.4
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本实用新型公开了一种压电陶瓷d15参数测量装置，包括安装架、位移台、光栅尺、读数头以及压电陶瓷叠堆安装基座。安装基座固定安装于安装架上，位移台可活动地安装于安装架上，光栅尺固定安装于位移台上，读数头固定安装于光栅尺的下方，待测量的压电陶瓷叠堆安装于安装基座与位移台之间，向压电陶瓷叠堆施加电压，压电陶瓷叠堆发生位移变化，使得位移台带动光栅尺发生同步运动，光栅尺的位移就是压电陶瓷叠堆在施加给定电压时的位移值，将该位移值同施加的给定电压相除求得压电陶瓷叠堆的d15参数。本实用新型的装置可以直接测量压电陶瓷的横向压电常数d15，同时可以达到纳米级的测量精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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