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公开(公告)号：CN105005180A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510475149.X
申请日：2015-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上，第二抓卡机构抓卡在第二环形座上，第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上，第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上；第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上，第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上；第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内，第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度；解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
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公开(公告)号：CN105004264A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510434375.3
申请日：2015-07-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于VME总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决读取多路激光干涉仪数据时，相互冲突、未加区分识别以及缺失同步性的问题。本发明应用VME总线通信机制，设计同步传输-存储卡产生同步时钟、数据存储信号、地址信号以及读使能信号，完成单块干涉信号处理卡到同步传输-存储卡的信号交互，用来实现最多四路激光干涉仪数据的同步读取，然后扩展到多块干涉信号处理卡，通过添加高位地址线的方法来区分干涉信号处理卡，从而解决了读取不同卡时地址冲突的问题，最终实现了任意路激光干涉仪数据的同步读取。
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公开(公告)号：CN104935218A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/52
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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公开(公告)号：CN104914683A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510353919.3
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法，本发明属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度控制定位的技术领域。它的方法步骤为：在框架的一个长边同一侧固定安装第一三角光传感器、第二三角光传感器，在框架的短边上固定安装第三三角光传感器；设传感器的测量值在初始值的基础上变化了△m1,△m2,△m3，利用△m1,△m2求角度θ；以第二三角光传感器为研究对象，计算三个运动对第二三角光传感器读数的影响；得出框架沿Y方向偏移的距离△Y，在X向偏移的距离△X；根据θ,△X,△Y的值进行电机给定补偿；补偿公转电机控制给定，补偿X/Y电机的控制给定。本发明可以实现光刻机双工件台的换台补偿，对于外界的对框架的干扰可以实时动态补偿宏动电机的控制给定，达到顺利换台的目的。
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公开(公告)号：CN104806861A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510201205.0
申请日：2015-04-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容传感器的多轴支撑气浮平台的调平方法，属于光学领域，本发明为解决现有对气浮平台的调节方法对测量环境要求高，应用时局限较大，不能同时达到调节精度高和调节过程复杂程度低的问题。本发明所述调平方法的具体过程为：气源在三个气足的底部充入高压气体，形成气膜面；采用三个电容传感器分别采集三个气足的气膜高度；三个电容传感器分别将采集的气膜高度输出至控制器中；控制器采用神经网络PID控制算法计算控制量；控制量解耦后控制三个气足的调压阀，改变三个气足的出口压力，调整气膜高度，完成调平过程。本发明用于卫星地面仿真中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103345197B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310296004.4
申请日：2013-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台微动部分六自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分竖直方向三自由度运动模型与水平方向三自由度运动模型的耦合问题。一、建立工件台微动部分质心驱动力及转矩与音圈电机驱动力之间的转换关系；二、建立曝光中心与工件台微动部分质心之间的位置关系；三、将步骤二得到的位置关系二次求导并忽略一次微分项；四、根据牛顿第二定律得出作用在工件台微动部分质心上的驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、利用步骤一和步骤四所得结果列写关于质心驱动力及转矩的等式，得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN104596550A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510041410.5
申请日：2015-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 星载绝对式光电码盘粗码译码电路及采用该电路实现的自适应采样法，涉及光电轴角测量技术领域。解决了目前粗码采样译码电路存在的跳码、电路结构过于复杂及误码率高导致的采样精度低的问题。光电码盘的精码光电流信号输出端同时与1号采样电阻的一端和精码及中精码译码模块的电压信号输入端连接，1号采样电阻的另一端接电源地，精码及中精码译码模块的数字信号输出端与DSP处理器的精码数字信号输入端连接，DSP处理器的控制信号输出端与精码及中精码译码模块的控制信号输入端连接；光电码盘的粗码光电流信号输出端同时与2号采样电阻的一端和限流电阻的一端连接，2号采样电阻的另一端接电源地。它主要应用在光电轴角测量上。
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公开(公告)号：CN103439866B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310381928.4
申请日：2013-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法及装置，涉及一种通信方法及装置。为了解决传统使用TCP或IP协议的VxWorks操作系统通信实时性差的问题。它是基于双工作台光刻机、上位机和VME工控机实现的，采用TCP和UDP通讯协议的双通道，TCP通道用于传输上位机的指令，UDP通道用于传输VME工控机的执行结果信息，使用缓冲队列将所有指令和数据信息缓存，然后再逐个读出，最后执行并发送，并采用零拷贝缓冲区嵌套字接口。它用于光刻机双工件台装在有VxWorks操作系统并接入以太网的环境中通信。
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公开(公告)号：CN104158876A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410400092.2
申请日：2014-08-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H04L29/08 , G05B19/042 , G06F9/46
Abstract: 基于Vxworks操作系统的双工件台光刻机控制系统通信装置，属于嵌入式光刻机控制系统通信技术领域。本发明为了解决现有双工件台扫描光刻机与上位机的通信技术由于不能保障数据通信的及时性，影响扫描光刻机的操作精度的问题。它包括上位机、工控机功能模块、运动控制卡、同步控制卡和信号采集板卡，上位机基于MFC构架编写的程序模块实现，工控机功能模块作为下位机，其内部搭载了Vxworks嵌入式实时操作系统，作为整个双工件台扫描光刻机通信系统的中枢，向上通过TCP网络通信协议和上位机进行数据交换，向下通过VME总线和运动控制板卡、同步控制卡、信号采集板卡进行数据的传输。本发明用于双工件台光刻机控制系统的通信。
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公开(公告)号：CN104029829A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410277196.9
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿；通过外部工控机发送位置指令给控制器，控制器控制定子内部磁场实现垂向运动，驱动动子带动外套筒垂向运动；双频激光干涉仪实时测量当前位移量，并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正，从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。
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