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公开(公告)号：CN102889978A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210339686.8
申请日：2012-09-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种大口径窗口检测装置及检测方法，基于补偿器和子孔径拼接原理，包括相移干涉仪、补偿器、被测窗口、标准球面镜、调整机构及计算机系统；计算机系统与相移干涉仪连接，补偿器补偿被测窗口放入相移干涉仪与标准球面镜组成的自准直光路中所引入的象差；被测窗口通过调整机构进行调节，使相移干涉仪获得被测窗口上有相互重叠区域的子区域透射波前信息，最后由安装在计算机系统上的数据处理软件对所得到的子区域透射波前信息进行拼接处理，获得被测窗口的全口径透射波前信息；本发明为高精度大口径窗口加工测量提供检测装置及检测方法，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102095385B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201010586838.5
申请日：2010-12-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明是一种新型球面绝对测量系统及方法，系统包括含有计算机、光源、分光单元、滤波器、标准物镜、被测球面反射镜、电控平移台及数据采集传输单元；首先通过电控平移台调整被测球面反射镜位于标准物镜的共焦位置处，通过计算机控制Fizeau干涉仪在该位置对被测球面反射镜进行一次面形检测并将该检测数据存于计算机中，然后通过计算机控制电控平移台，使待测反射镜绕焦点相对于干涉仪光轴分别产生Δx和Δy的共焦剪切，利用干涉仪又分别进行两次检测并将这两次的检测数据存于计算机中，三次检测的面形数据由安装在计算机上的数据处理软件把被测反射镜面形数据与系统误差和参考面的误差分离开来，从而获得被测待光学镜面的绝对面形信息。
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公开(公告)号：CN102788683A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210319870.6
申请日：2012-08-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法，属于光学检测领域。利用郎奇光栅的泰伯效应，平行光经过郎奇光栅的泰伯自成像周期与光栅周期一致，将星点板置于被测微透镜的物方焦点位置；利用微移台调节星点板并确定星点板的焦物距；由光栅的泰伯自成像周期变化可计算出星点板离焦时，微透镜出射球面波前的曲率半径即微透镜成像的像距；根据像距与焦像距的位置关系，结合牛顿公式，可完成微透镜的焦距测量。该方法操作简便易行，且具有较高的测量精度。
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公开(公告)号：CN102607820A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210098272.0
申请日：2012-04-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明是一种微透镜阵列焦距测量方法。微透镜阵列的各个子单元将球面波波前分割，并成像于各自的焦面上；分析成像原理，各个被分割的波面法线方向经过各个子孔径的中心、焦面上的光斑中心和球面波波前的汇聚中心；通过确定汇聚球面波波前的汇聚中心，测量微透镜阵列各个子单元的光斑中心与光轴的偏移量，可完成对各个子单元焦距的测量。该方法一次图像采集和处理可完成多个子单元焦距的测量，具有较高的测量效率和测量精度，可用于阵列数较多的微透镜阵列的检测。
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公开(公告)号：CN102523141A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110383381.2
申请日：2011-11-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: H04L12/28
Abstract: 本发明提供一种通过使用通用串口技术使电子设备组网级联的方法，它由计算机通用串口、主设备端口A、主设备端口B、主设备电平转换单元、主设备控制单元、从设备端口A、从设备端口B、从设备电平转换单元、从设备控制单元、从设备光耦单元组成，计算机串口与主设备端口A相连，主设备端口B与从设备端口A相连，从设备端口B与下级从设备端口A相连，计算机发送数据到各设备是广播形式，各设备返回给计算机的数据是时分复用的形式，本发明不仅实现了计算机与各设备之间的数据传输，而且方法简单、成本低、开发和调试难度低、易于维护。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102183214A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110050685.7
申请日：2011-03-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种大口径非球面镜结构光检测方法，在显示屏上显示结构特征图样，投影在被测镜上被反射回来，由摄像机进行拍摄。通过对拍摄的图像进行分析处理，从而获得被测非球面面形全场信息。本发明结构简单、使用方便、灵敏度高，对环境无特殊要求，可在车间环境中进行检测，为大口径、大相对口径非球面镜的检测提供了一种有效的手段，尤其是在制造的精磨和抛光阶段，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN102003935A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010535206.6
申请日：2010-11-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法，属于光电工程技术领域，用于激光跟踪仪在测量过程中受环境因素影响的补偿，其步骤为：(1)从激光跟踪仪内置双频激光器的出射双频激光中分光出补偿用激光；(2)将补偿用激光投射至被测件上并由角锥棱镜反射形成补偿光路；(3)在补偿光路中加入干涉元器件，使补偿光路具备双频激光干涉测距功能；(4)在补偿光路中加入分光及PSD(位置敏感探测器)元器件，使补偿光路具备PSD位移测量功能；(5)使用双频激光干涉测距数据及PSD位移测量数据对激光跟踪仪测量结果实时补偿。本发明可以解决激光跟踪仪在大尺寸、高精度在线测量中受环境因素而产生测量精度下降的问题，同时结构简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN101261183B
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200810104089.0
申请日：2008-04-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪，小孔滤波器，双计算全息图，被测非球面镜，大、小型五维调整架；双计算全息图由主全息和对准全息两部分图形组成，双计算全息图固定在小型五维调整架上，并与菲索型干涉仪、小孔滤波器一起置于大型五维调整架上，观察对准全息的干涉图形可判断主全息的调整状态，在实现主全息精确对准的前提下，保持双计算全息图和菲索型干涉仪的相对位置不变，通过调整大型五维调整架调整主全息相对被测非球面镜的位置，小孔滤波器可将双计算全息图衍射的杂散光滤除，提高干涉条纹的对比度，从而实现对被测非球面镜的高精度检测，该检测系统为大口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101013022A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710063641.1
申请日：2007-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种消除光学元件干涉采样数据中随机误差的方法，涉及一种针对圆形口径光学元件面形误差检测方法的改进。利用信息处理技术对干涉仪所获取的光学元件的面形检测数据进行处理，采取改进的最小二乘方法确定检测数据的圆心位置，根据误差理论对多次检测数据作数据处理，消除随机误差影响，最终确定光学元件的面形。本发明通过对加工现场获得的包含多种随机误差的干涉数据的研究，提供了一条光学元件面形检测中消除随机误差影响的新方法，对高质量光学元件的检测与加工具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN109443260B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201811432865.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法和装置，属于光电技术检测领域。该装置包括干涉仪测量系统、标准平板、液槽支撑装置和溶液。将被测样品浸没在密度可调的液体中，使得标准平板下表面和被测样品上表面在液体中形成干涉腔。通过干涉仪测量干涉腔进而获得样品的表面面形。本发明有效解决了零重力面形测量难的问题，可以测量大口径平板和厚度极小的薄平板。本发明结构简单，通用性强，测量结果准确可靠。
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