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公开(公告)号：CN109404322A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811490227.3
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种宽量程高精度分子泵抽速测试系统及方法。该测试系统包括干泵RP、分子泵TMP、测试罩VC1、第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3、第一真空阀门V1、第二真空阀门V2、流量计FM、气源和真空管道等。通过本发明的技术方案，测试系统的真空度测量范围达到10-1～10-7帕，测量不确定度小于10％。
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公开(公告)号：CN119781129A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411778851.9
申请日：2024-12-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请提供了一种真空玻璃窗口组件，用于具有非圆形开孔的真空容器，包括：转接法兰，用于安装在真空容器的非圆形开孔上，转接法兰的形状被设计成与真空容器的非圆形开孔的形状相匹配，以覆盖该非圆形开孔；圆形的高颈法兰，安装在转接法兰上，高颈法兰开有窗口，并具有围绕窗口的玻璃安装座，玻璃安装座上具有安装面；环形的玻璃压盖，安装于高颈法兰的玻璃安装座上；真空玻璃，安装于高颈法兰的玻璃安装座的安装面与玻璃压盖之间；防护板，安装在玻璃压盖上，以覆盖真空玻璃。本申请通提供的真空玻璃窗口组件能够解决真空容器非圆形窗口安装真空玻璃的安全性问题，满足高真空下真空腔室的密封。
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公开(公告)号：CN118566330A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410787824.1
申请日：2024-06-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/623
Abstract: 本发明涉及一种基于质谱计比较法测量(10‑8～10‑11)m3/s分子流导的装置及方法，包括进气管路、比较管路、待测管路、质谱分析管路和抽真空管路。进气管路包括气源、与气源连接的第一阀门和第二阀门；比较管路包括第一稳压室、第一真空计、第三真空计和参考流导元件；待测管路包括第二稳压室、第二真空计、第四真空计、第五真空计和待测流导元件；质谱分析管路包括质谱分析室、限流元件、四极质谱计和第六真空计；抽真空管路包括第一分子泵、第二分子泵、第一干泵和第二干泵。本发明，利用四极质谱计的线性，通过已知相对较大分子流导值的流导元件作为参考标准，实现(10‑8～10‑11)m3/s的流导元件的分子流导值的测量。
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公开(公告)号：CN115718133A
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202211516431.4
申请日：2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设有样品夹具；第一分子泵，入气口与所述取样腔连接；第一机械泵，与所述第一分子泵的抽气口连接；第一全量程真空计，与所述取样腔连接；质谱分析腔，与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接；第二分子泵，入气口与所述质谱分析腔连接；第二机械泵，与所述第二分子泵的抽气口连接；第二全量程真空计，与所述质谱分析腔连接；机械刺穿机构，设置于所述取样腔上；以及四极质谱仪，设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测，具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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公开(公告)号：CN113310626A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110578312.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109459192B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811484865.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明涉及一种基于比较法校准正压漏孔的分子流进样系统及控制方法，提出基于动态分子流进样方法和累积分子流进样方法相结合的示漏气体进样系统和方法，在漏孔泄漏的气体累积一段时间后，在一套比较法正压漏孔校准系统上、实现了动态比较和累积比较两种质谱分析方法的分子流进样，突破了比较法校准正压漏孔质谱分析进样的关键技术，并且解决了累积法条件下、正压漏孔校准过程中混合气体分子流进样和微量He气累积测量的技术难题。
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公开(公告)号：CN109443653B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811431861.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法，包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱；分子泵抽气系统通过第一真空阀门、且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连接，其另一端通过气体取样室与气体采样阀门入口连接且出口通过第四、第三真空阀门与分子泵抽气系统连接，并分别与第二真空计、第五第六第七真空阀门的一端连接；第五真空阀门的另一端与气体膨胀室相连接，且第六真空阀门另一端通过气体累积室与被校正压漏孔连接；第七真空阀门另一端与质谱分析系统连接。本发明缩短了示漏气体累积时间、减小了示漏气体累积和取样精度的影响。
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公开(公告)号：CN109443653A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811431861.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法，包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱；分子泵抽气系统通过第一真空阀门、且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连接，其另一端通过气体取样室与气体采样阀门入口连接且出口通过第四、第三真空阀门与分子泵抽气系统连接，并分别与第二真空计、第五第六第七真空阀门的一端连接；第五真空阀门的另一端与气体膨胀室相连接，且第六真空阀门另一端通过气体累积室与被校正压漏孔连接；第七真空阀门另一端与质谱分析系统连接。本发明缩短了示漏气体累积时间、减小了示漏气体累积和取样精度的影响。
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公开(公告)号：CN109341947A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811490278.6
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明提供了基于无线传输的真空系统现场校准方法。该方法包括：利用一个或多个无线真空规对所述环境内的一个或多个位置处的真空度进行测量，以获得与所述环境的真空度相关的真空数据；对所述真空数据进行信号处理以形成适于无线发送的无线信号；以及接收所述无线信号并且对所述无线信号进行信号逆处理，以获得所述环境的真空数据，从而实现对所述环境的真空度的监测。利用本发明的方法和系统，可以获得成本低、功耗低、传输效率高、软件设计简单、机器通信稳定性可靠等技术优势。
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公开(公告)号：CN109269742A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811438437.8
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/28
Abstract: 本发明一种真空密封阀门漏率测试系统及方法，包括第一和第二真空泵组、检漏仪、真空腔室、真空阀门测试罩、压力计、标准漏孔、真空规、气源及第一至第七真空阀门，其中第一真空泵组通过第一真空阀门、检漏仪通过第二真空阀门分别连接真空腔室；真空腔室分别与真空规、第三第五真空阀门的一端连接；所述第五真空阀门的另一端连接标准漏孔；将被测真空阀门安装在真空阀门测试罩内，且被测真空阀门的一端与第三真空阀门另一端连接，及其另一端分别与第四真空阀门、压力计连接；气源通过第六真空阀门、第二真空泵组通第七真空阀门分别与真空阀门测试罩连接。本发明实现了真空阀门局部漏率和全漏率的定量测试，大大提高真空密封阀门漏率测量不确定度。
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