用于产生纳米颗粒的低压高频脉冲等离子体反应器

    公开(公告)号:CN102144275A

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN200980134077.5

    申请日:2009-09-01

    Abstract: 本发明提供了一种用于合成纳米颗粒的低压甚高频脉冲等离子体反应器系统。该系统包括腔室,该腔室用于接纳至少一个基板,并且能够被抽真空至所选压强。该系统还包括用于从至少一种前驱体气体产生等离子体的等离子体源,以及用于以所选频率提供连续或脉冲射频功率至等离子体的甚高频射频功率源。该频率是基于脉冲射频功率和等离子体之间的耦合效率来选择的。VHF放电和气体前驱体的参数是基于纳米颗粒性质来选择的。纳米颗粒平均大小和颗粒大小分布是通过控制辉光放电的驻留时间(脉冲调制等离子体)相对于通过放电区的气体分子驻留时间、以及纳米颗粒前驱体气体(一种或多种)的质量流量来操控的。

    表面结构化的基片及其制备

    公开(公告)号:CN101014421B

    公开(公告)日:2010-10-27

    申请号:CN200580030416.7

    申请日:2005-09-12

    Abstract: 本发明涉及一种用于制备表面结构化的基片的方法,其包括下列步骤:(i)制备在至少一个表面上用无机纳米簇实施纳米结构化的第一基片,(ii)将用于第二基片的与该第一基片的材料不同的基片材料施加到在步骤(i)中得到的第一基片的纳米结构化的表面上,及(iii)将该第一基片与由步骤(ii)得到的包括该无机纳米簇的第二基片分离,从而得到用纳米簇实施纳米结构化的第二基片。此外本发明还涉及通过该方法得到的表面结构化的基片以及该表面结构化的基片用于施加支架材料或植入物材料的用途,用于粘连细胞、病毒和/或细菌和细胞的无血清的培养,例如用于皮肤代替物。此外本发明还包括该基片的所有的应用,其中通过结构化地结合生物活性分子而可以模仿、改性、检测或量化生物系统以及用于在光学元件或电子元件和化学和生物传感器系统中。

    用于CMOS工艺的双金属栅极晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN100487911C

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN01811029.0

    申请日:2001-05-10

    Abstract: 公开了一种用于在一个半导体基片(102)中形成第一导电类型的第一晶体管(130)和第二导电类型的第二晶体管(132)的工艺。该基片(102)具有第一导电类型的第一孔道(106)和第二导电类型的第二孔道(104)。一个栅极电介质(108)形成于各孔道上。一层第一金属层(110)然后形成于栅极电介质(108)上。第一金属层(110)中位于第二孔道上的部分然后被去除。然后在各孔道上形成一层不同于所述第一金属的第二金属层(114)并且在第二金属(114)上形成一个栅极掩膜。各金属层(110、114)然后被形成图形以便将第一栅极遗留于第一孔道(106)上及第二栅极遗留于第二孔道(104)上。源极/漏极(138、142)然后被形成于第一(106)和第二(104)孔道上以便形成第一(130)和第二(132)晶体管。

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