一种稀磁半导体薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108707864A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810560497.0

    申请日:2018-06-04

    CPC classification number: C23C14/352 C23C14/0036 C23C14/0641

    Abstract: 本发明公开一种稀磁半导体薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,以Cu靶和Al靶为溅射靶材,衬底置于磁控溅射设备的真空腔室内,通入溅射气体Ar,反应气体N2,在衬底表面溅镀得到 Cu掺杂AlN稀磁半导体薄膜;两个靶材相互独立,工艺参数可根据需要进行独立设定,可进行任意掺杂浓度稀磁半导体薄膜的制备;整个镀膜过程只进行Cu膜与AlN薄膜的镀制,过程简单,变量较少;制备工艺简单,重复性好,并且可节约大量靶材的成本。

    基板结构
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105224120B

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201410315562.5

    申请日:2014-07-03

    CPC classification number: C23C14/06 C23C14/0036 C23C14/0676 H01L2224/11

    Abstract: 本发明涉及触控技术领域,提供了种基板结构,包含基板、导电图案、第层迭结构以及钝化层。导电图案位于基板上。第层迭结构位于导电图案与基板上,其中第层迭结构包含第上薄膜、第二上薄膜和第三上薄膜,第上薄膜邻接导电图案与基板,第上薄膜、第二上薄膜和第三上薄膜依序堆栈。钝化层位于第层迭结构上,第三上薄膜邻接钝化层,其中导电图案、第上薄膜、第二上薄膜、第三上薄膜和钝化层之折射率依序递减。本发明减少导电图案与其上下层材料的折射率差异,借此改善导电图案的可视性。

    一种基于切削刀具的复合涂层制备工艺

    公开(公告)号:CN108315737A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810125438.0

    申请日:2018-02-07

    Inventor: 姚勇

    Abstract: 本发明公开一种基于切削刀具的复合涂层制备工艺,包括将切削刀具依次进行清洗前处理以及脱钴预处理,并清洗后吹干待用;将待用的切削刀具放入CVD金刚石沉积炉中,然后将CVD金刚石沉积炉抽真空,再按照CH4、H2、N2气流速率比1∶100~300∶1~3通入CH4、H2、N2三者的混合气体,加热热丝,以调节切削刀具的表面温度为600~1000℃,沉积6~10h,切削刀具表面形成导电金刚石涂层;再在CVD涂层表面进行TiN涂层沉积,得到复合涂层切削刀具。本发明公开一种基于切削刀具的复合涂层制备工艺,通过对切削刀具内部进行CVD导电金刚石涂层涂覆,再通过对CVD导电金刚石涂层表面进行TiN涂层涂覆,形成一种复合涂层的刀具。通过该制备工艺制备的切削刀具导电性好、韧性强、耐磨性好,使用寿命长。

    真空镀膜生产线
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108300971A

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201810396260.3

    申请日:2018-04-28

    CPC classification number: C23C14/0036 C23C14/352 C23C14/50

    Abstract: 本发明提供了真空镀膜生产线,包括PVD滚镀装置、室外机器人和货架区,PVD滚镀装置包括镀膜室和设备室,室外机器人能够集搬运工件及操作PVD滚镀装置两种功能于一体,智能化程度高,而且在实现智能化的过程中减少了机器人种类和数量,成本更低。而且,PVD滚镀装置内不再需要给小尺寸的工件制作夹具或者挂具,也不再需要对小尺寸工件进行装夹,可直接将大量的小尺寸工件放置在托盘内进行真空镀膜,不仅成本低,而且效率高。

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