凸块形成方法及焊接凸块
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100468673C

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200580029094.4

    申请日:2005-08-30

    CPC classification number: H01L2224/73204 H01L2924/014 H01L2924/14

    Abstract: 本发明提供一种可以均一性良好地形成多个微细凸块并且生产性高的凸块形成方法。在向形成了多个电极(11)的基板(10)上,供给了含有焊粉及对流添加剂(12)的树脂(13)后,在以平板(14)顶触向基板(10)上供给的树脂(13)的表面的同时,将基板(10)加热到焊粉熔融的温度。在该加热工序中,使熔融了的焊粉自行集聚,并且在多个电极(11)上自对准地一次性形成因自行集聚而长大的焊球(15)。其后,如果将平板(14)从树脂(13)的表面分离,除去树脂(13),则可以获得在多个电极上形成了凸块(16)的基板(10)。

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