一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN106946211A

    公开(公告)日:2017-07-14

    申请号:CN201710290496.4

    申请日:2017-04-28

    Abstract: 本发明公开了一种梁膜机构的微机电系统压力传感器芯片及其制备方法。包括玻璃衬底、n型单晶硅元件主体、隔离层、保护层;n型单晶硅元件主体的外缘支撑在玻璃衬底的上方,n型单晶硅元件主体的中部为镂空结构,使二者之间形成密闭空腔;密闭空腔的顶壁面设有膜片感压结构;膜片感压结构分成平模层和梁膜机构层;梁膜机构层由田字形谐振梁和半岛谐振梁构成,梁膜机构具有线性度好、灵敏度高等优点。压敏电阻采用单晶硅材料,同时感压膜与压敏电阻之间设有隔离层,进一步提高了灵敏度和温度特性,克服了现有技术中由于温度过高,而导致传感器失效等缺陷。本传感器制备工艺简便易行、成本低廉,易于集成化和小型化。

    一种面向精密定位的柔顺铰链显式拓扑优化设计方法

    公开(公告)号:CN119294012A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202411820262.2

    申请日:2024-12-11

    Abstract: 本发明公开的一种面向精密定位的柔顺铰链显式拓扑优化设计方法,包括:建立柔顺铰链拓扑优化设计区域,并定义设计域和非设计域;在设计域和非设计域内建立底层有限元分析框架;利用以两端控制点受约束的贝塞尔曲线为中心骨架的可变宽度组件描述柔顺铰链在设计域内的伪密度场;建立基于以两端控制点受约束的贝塞尔曲线为中心骨架的可变宽度组件描述的柔顺铰链显式拓扑优化数学模型;计算柔顺铰链显式拓扑优化数学模型的灵敏度;利用灵敏度通过优化方法求解所述柔顺铰链显式拓扑优化数学模型,化得到最优的设计变量,提取最优的设计变量即可表达柔顺铰链轮廓。本发明可以优化设计得到具有较高转动精度、较高转动柔度且易于加工制造的柔顺铰链。

    一种基于微视觉系统的柔顺铰链柔度及旋转精度测量装置

    公开(公告)号:CN110261081B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN201910493563.1

    申请日:2019-06-06

    Abstract: 本发明公开了一种基于微视觉系统的柔顺铰链柔度及旋转精度测量装置,包括:一隔震底座;支架,固定在隔震底座上;相机马达及镜头,镜头朝下地竖直固定在支架上;X‑Y二维移动平台,固定在隔震底座上且位于相机马达及镜头下方;三个定滑轮装置,固定在隔震底座边缘处,其中两个定滑轮装置沿Y向相对地固定设置在隔震底座边缘处,另一个定滑轮装置沿X向固定设置在隔震底座边缘处;砝码,所述砝码通过跨过相应定滑轮装置的绳子与固定在X‑Y二维移动平台上的待测柔顺铰链相连接。本发明采用微视觉系统对铰链在施加负载前后的位移进行实时测量、通过改变铰链的受力点和载荷大小得到多组实验数据,安装简便、操作简单、可重复性高。

    一种磁驱折纸软体机器人的磁驱动单元激光诱导转印方法

    公开(公告)号:CN115041836B

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202210763982.4

    申请日:2022-06-30

    Abstract: 本发明公开了一种磁驱折纸软体机器人的磁驱动单元激光诱导转印方法,包括首先制备出磁响应硅胶薄膜及普通硅胶薄膜,并对磁响应硅胶薄膜充磁;通过激光光束切割磁响应硅胶薄膜得到待转印磁驱动单元;通过激光光束照射待转印单元,诱导待转印单元局部发生气化,推动待转印单元撞击到普通硅胶薄膜上;移动或转动下一待转印单元到目标位置,通过激光光束诱导其发生转印,重复此操作直至完成所有单元的转印,得到磁驱折纸软体机器人。通过转印不同厚度的磁响应硅胶薄膜或者通过二次转印能够得到具备三维磁驱动单元分布的复杂磁驱折纸软体机器人。本发明可实现此类机器人的高精度、免组装制造,提高生产效率,降低生产成本。

    一种跨尺度微小零件自适应柔顺装配机构

    公开(公告)号:CN114619423A

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202210103425.X

    申请日:2022-01-27

    Abstract: 本发明公开的一种跨尺度微小零件自适应柔顺装配机构,包括柔顺夹持机构、第一压电叠堆驱动器、第二压电叠堆驱动器以及柔顺胞元钳口,第一夹持臂和第二夹持臂关于轴线对称布置,且一端均与位移放大机构相连;第一压电叠堆驱动器和第二压电叠堆驱动器分别嵌入设置在位移放大机构的两侧;柔顺胞元钳口可拆卸设置在第一夹持臂和第二夹持臂的自由端部。相对传统的装配机构而言,其能够对特征范围在微米到毫米级的微小零件实现自适应的夹取操作,兼具结构紧凑、体积小、重量轻等优点,可完成对微小零件的精密装配,也可用于多品种、多批次微小器件的柔性装配。

    平面复合结构空间柔顺铰链冲压模具

    公开(公告)号:CN112756481B

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202011587563.7

    申请日:2020-12-28

    Abstract: 本发明公开了一种平面复合结构空间柔顺铰链冲压模具,包括有移动副折弯模块及转动副折弯模块,移动副折弯模块的一号折弯块上形成通孔供一号夹紧组件穿过,对一号夹紧组件的运动轨迹进行了限定,防止了折弯过程中一号夹紧组件发生偏移导致加工失败;此外,转动副折弯模块包括了二号夹紧组件、竖直压块及一对水平压块,二号夹紧组件上设置限定水平压块移动轨迹的限位结构,并设置短边折弯部供竖直压块的下端穿过,对水平压块和竖直压块在工作过程中的运动轨迹实现限定,保证了二者能准确作用在金属薄片的预设变形区域上,极大提高了加工的良率。

    一种柔顺铰链应力测量装置

    公开(公告)号:CN110095215A

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201910468948.2

    申请日:2019-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种柔顺铰链应力测量装置,包括:底座,所述底座的边缘沿长度方向设置有若干通过螺栓连接待测柔顺铰链固定端的螺孔;螺旋测微头支座,固定设置在所述底座的一端;螺旋测微头,与所述螺旋测微头支座螺纹连接;长条板,所述长条板的一端与所述螺旋测微头相抵接,中部沿长度方向设置有通过螺栓连接各待测柔顺铰链自由端的长圆槽或若干通孔;若干应变片,分别粘贴设置在各待测柔顺铰链发生形变的表面,用于采集各待测柔顺铰链的形变信号发送至静态应变分析仪。本发明通过对不同铰链之间给定相同的旋转角度,使铰链发生形变,从而通过应变片测量出不同铰链之间的应力差异,结构简单,操作方便。

    一种高精度转动柔性铰链
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105864275A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610357255.2

    申请日:2016-05-25

    CPC classification number: F16C11/04

    Abstract: 本发明公开了一种高精度转动柔性铰链,包括相隔一定间距对称设置的左刚性部分和右刚性部分、连接于所述左刚性部分和右刚性部分之间的柔性部分,所述柔性部分包括板状长柔性单元、结构相同且关于长柔性单元对称设置的板状第一短柔性单元和板状第二短柔性单元,所述的长柔性单元沿铰链水平中轴线连接于左刚性部分、右刚性部分之间,所述第一短柔性单元和第二短柔性单元沿长柔性单元的中垂线方向对称地竖直连接于所述左刚性部分和右刚性部分之间。本发明是一种具有多个变形单元的柔性铰链结构,相对于传统的切口型柔顺铰链而言,兼具行程大、精度高的优点,适用于高精度柔顺精密定位平台。

    一种叠堆式压电陶瓷驱动器的楔块预紧机构及其预紧方法

    公开(公告)号:CN103671374B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201310700543.X

    申请日:2013-12-17

    Abstract: 本发明公开了一种叠堆式压电陶瓷驱动器的楔块预紧机构,包括平台、叠堆式压电陶瓷驱动器、基座、从动楔块、螺纹调节杆、主动楔块以及推拉块,平台上有凹槽,基座具有容纳槽,容纳槽在基座一侧壁上具有开口,从动楔块滑动连接于开口中,容纳槽顶部有螺纹通孔,螺纹调整部旋进螺纹通孔中,主动楔块开设有通槽,推拉块设置于通槽中,螺纹调节杆连接部与推拉块连接,从动楔块与主动楔块上分别设有斜面,两斜面相接触。本发明还公开了使用上述楔块预紧机构预紧的方法。通过旋转螺纹调节杆推动主动楔块运动,进而推动与之相接触的从动楔块运动以实现对叠堆式压电陶瓷驱动器的预紧,调整及维护简便、预紧平稳、可控双向连续调节以及安装拆卸方便。

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