-
公开(公告)号：CN103381327B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210137983.4
申请日：2012-05-04
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出一种过滤器装置，适用于向半导体制造领域的光刻机提供洁净的气浴气体。该过滤器装置包括风道外壁、于所述风道外壁内侧并排设置的多个过滤器以及多个分流板；所述过滤器平行于入风方向安装；所述分流板安装于过滤器的端部；且分流板与过滤器交替布置连接成封闭所述风道外壁内侧的结构，实现气体在过滤器装置入口的分流，经过过滤器之后，在过滤器装置出口的汇流。采用上述设计，此滤器装置在保证气浴气体洁净度的同时可以做到整体尺寸小、质量轻，可以安装在风道内部，适用于小型光刻机。
-
公开(公告)号：CN104880912A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201410070265.9
申请日：2014-02-28
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于光刻机的浸液维持、更新装置，其特征在于：包括安装面板、第一液体进口、第二液体进口、第一液体抽取口、第二液体抽取口和第三液体抽取口，安装面板中设置气体/液体通道，与第一液体进口、第一液体抽取口、第二液体进口、第二液体抽取口、第三液体抽取口相连接；第二液体抽取口位于第二液体进口外侧，第二液体抽取口被嵌于第三液体抽取口内侧，所述第三液体抽取口为多孔板。
-
公开(公告)号：CN104565645A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310513304.3
申请日：2013-10-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
CPC classification number: F16L41/021 , F16L41/03 , F16L55/10
Abstract: 本发明提供了一种冷却水分集流装置，包括：连接杆、若干紧堵机构、若干分流机构；所述紧堵机构穿过所述连接杆并紧靠所述分流机构，使所述分流机构相对于所述连接杆悬空固定，若干个所述分流机构首尾串联成冷却水主路。本发明还提供了冷却水分集流装置的制备方法。本发明提供的冷却水分集流装置，形成以分流单元为主体的模块化组装结构可成批生产，缩短加工周期，从而降低加工成本。
-
公开(公告)号：CN102539018B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201010618388.3
申请日：2010-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明提供一种温度传感器标定装置，包括恒温水槽、恒温腔室、智能控制结构。本发明采用特有的恒温腔室为恒温水槽提供稳定的工作环境，并多次采集数据取平均值，从而实现高精度的温度标定；本发明还采用特制的传感器接口板可以用一个标准传感器同时标定多个传感器，同时利用温度控制单元和外腔气体回收缩短温度稳定时间，实现了高效率的温度标定；此外，本发明的标定装置结合了现有技术，安装及操作简单，可按不同使用要求进行替换、增加或删减装置，因而可大范围推广使用。
-
公开(公告)号：CN103381327A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201210137983.4
申请日：2012-05-04
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种过滤器装置，适用于向半导体制造领域的光刻机提供洁净的气浴气体。该过滤器装置包括风道外壁、于所述风道外壁内侧并排设置的多个过滤器以及多个分流板；所述过滤器平行于入风方向安装；所述分流板安装于过滤器的端部；且分流板与过滤器交替布置连接成封闭所述风道外壁内侧的结构，实现气体在过滤器装置入口的分流，经过过滤器之后，在过滤器装置出口的汇流。采用上述设计，此滤器装置在保证气浴气体洁净度的同时可以做到整体尺寸小、质量轻，可以安装在风道内部，适用于小型光刻机。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102841508A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201110172218.1
申请日：2011-06-23
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种分流式气浴风道，包括本体以及至少一个分流单元。本体具有至少一个支路出风口。分流单元与支路出风口一一对应设置，本体的高度随着分流单元依次减小。分流单元包括调节件与分流片，调节件可移动地设置于本体且连接于分流片，分流片平行于本体。此分流式气浴风道在满足各个支路流量可调的同时，解决了支路流量调节相互干扰的问题，减少了气浴系统的压阻，节约了能耗。
-
公开(公告)号：CN102564299A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201010618443.9
申请日：2010-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法，所述实现装置包括：内壳，其内部为所述目标空间，所述目标空间中填充有第一介质；外壳，包围在所述内壳外部，与所述内壳之间形成环形空间，所述环形空间中填充有第二介质；静压腔体，设置于所述外壳的一端；过滤器，设置于所述外壳与所述静压腔体之间，所述静压腔体、过滤器及外壳三者连通。本发明所述提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法，应用于干涉仪等需要高温度稳定性的装置，可以实现长时间的高温度稳定性。
-
公开(公告)号：CN102539018A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010618388.3
申请日：2010-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明提供一种温度传感器标定装置，包括恒温水槽、恒温腔室、智能控制结构。本发明采用特有的恒温腔室为恒温水槽提供稳定的工作环境，并多次采集数据取平均值，从而实现高精度的温度标定；本发明还采用特制的传感器接口板可以用一个标准传感器同时标定多个传感器，同时利用温度控制单元和外腔气体回收缩短温度稳定时间，实现了高效率的温度标定；此外，本发明的标定装置结合了现有技术，安装及操作简单，可按不同使用要求进行替换、增加或删减装置，因而可大范围推广使用。
-
公开(公告)号：CN202713114U
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201220355640.0
申请日：2012-07-20
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本实用新型涉及磁浮直线电机，尤其涉及一种带有冷却装置的磁浮直线电机，包括若干绕线柱、分别缠绕于每个绕线柱外侧的若干线圈、分别固定于线圈顶部和底部的上层隔板和下层隔板、设于所有线圈外围的防护环以及隔离设置于所述下层隔板下侧的磁钢阵列，所述上层隔板中设有令冷却液通过的冷却通道，每两个相邻的线圈之间竖直方向上设有翅片，所述下层隔板与所述线圈底部之间水平方向上设有散热板。本实用新型通过在每两个相邻的线圈之间设置翅片，在线圈底部与下层隔板之间设置散热板，以提高线圈的散热面积与散热效率，进而改善整个磁浮直线电机的散热状况，且结构简单、易于实现。
-
公开(公告)号：CN202710956U
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201220319994.X
申请日：2012-07-03
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G05B19/04
Abstract: 本实用新型公开了一种温控设备管路切换装置，用于实现对高精度温控对象组和低精度温控对象组的供水切换控制，包括第一温控设备,其输出口经第一支路和第二支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第五支路和第六支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；第二温控设备，其输出口经第三支路和第四支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第七支路和第八支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；以及八个控制阀，分别设置于第一至第八支路上，本实用新型能方便实现温控设备在工作状态和休息状态间切换以及对不同温控对象组进行选择性供水。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
40
records
(took 0.03 seconds)
