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公开(公告)号：CN102213502A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201010143650.3
申请日：2010-04-09
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种提高半导体制冷系统稳定性的装置，包括半导体制冷器，所述半导体制冷器包括冷端以及设置于其两侧的热端，所述冷端与其两端的热端之间分别设置有半导体制冷片，需要被冷却的介质从第一管路接口处流入，通过半导体制冷器的冷端后，从第二管路接口流出，冷却水从第三管路接口处流入，通过半导体制冷器的热端后，从第四管路接口流出，其中，所述冷却水流入热端的部分通过电控流量调节阀调节，所述半导体制冷片上靠近热端部分设置有温度传感器。本发明提出的提高半导体制冷系统稳定性的装置，提高了半导体制冷系统工况的稳定性，使制冷系统输出的功率更加稳定，更进一步，该装置还可以节省资源。
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公开(公告)号：CN102213502B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201010143650.3
申请日：2010-04-09
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种提高半导体制冷系统稳定性的装置，包括半导体制冷器，所述半导体制冷器包括冷端以及设置于其两侧的热端，所述冷端与其两端的热端之间分别设置有半导体制冷片，需要被冷却的介质从第一管路接口处流入，通过半导体制冷器的冷端后，从第二管路接口流出，冷却水从第三管路接口处流入，通过半导体制冷器的热端后，从第四管路接口流出，其中，所述冷却水流入热端的部分通过电控流量调节阀调节，所述半导体制冷片上靠近热端部分设置有温度传感器。本发明提出的提高半导体制冷系统稳定性的装置，提高了半导体制冷系统工况的稳定性，使制冷系统输出的功率更加稳定，更进一步，该装置还可以节省资源。
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公开(公告)号：CN102548274A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010618430.1
申请日：2010-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电器控制箱，包括设置在第一侧壁(7)上的第一进风口(1)，设置在第二侧壁(9)上的出风口(2)，还包括至少一块夹板(5)，所述夹板(5)平行安装在剩余侧壁的至少一个面上，所述夹板(5)和剩余侧壁之间留有缝隙(8)，所述缝隙(8)的一端设置有第二进风口(51)，所述第二进风口(51)靠近第一进风口(1)，所述缝隙(8)的另一端设置有能够流向出风口(2)的导风口(52)，所述导风口(52)靠近出风口(2)。本发明电器控制箱，能够对电器控制箱的箱体进行均匀散热。
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公开(公告)号：CN101364116B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200810200084.8
申请日：2008-09-18
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种恒温控制装置，对流体介质通过加热、冷却处理后的充分混合来控制流体介质温度恒定。本发明通过在装置外部设置制冷器、内部设置加热器和混合区，同时在装置外部设置隔离区等技术手段，解决了外界温度环境对装置内部流体温度的热传导所带来的干扰以及流体介质混合不均匀造成的温度波动。
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公开(公告)号：CN101551179A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910050696.8
申请日：2009-05-06
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B21/02 , F25B49/00 , G05B19/048
Abstract: 本发明提供了一种制冷系统及制冷方法，所述制冷系统包括控制器、功率驱动模块、半导体制冷模块、安全检测模块和管路控制模块，还包括硬线安全互锁模块，当发生故障时，硬线安全互锁模块接收安全检测模块和功率驱动模块输出的故障信号，控制功率驱动模块断开半导体制冷器的直流电源，并将故障信号传输至控制器进行处理，提高了制冷系统的安全性，所述制冷系统包括三相电源滤波模块，解决了现有的制冷系统产生谐波干扰的问题，提高了制冷系统的电磁兼容性。本发明所提供的制冷方法根据制冷量的需求，选择需启动的半导体制冷器数量，扩大了制冷系统的应用范围，并降低能耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101364116A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810200084.8
申请日：2008-09-18
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种恒温控制装置，对流体介质通过加热、冷却处理后的充分混合来控制流体介质温度恒定。本发明通过在装置外部设置制冷器、内部设置加热器和混合区，同时在装置外部设置隔离区等技术手段，解决了外界温度环境对装置内部流体温度的热传导所带来的干扰以及流体介质混合不均匀造成的温度波动。
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公开(公告)号：CN102539018B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201010618388.3
申请日：2010-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明提供一种温度传感器标定装置，包括恒温水槽、恒温腔室、智能控制结构。本发明采用特有的恒温腔室为恒温水槽提供稳定的工作环境，并多次采集数据取平均值，从而实现高精度的温度标定；本发明还采用特制的传感器接口板可以用一个标准传感器同时标定多个传感器，同时利用温度控制单元和外腔气体回收缩短温度稳定时间，实现了高效率的温度标定；此外，本发明的标定装置结合了现有技术，安装及操作简单，可按不同使用要求进行替换、增加或删减装置，因而可大范围推广使用。
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公开(公告)号：CN102539018A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010618388.3
申请日：2010-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明提供一种温度传感器标定装置，包括恒温水槽、恒温腔室、智能控制结构。本发明采用特有的恒温腔室为恒温水槽提供稳定的工作环境，并多次采集数据取平均值，从而实现高精度的温度标定；本发明还采用特制的传感器接口板可以用一个标准传感器同时标定多个传感器，同时利用温度控制单元和外腔气体回收缩短温度稳定时间，实现了高效率的温度标定；此外，本发明的标定装置结合了现有技术，安装及操作简单，可按不同使用要求进行替换、增加或删减装置，因而可大范围推广使用。
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公开(公告)号：CN102213964A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201010143659.4
申请日：2010-04-09
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种高精密温度控制装置及其参数自整定方法，所述装置包括：液槽；加热器，位于所述液槽内；至少一个流量传感器或至少一个压力传感器，位于所述循环部分的管路上；液位传感器，位于所述液槽内，且位于所述加热器一侧；流量泵，和液槽相连；至少一个温度传感器，位于液槽内或液槽的输出管路上；制冷器，和所述液槽相连；控制部分，包括控制器和触摸屏，控制器和触摸屏相连，控制器和加热器、第一传感器、液位传感器、温度传感器、制冷器分别相连。本发明提供的装置和方法解决了温控参数与实际工况的匹配问题，扩展了温度控制设备的应用范围，降低了成本。
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公开(公告)号：CN101609262B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200910054733.2
申请日：2009-07-14
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明涉及一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括：至少一水套，该水套包括水套体和双螺旋缠绕在该水套体外壁的水管；用于感测该光刻机的投影物镜的温度的至少一温度传感器；分流集流板通过该分流集流管向该水套体的水管提供循环水并接收该水套体的水管内的回流水，该分流集流管上设置有用于控制该水管内的循环水流量的调节阀；循环水控制单元控制循环水的温度，并通过该传输管向该分流集流板提供循环水；投影物镜温度控制单元用于接收该温度传感器感测到的该投影物镜的温度，该投影物镜温度控制单元根据该投影物镜温度值调节该循环水控制单元提供的循环水的温度和该调节阀的打开程度。本发明的光刻机投影物镜的温度控制装置能够保证该投影物镜整体温度的均匀性与稳定性。
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