用于产生纳米颗粒的低压高频脉冲等离子体反应器

    公开(公告)号:CN102144275B

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN200980134077.5

    申请日:2009-09-01

    Abstract: 本发明提供了一种用于合成纳米颗粒的低压甚高频脉冲等离子体反应器系统。该系统包括腔室,该腔室用于接纳至少一个基板,并且能够被抽真空至所选压强。该系统还包括用于从至少一种前驱体气体产生等离子体的等离子体源,以及用于以所选频率提供连续或脉冲射频功率至等离子体的甚高频射频功率源。该频率是基于脉冲射频功率和等离子体之间的耦合效率来选择的。VHF放电和气体前驱体的参数是基于纳米颗粒性质来选择的。纳米颗粒平均大小和颗粒大小分布是通过控制辉光放电的驻留时间(脉冲调制等离子体)相对于通过放电区的气体分子驻留时间、以及纳米颗粒前驱体气体(一种或多种)的质量流量来操控的。

    单壁碳纳米管的生长方法
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101104513A

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200610061618.4

    申请日:2006-07-12

    Abstract: 本发明是关于一种单壁碳纳米管的生长方法,主要包括以下步骤:提供一基底;在基底上形成一氧化铟锡电极,氧化铟锡电极的厚度为5纳米~100纳米;在氧化铟锡电极上沉积一铝过渡层,铝过渡层的厚度为5纳米~40纳米;在铝过渡层上沉积一催化剂层,催化剂层的厚度为3纳米~10纳米;将沉积有催化剂层、铝过渡层和氧化铟锡电极的基底放置在空气中,在300℃~500℃下热处理10分钟~12小时,催化剂层经退火后形成氧化颗粒;将基底放置在反应装置中,在反应装置内通入保护气体,在保护气体的保护下加热至640℃~900℃;以及通入碳源气与保护气体的混合气体,加热至640℃~900℃反应30分钟~60分钟生长出单壁碳纳米管。

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