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公开(公告)号：CN103246066B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201310184817.4
申请日：2013-05-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明为一种对面阵半导体激光光束进行匀化处理的光学系统，含有面阵半导体激光器、准直透镜阵列、第一微透镜阵列、第二微透镜阵列、慢轴场镜、快轴场镜，面阵半导体激光器位于微准直透镜阵列的前焦面上，并以面阵半导体激光器输出激光束为系统光轴；第一微透镜阵列、第二微透镜阵列、慢轴场镜和快轴场镜依序位于光轴上并垂直于光轴；半导体激光器发出的多模激光光束经准直透镜阵列准直后平行入射，再经第一微透镜阵列将激光光束均匀地分割成多个子光束并聚焦于后焦面上，再经第二微透镜阵列、慢轴场镜和快轴场镜将每一子光束叠加于场镜的后焦面，即照明面上。本发明用柱形菲涅耳衍射微透镜阵列实现对半导体激光光束的匀化，提高光束的质量。
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公开(公告)号：CN103149153B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310035988.0
申请日：2013-01-30
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明公开了一种超衍射材料光传输特性的测试分析方法，利用测试激发光栅、待测超衍射材料样品和检测光栅实现测试分析，其特点是：光源从激发光栅侧入射，产生多级携带高空间频率的衍射波，然后通过待测超衍射材料样品，样品的透射波与检测光栅差频形成携带待测样品传输特性的干涉条纹。并可以通过旋转待测样品测试不同空间频率衍射波的透射光强或者干涉条纹对比度，以确定待测超衍射材料样品的光传输特性。本发明方法结构简洁，设计灵活，且测试方法便捷，实时性强。
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公开(公告)号：CN103149153A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310035988.0
申请日：2013-01-30
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明公开了一种超衍射材料光传输特性的测试分析方法，利用测试激发光栅、待测超衍射材料样品和检测光栅实现测试分析，其特点是：光源从激发光栅侧入射，产生多级携带高空间频率的衍射波，然后通过待测超衍射材料样品，样品的透射波与检测光栅差频形成携带待测样品传输特性的干涉条纹。并可以通过旋转待测样品测试不同空间频率衍射波的透射光强或者干涉条纹对比度，以确定待测超衍射材料样品的光传输特性。本发明方法结构简洁，设计灵活，且测试方法便捷，实时性强。
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公开(公告)号：CN102866594A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210365973.6
申请日：2012-09-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光栅辅助纳米成像的光刻方法，纳米物体或纳米图形掩模位于物方区域，在纳米物体或纳米图形掩模前放置一物方光栅，该光栅作用在于将高频倏逝波转化为传输波；在物方光栅外的远场区域放置一光学成像镜头组，利用该镜头组实现对光场分布投影成像。在光学成像镜头组另一侧放置一像方光栅，将传输波转化为高频倏逝波，最后在像方光栅下的成像区域成像。本发明利用两个光栅对传输波和倏逝波进行转化，同时利用光学成像镜头组实现对光场分布投影成像，得到了亚波长尺度的成像，突破了常规超衍射材料近场限制，物像空间位置关系可处于远场范围，且视场不受限于超衍射材料的损耗、加工困难等因素，拓展到与传统成像光学系统视场相当的尺寸。
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公开(公告)号：CN102628808A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210107599.X
申请日：2012-04-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度、高稳定性表面增强拉曼芯片的制备方法及应用方法，该方法首先是在1cm×1cm的双面精抛光石英基底上通过自组装的方法得到单层排布的聚苯乙烯纳米球阵列；再采用反应离子刻蚀工艺对制作的单层纳米球阵列进行刻蚀，改变纳米球之间间隙的尺寸大小；最后通过银纳米薄膜沉积和Lift off工艺得到结构周期为430nm，粒子直径为160nm，局域表面等离子体共振波长为780nm的表面增强拉曼芯片。本发明的表面增强拉曼芯片可检测出10nM浓度的若丹明6G分子；且同一高灵敏度、高稳定性表面增强拉曼芯片的7处不同位置处10μM浓度的若丹明6G分子的拉曼光谱曲线的特征峰值强度偏差为±3％，可满足生物、化学物质的快速特异性检测需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102621821A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210107682.7
申请日：2012-04-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种超长工作距表面等离子体超衍射光刻装置及方法，该装置包括以下结构，光学棱镜，光学棱镜底面沉积的是一层金属薄膜，金属薄膜下沉积了一层光电转换材料膜层，光学棱镜放置在涂敷有电子光刻胶的光学基片表面上方。该方法采用表面等离子体干涉形成纳米特征尺寸的光场分布，利用光电转换材料，表面等离子体干涉光场转换为低能电子辐射信号，经过磁场和电场的加速和聚焦，电子聚焦投影在光刻胶上实现纳米分辨力光刻。本发明可以有效延伸表面等离子体超衍射干涉光刻所需的工作距。
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公开(公告)号：CN102180438A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110075312.5
申请日：2011-03-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种可调谐三角形金属纳米粒子阵列结构的制作方法，步骤：(1)根据透射波长的需要选择合适型号的基底，对基底进行清洗、亲水化处理；(2)在基底表面均匀的自组装一层纳米球；(3)采用反应离子刻蚀机RIE工艺对制作的纳米球自组装层进行刻蚀，改变纳米球的间隙的尺寸大小；(4)利用刻蚀后的纳米球自组装作为模具，在球与球之间的间隙处填充金属；(5)通过Lift off工艺去除纳米球自组装层，得到阵列化的金属纳米结构芯片。本发明制作的金属纳米结构芯片的光学性质可控，可应用于局域表面等离子体共振(LSPR)传感、表面增强拉曼光谱(SERS)探测领域，实现生物、化学分子的快速检测。
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公开(公告)号：CN102073225A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201110038321.7
申请日：2011-02-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种纳光子直写头精密旋转定位调焦系统，属于直写光刻设备领域，(1)直写头调节装置可以进行纳米级Z向移动；(2)直写头调节装置可以进行0～90°转动；(3)基片台可以进行高速转动；(4)直写头悬臂具有一定弹性变形量；(5)直写头采用空气动力学原理设计结构，可以在基片台转动产生的气流作用下浮起基片表面。基片台高速转动时产生的气流可以实现直写头浮起基片表面几十纳米范围，保证光刻时两者距离处于近场倏逝波作用范围，突破衍射极限限制，实现高分辨力的光刻结果。
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公开(公告)号：CN101514985A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910078191.2
申请日：2009-02-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种局域表面等离子体共振增强生化检测仪，其特征在于：包括光源系统、传感系统、光谱分析系统以及数据处理系统四部分组成，其中所述传感系统上装有探测芯片；由光源系统提供光源，传感系统、光谱分析系统依次位于光源后面的出射光路上并都垂直于光轴放置；光源发出的光照射在传感系统的探测芯片上，光谱分析系统位于传感系统之后探测通过探测芯片的光线；并将所采集到的数据信息传输到数据处理系统，进行数据处理；通过该检测仪，达到对探测对象的快速、高灵敏识别并且适合外场测试的需求。本发明装置结构简单，成本低，携带方便；可以满足野外、公共场所、医院等对生化探测的需要，便于推广。
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公开(公告)号：CN101344482A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810119129.9
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 复合金属纳米结构检测金黄色葡萄球菌肠毒素的方法，包括以下步骤：(1)选择基片并清洗，在其上自组装一层聚苯乙烯纳米球；(2)用制作的聚苯乙烯纳米球自组装层做模具，通过真空蒸镀的方式，在自组装层上蒸镀银、金两种金属膜；(3)通过Lift－off工艺去除聚苯乙烯纳米球自组装层，得到阵列化的金属纳米阵列结构；(4)在金属纳米层上采用非定向共价连接法进行活化，在金属纳米结构表面形成一层抗SE羊单克隆抗体IgG的生物分子膜；(5)采用光谱仪提取该结构的消光光谱，获得其生物结合前的消光谱峰值；(6)将基片表面滴上待测溶液，反应后吹干，并重复步骤(5)；(7)通过步骤(6)前后的消光谱峰值对比，确定待测溶液中是否含有SE；在本方法中，待测溶液不需要进行纯化和标记，可应用于对SE或同类型毒素的快速检测。
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