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公开(公告)号：CN115877037A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211365264.8
申请日：2022-11-03
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 同济大学
IPC: G01Q40/00
Abstract: 本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D；将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定；待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率，根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，缩短了对仪器进行校准的溯源链长度，降低了量值传递过程的误差积累，提升了不同仪器之间的校准一致性，操作方便。
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公开(公告)号：CN108489401A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810563230.7
申请日：2018-05-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明提供了一种分体式校准靶标，在利用激光跟踪仪对激光扫描仪的空间距离示值误差进行校准时与靶镜相配合作为测量靶标使用，包括：靶座；靶镜承托组件，具有锥柄、设置在锥柄上的连接件以及设置在连接件上并用于通过磁性吸附与靶镜相连接的靶镜座；以及靶球组件，具有球侧锥柄、设置在球侧锥柄上的三维调节机构以及设置在三维调节结构上的靶球，其中，锥柄、球侧锥柄均为莫氏锥柄，该莫氏锥柄具有相同的尺寸以及公差，且锥尖向下设置，靶座上设置有莫氏锥套，该莫氏锥套的锥尖向下，开口向上，莫氏锥套与锥柄以及球侧锥柄相匹配。本发明还提供了具有上述分体式校准靶标的校准装置以及利用该校准装置对激光扫描仪进行校准的方法。
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公开(公告)号：CN105066939B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201510469248.7
申请日：2015-08-03
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明提供了一种球棒球心距检测装置及其检测方法，包括：基体，包含：导轨以及分别固定在导轨两端的两个支架；固定支撑部，固定在导轨上用于支撑球体；两个移动支撑部，分别设在固定支撑部两侧，每个移动支撑部包含：可移动式安装在导轨上用于支撑球体的球体侧支撑单元、以及可移动式安装在导轨上设在固定支撑部和球体侧支撑单元之间用于支撑球杆的球棒侧支撑单元；两个测量部，分别与两个球体侧支撑单元一一对应且安装在两个支架上，基于预定测量规则分别测量出其中一个球体侧支撑单元移动的第一距离和另一个球体侧支撑单元移动的第二距离；以及计算部，根据第一距离和第二距离计算出球心距。
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公开(公告)号：CN104457556B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201310441883.5
申请日：2013-09-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B7/312
Abstract: 本发明公开了一种涡轮部件及螺柱标准件同轴度的测量装置和方法，所述表座固定在底座上，电感测微仪设置于表座上，弹性体的一端固定在底座上，另一端和连接座的底部相连，连接座的首端和电感测微仪相连，末端和滑轨垂直相连，测头夹具套设在滑轨上，三针套件固定在测头夹具上，安装架固定在底座上，待测工件的圆柱部分夹持于安装架上，三针套件压紧在待测工件的螺纹部上，滚动轴承设置于待测工件的圆柱部分上，质量块压加在滚动轴承上。还公开了一种涡轮部件及螺柱标准件同轴度的测量方法。本发明结构简单，制作方法，能够简单速度的测得待测工件的同轴度，精度高，操作过程简单，易于广泛推广。
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公开(公告)号：CN102278933B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201110184739.9
申请日：2011-07-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种圆柱直齿渐开线花键环规跨棒距的测量方法及测量装置，测量方法包括如下步骤：（1）在卧式测长仪的测量座和尾座上相向安装两对称的测钩，在测钩的钩尖端上安装测量测头，所述测量测头包括刀口测头和平面测头，所述刀口测头与内花键键齿齿槽相互垂直；（2）进行零位校准，即调整两测量测头平行，将组合的量块用量块夹固定在卧式测长仪工作台上，调整工作台使量块夹上量爪工作面与刀口测头刀口面平行，然后将仪器置零；（3）量块取下，将被测的花键环规安装好，测量棒安装在被测的花键环规齿槽内；（4）使刀口测头与测量棒接触，调整工作台，读取仪器示值，加上零位校准用量块的实际值，就获得被测花键环规的跨棒距。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102278933A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110184739.9
申请日：2011-07-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种圆柱直齿渐开线花键环规跨棒距的测量方法及测量装置，测量方法包括如下步骤：（1）在卧式测长仪的测量座和尾座上相向安装两对称的测钩，在测钩的钩尖端上安装测量测头，所述测量测头包括刀口测头和平面测头，所述刀口测头与内花键键齿齿槽相互垂直；（2）进行零位校准，即调整两测量测头平行，将组合的量块用量块夹固定在卧式测长仪工作台上，调整工作台使量块夹上量爪工作面与刀口测头刀口面平行，然后将仪器置零；（3）量块取下，将被测的花键环规安装好，测量棒安装在被测的花键环规齿槽内；（4）使刀口测头与测量棒接触，调整工作台，读取仪器示值，加上零位校准用量块的实际值，就获得被测花键环规的跨棒距。
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公开(公告)号：CN101504273A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910056935.0
申请日：2009-03-06
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种物体平面微、纳米尺寸的测量装置及其测量方法，其特征在于：包括纳米定位测量机、光学显微镜测头和数据处理器，纳米定位测量机箱体内设有三个微型平面镜干涉仪和两个角度传感器来实现计量性的定位和测量，纳米定位测量机箱体一侧垂直支撑其固定支架，固定支架的另一端安装光学显微镜测头，光学显微镜测头底下是被测物体和载物台；被测物体经光学显微镜测头成像后，图像数据传递到数据处理器，数据处理器将接收到的数据进行数值转换获取被测物体在光学显微镜测头视场内的灰度图，在灰度图中设定线宽方向，然后设定沿此方向的区域，计算所述区域内各像素点的灰度算术平均值，并将所述灰度算术平均值经数模转换后发送到纳米测量机。
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公开(公告)号：CN113237446B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202110414926.5
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本发明为一种复合型纳米膜厚标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域为几何薄膜结构测量工作区域，所述的第二测量工作区域为物性薄膜结构测量工作区域，两测量工作区域厚度参数相同，所述的第一测量工作区域设有几何结构工作框，所述的工作框四边外周设有一级循迹标识，在工作框内部设有二级循迹标识，工作框中部则设有中心几何薄膜结构，所述的第二测量工作区域设有物性薄膜结构中心圆，其外周布置有带箭头循迹标识，所述物性薄膜结构中心圆的外周还顺序设有第一外环、第二外环和第三外环。
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公开(公告)号：CN118347405A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410455706.0
申请日：2024-04-16
Abstract: 本发明公开了一种坐标标准场测量质量监控方法、系统及相关设备，涉及计量测试技术领域，包括用于控制位于站位j的激光跟踪仪对参考点i实施测量并获取测量数据，对激光跟踪仪在站位j测得参考点i的数据进行单次测量异常辨识、基于历史数据的异常辨识和单站异常辨识，根据辨识出的异常的类型选择不同的处置方式并实施；利用激光跟踪仪对站位内多个参考点的测量数据进行最优化计算，得到参考点坐标；实现在激光跟踪仪多站协同测量坐标标准场的过程中监控测量质量，快速发现异常数据，通过分类处置指导测量人员排除故障并及时复测，减少了测量返工的次数，在保证坐标标准场的准确度的前提下缩短坐标标准场的溯源过程的用时。
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公开(公告)号：CN117029725A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310518456.6
申请日：2023-05-09
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种相位测量轮廓术多频外差相位展开的相位跳变误差消除方法，基于多频外差原理，通过后一像素点相位幅值减去当前像素点相位幅值计算展开相位的梯度，找出展开相位中可能存在误差的可疑点，根据误差的幅值判断误差来源并确定误差的起始和终止像素点位置，消除跳变误差并对跳跃点处加以平滑，该方法可判别实际形貌落差与跳变误差，消除阴影部分以外的跳变误差部分，使相位展开后得到的绝对相位更加平整且无跳变，从而使得整幅光栅条纹的相位展开图连续、光滑、无跳变，提高了三维形貌测量结果的精确度及稳定性。
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