公开(公告)号：CN115769333A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202180043817.5

申请日：2021-06-16

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·普拉托维 ,  奈尔·巴森 ,  舒·佐藤 ,  保罗·西尔弗斯坦 ,  马文·法利

IPC: H01J37/08 ,  H01J1/20 ,  H01J27/20 ,  H01J27/08

Abstract: 用于形成一等离子体的离子源，具有阴极，该阴极具有一空腔及界定阴极阶梯的阴极表面。灯丝安置于该空腔内。一阴极屏蔽件具有至少部分地包围所述阴极表面的阴极屏蔽件表面。一阴极间隙形成于所述阴极表面与阴极屏蔽件表面之间，界定用于限制该等离子体穿过该间隙的弯曲路径。所述阴极表面可具有由第一阴极直径及第二阴极直径所界定的阶梯式圆柱形表面，该第一阴极直径及第二阴极直径彼此不同，以界定该阴极阶梯。该阶梯式圆柱形表面可为一外表面或一内表面。该第一阴极直径及第二阴极直径可为同心的或轴向偏心的。

公开(公告)号：CN109417010B

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201780034185.X

申请日：2017-05-30

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 马文·法利 ,  迈克·艾明 ,  科森·柯-查恩·简

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01L21/265 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统，其包括第一腔室以及具有加热夹盘的处理腔室。控制器在加热夹盘与第一腔室之间转移工件并选择性激励加热夹盘的第一模式和第二模式。在第一模式和第二模式下，分别将加热夹盘加热到第一温度和第二温度。第一温度是预定温度。第二温度是可变温度，由此控制器基于第一腔室中的热预算、注入能量和/或工件初始温度来确定第二温度，并且在第二模式下大体上维持第二温度。将工件从加热夹盘转移至第一腔室在第二模式下从处理腔室移除注入能量。通过在加热夹盘与冷却板之间转移工件，可以进一步将热量从加热夹盘传递至冷却板，继而冷却加热夹盘。

公开(公告)号：CN102292791A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201080005104.1

申请日：2010-01-22

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 马文·法利 ,  罗纳德·博尔纳 ,  杰弗里·莱丁 ,  西奥多·斯米克 ,  高尾坂濑 ,  罗纳德·霍纳 ,  爱德华·艾伊斯勒 ,  布赖恩·弗瑞尔 ,  马克·朗伯 ,  多诺万·贝克尔 ,  保罗·艾德

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/24542

Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。

公开(公告)号：CN102067270A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123733.1

申请日：2009-06-23

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 西奥多·斯米克 ,  保罗·艾德 ,  杰弗里·莱丁 ,  马文·法利 ,  罗纳德·霍纳 ,  织田简

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  F16M11/18

CPC classification number: H01J37/3171 ,  F16M11/123 ,  F16M11/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20278

Abstract: 提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。