公开(公告)号：CN101345218B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200810130304.4

申请日：2008-07-04

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 服部孝司 ,  波多野睦子

IPC: H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  G02F1/136 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L27/1266 ,  G02F1/133305 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/1218 ,  H01L29/78603

Abstract: 本发明的课题在于提供一种采用转印方式在树脂基板上形成TFT的方法，所述方法不需降低操作温度，可以使用现有的生产线，同时能够抑制成本。本发明涉及一种半导体装置的制造方法，所述半导体装置的制造方法包含如下工序：在支承基板的上层形成树脂膜(a)的工序、在树脂膜(a)的上层形成半导体元件的工序、和从形成有半导体元件的树脂膜(a)上剥离支承基板的工序，其中，树脂膜(a)的膜厚为1μm以上30μm以下，波长400nm以上800nm以下的可见光的透过率为80％以上，重量减少3％的温度为300℃以上，熔点为280℃以上。

公开(公告)号：CN101561737A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200910133593.8

申请日：2009-04-16

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 木下将嘉 ,  万场则夫 ,  波多野睦子

IPC: G06F3/044 ,  G06F3/047

CPC classification number: G06F3/044

Abstract: 本发明提供一种静电电容式触摸板，包括：基板；并排设置在基板上的多个第一电极；覆盖多个第一电极而形成的绝缘膜；在绝缘膜上与多个第一电极交叉而并排设置的多个第二电极；分别与多个第一电极连接并被引出至连接端子的多条第一引出布线；以及分别与多个第二电极连接并被引出至连接端子的多条第二引出布线，多条第一引出布线具有不同的布线长度，布线长度越短则布线宽度越宽，并且布线长度越长则与相邻的第一引出布线的间隔越大。根据本发明，能通过使检测灵敏度均匀而提高检测精度。

公开(公告)号：CN100552749C

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200410056323.9

申请日：2004-08-06

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 矢崎秋夫 ,  本乡幹雄 ,  波多野睦子 ,  齐藤裕 ,  大仓理

IPC: G09F9/30 ,  H01L21/00 ,  H01L21/20 ,  G02F1/136 ,  H05B33/00

CPC classification number: H01L21/02683 ,  B23K26/032 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0652 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0732 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1229 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1296 ,  H01L29/04 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78675

Abstract: 本发明提供一种显示屏的制造方法及显示屏。在该显示屏的制造方法中，将连续振荡(CW)固体激光聚光为线状并在聚光的宽度方向S上以一定的速度扫描的同时对大尺寸绝缘基板上将成为各单个显示屏的非晶态硅膜进行照射。此时，对连续振荡激光进行时间调制，以变为规定的结晶状态的功率密度对同一绝缘基板内的像素部、外围电路部进行照射，使其改性成为与作入到像素部、外围电路部的薄膜晶体管电路的必需性能相应的结晶状态的硅膜。这样一来，结果就可以在维持像素部或外围电路部所必需的具有最优结晶状态的薄膜晶体管电路的大生产率原样不变的同时，实现廉价提供具有作为显示屏的良好显示特性的产品。

公开(公告)号：CN101165907A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710166857.0

申请日：2007-10-22

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 松村三江子 ,  丰田善章 ,  佐藤健史 ,  波多野睦子

IPC: H01L27/12 ,  H01L23/522 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L29/4908 ,  G09G3/3233 ,  G09G2300/0842 ,  G09G2300/0861 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1255 ,  H01L27/3244 ,  H01L29/41733 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种图像显示装置及其制造方法，通过做成具有能够削减注入和光刻的工序数的结构的薄膜晶体管，缩短了制造所花费的时间。栅极电极(GT)具有薄的下层金属(GMB)与上层金属(GMT)的层叠结构，保持电容(Cst)部分的上层电极取为仅有下层金属(GMB)。而且，使保持电容(Cst)的下部电极用注入通过薄的下层金属(GMB)与源极/漏极的注入同时进行。(PMOSTFT)的栅极电极也取为仅有下层金属(GMB)，利用相同的抗蚀剂进行源极/漏极的注入和阈值调整注入。通过将薄膜晶体管和保持电容取为这样的结构，能够削减1个光刻工序和1个注入工序，能以更短的时间、更低廉的价格获得用于图像显示装置的有源矩阵基板。

公开(公告)号：CN100347819C

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN03150070.6

申请日：2003-07-31

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: H01L21/20 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L21/02683 ,  H01L21/0268 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268 ,  H01L27/1285 ,  H01L29/04 ,  H01L29/66757

Abstract: 本发明涉及面板型的显示装置。本发明可提供在显示区域外的绝缘基板上具有稳定而且高品质的有源元件的显示装置。它是在绝缘基板上形成的显示区域的外侧、用于驱动显示区域所形成的驱动电路的区域的非晶质半导体膜(非晶硅膜)上一边进行扫描、一边使聚光成线状或矩形状(带状)的连续振荡的激光开通或断开。借此，利用聚集的连续振荡的激光对做成驱动电路的区域的非晶质半导体膜进行退火，从而可将在该区域形成有源元件时的有源元件激活层改质为包含不具有横穿电流流动方向的晶粒边界的晶粒的带状多晶硅膜。

公开(公告)号：CN1649082A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN200410098335.8

申请日：2004-12-03

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 矢崎秋夫 ,  本乡幹雄 ,  波多野睦子 ,  野田刚史

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/324 ,  H01L21/336 ,  G02F1/136 ,  G09G3/36 ,  G09G3/38 ,  B23K26/00

CPC classification number: B23K26/073 ,  B23K26/702 ,  H01L27/14625

Abstract: 提供一种平面显示装置的制造装置。设有一直测定激光的空间强度分布及光轴的偏移的机构，入射到激光整形光学元件上的入射激光偏离了规定的条件时，对测定的信号进行处理，根据该处理结果，利用配置在光轴上的被插入构成光束放大器的透镜的焦点位置的空间滤波器，使入射到激光整形光学元件上的激光的光束形状、光束直径、入射位置一直保持预定的条件。因此，能在构成平面显示装置的显示面板的绝缘基板上，以高合格率稳定地形成有均匀的结晶性的硅薄膜。

公开(公告)号：CN1601579A

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：CN200410056323.9

申请日：2004-08-06

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 矢崎秋夫 ,  本乡幹雄 ,  波多野睦子 ,  齐藤裕 ,  大仓理

IPC: G09F9/30 ,  H01L21/00 ,  H01L21/20 ,  G02F1/136 ,  H05B33/00

CPC classification number: H01L21/02683 ,  B23K26/032 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0652 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0732 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1229 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1296 ,  H01L29/04 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78675

Abstract: 本发明提供一种显示屏的制造方法及显示屏。在该显示屏的制造方法中，将连续振荡(CW)固体激光聚光为线状并在聚光的宽度方向S上以一定的速度扫描的同时对大尺寸绝缘基板上将成为各单个显示屏的非晶态硅膜进行照射。此时，对连续振荡激光进行时间调制，以变为规定的结晶状态的功率密度对同一绝缘基板内的像素部、外围电路部进行照射，使其改性成为与作入到像素部、外围电路部的薄膜晶体管电路的必需性能相应的结晶状态的硅膜。这样一来，结果就可以在维持像素部或外围电路部所必需的具有最优结晶状态的薄膜晶体管电路的大生产率原样不变的同时，实现廉价提供具有作为显示屏的良好显示特性的产品。

公开(公告)号：CN100520906C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200710004229.2

申请日：2007-01-18

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 宫本光秀 ,  波多野睦子 ,  秋元肇 ,  渡边一希 ,  上坂晃一

IPC: G09G5/00 ,  G09G5/36 ,  H04N5/44 ,  G06K19/07

CPC classification number: G06F3/147 ,  G09G3/2096 ,  G09G5/397 ,  G09G2300/0857 ,  G09G2310/0275 ,  G09G2310/0289 ,  G09G2360/18 ,  G09G2370/16

Abstract: 本发明提供一种具有显示图像数据的功能的信息终端。由天线(6)接收从位于信息终端(1)外部的主装置输出的电磁波，通过检波电路(7)转换为二值化信号。通过由该检波电路(7)得到的信号，电源电路(10)产生驱动处理器(8)、存储器(9)、显示部(2)、数据布线驱动电路(3)、扫描布线驱动电路(4)以及时序控制器(5)的电力。处理器(8)对检波电路(7)接收到的信号进行译码，将接收到的信息存储到存储器(9)。时序控制器(5)，根据由检波电路(7)二值化后的信号生成数据布线驱动电路(3)的控制信号、扫描布线驱动电路(4)的控制信号以及图像数据，并在显示部(2)显示图像。

公开(公告)号：CN100444321C

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200410098554.6

申请日：2004-12-09

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 波多野睦子 ,  本乡干雄 ,  矢崎秋夫 ,  田井光春 ,  野田刚史 ,  高崎幸男

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/00 ,  G02F1/133 ,  G09F9/30 ,  G09G3/36

CPC classification number: H01L21/02691 ,  C30B1/06 ,  H01L21/02683 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/12 ,  H01L27/1285 ,  H01L29/04

Abstract: 本发明公开了一种半导体薄膜的制造方法及图像显示装置，该制造方法是在基板上形成的半导体薄膜的任意区域，通过使激光或上述基板扫描进行激光照射，来形成结晶化了的大致带状晶体，使得晶粒在上述扫描方向上生长，以在与扫描方向大致相同的方向上测量出的上述激光的光束尺寸W(μm)的值x为X轴，以扫描速度Vs(m/s)的值y为Y轴，在这样的XY坐标上，在条件1：上述光束尺寸W大于激光光束的波长，条件2：上述扫描速度Vs小于晶体生长速度的上限，条件3：x×(1/y)＜25μs全都成立的区域内进行上述结晶化处理。能得到降低了在结晶化的过程中产生的膜的粗糙度和晶体缺陷的高质量且均质的半导体薄膜。

公开(公告)号：CN101311789A

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200810109048.0

申请日：2008-05-23

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 波多野睦子 ,  服部孝司

IPC: G02F1/1333 ,  H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L27/1266 ,  G02F1/133305 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/1214

Abstract: 本发明提供一种能以简单的结构来廉价制造的显示装置的制造方法。提供一种可使用现有生产线来进行制造的显示装置的制造方法。该制造方法包括：在玻璃基板的主表面上通过使涂敷的树脂固化来形成树脂材料层的步骤；在上述树脂材料层的主表面侧形成构成显示电路的多个层叠材料层的步骤；以及从上述玻璃基板的与形成有上述层叠材料层的面相反的一侧的面照射光，使上述树脂材料层和上述玻璃基板的界面处产生剥离的步骤，将除去了上述玻璃基板的上述树脂材料层用作形成有上述显示电路的基板。