公开(公告)号：CN100347819C

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN03150070.6

申请日：2003-07-31

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: H01L21/20 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L21/02683 ,  H01L21/0268 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268 ,  H01L27/1285 ,  H01L29/04 ,  H01L29/66757

Abstract: 本发明涉及面板型的显示装置。本发明可提供在显示区域外的绝缘基板上具有稳定而且高品质的有源元件的显示装置。它是在绝缘基板上形成的显示区域的外侧、用于驱动显示区域所形成的驱动电路的区域的非晶质半导体膜(非晶硅膜)上一边进行扫描、一边使聚光成线状或矩形状(带状)的连续振荡的激光开通或断开。借此，利用聚集的连续振荡的激光对做成驱动电路的区域的非晶质半导体膜进行退火，从而可将在该区域形成有源元件时的有源元件激活层改质为包含不具有横穿电流流动方向的晶粒边界的晶粒的带状多晶硅膜。

公开(公告)号：CN1480780A

公开(公告)日：2004-03-10

申请号：CN03150070.6

申请日：2003-07-31

Applicant: 株式会社日立显示器

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/1341 ,  H01L29/786 ,  H01L21/336 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02683 ,  H01L21/0268 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268 ,  H01L27/1285 ,  H01L29/04 ,  H01L29/66757

Abstract: 本发明涉及面板型的显示装置。本发明可提供在显示区域外的绝缘基板上具有稳定而且高品质的有源元件的显示装置。它是在绝缘基板上形成的显示区域的外侧、用于驱动显示区域所形成的驱动电路的区域的非晶质半导体膜(非晶硅膜)上一边进行扫描、一边使聚光成线状或矩形状(带状)的连续振荡的激光开通或断开。借此，利用聚集的连续振荡的激光对做成驱动电路的区域的非晶质半导体膜进行退火，从而可将在该区域形成有源元件时的有源元件激活层改质为包含不具有横穿电流流动方向的晶粒边界的晶粒的带状多晶硅膜。