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公开(公告)号:CN101071266A
公开(公告)日:2007-11-14
申请号:CN200710096933.5
申请日:2007-04-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种适于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物,具体涉及一种包含由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、重氮类感光性化合物、有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。上述化学式1中,R表示氢、羟基或甲基,n是3至20的整数。本发明的光致抗蚀剂组合物,由于加入了酚醛清漆树脂,具有优异的耐热性及分辨率,且可提高图案均匀性。所述酚醛清漆树脂由芳香族醇聚合而成,所述芳香族醇包含间甲酚、对甲酚、间苯二酚。
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公开(公告)号:CN105814644B
公开(公告)日:2018-08-24
申请号:CN201480067695.3
申请日:2014-11-12
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G02F1/13439 , G02F2201/121 , G02F2202/22 , H01B1/124
Abstract: 本发明涉及液晶显示装置的背面电极形成用导电性组合物。具体地,本发明可提供一种向通过硅烷偶联剂的溶胶‑凝胶反应得到的组合物中添加导电性高分子及特定热产酸剂,藉以优化组合物中导电性高分子的分散性,从而在液晶显示装置中具有优秀的透光度和表面硬度,而且提高涂膜可靠性的防静电用背面电极。特别是,本发明能够确保可靠性,以提高硬度以及减少涂覆后随着时间而产生的表面电阻变化。
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公开(公告)号:CN102566270A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110353244.4
申请日:2011-11-07
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更具体地,涉及一种包含(a)5~30重量%的酚醛清漆树脂;(b)2~10重量%的二叠氮类感光性化合物;(c)1~70重量%的二烷基醚(dialkyl ether)类共溶剂;及(d)余量的有机溶剂的光致抗蚀剂组合物,其在真空干燥时不会形成倒锥形,具有优异的涂布均匀度,而且能够防止产生涂布斑点。
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公开(公告)号:CN101071267A
公开(公告)日:2007-11-14
申请号:CN200710096934.X
申请日:2007-04-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种用于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物,具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。在化学式1中,R表示氢、羟基或甲基,n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀剂组合物,由于加入了酚醛清漆树脂,因而具有可提高光致光致抗蚀剂的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、及邻羟苯甲醛缩聚合而成。
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