公开(公告)号：CN106104786A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480074391.X

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/042 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明的末端执行器(5)包括可分别独立地驱动的第1机器手(8)及第2机器手(9)。第1机器手(8)具有可插入至收容在基板收容部的上下邻接的基板彼此之间的机器手主体(10)，且保持机器手主体(10)的正上方或正下方的基板(S)。第2机器手(9)具有：机器手基部(11)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板(S)中的最下段的基板(S)的下方或最上段的基板(S)的上方；以及基板保持器件(12)，设置在机器手基部(11)，且保持包含最下段或最上段的基板(S)的两片以上的基板(S)。根据该末端执行器(5)，即便在根据基板收容部侧的情况而批次搬送式机器手的使用存在限制的情况下，也可顺利地进行基板搬送。

公开(公告)号：CN119096345A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380036251.2

申请日：2023-04-17

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥崎知 ,  北野真也 ,  金丸亮介 ,  山下雄大 ,  长泽知也

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 在该基板搬运机器人系统(100)中，控制部(60)基于在基板(1)的搬运中通过拍摄部(30)从比基板搬运机械手(20)靠下方的位置拍摄到的图像，取得基板(1)中的凹口(N)或定向平面的位置信息。

公开(公告)号：CN119072777A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202380035850.2

申请日：2023-04-24

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥崎知 ,  北野真也 ,  金丸亮介 ,  山下雄大 ,  长泽知也

IPC: H01L21/677 ,  B25J13/08

Abstract: 本半导体制造装置系统(100)具备包含第一托板支承部(31)和第二托板支承部(32)的基板保持机械手。而且，半导体制造装置系统(100)具备：拍摄部(60)，对包含基板(10)、半导体制造装置的构成要素、和基板保持机械手中的至少一个的检查对象进行拍摄；以及控制部，基于由拍摄部(60)拍摄到的拍摄图像，检测检查对象的状态。拍摄部(60)配置于第二托板支承部(32)。

公开(公告)号：CN110249420B

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN201880009264.X

申请日：2018-01-29

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田哲也 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  福岛崇行

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板，具备：底板，从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，设置于底板的梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动；及多个旋转体，设置于移动部的梢端侧，藉由移动部的移动，按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘，从而一边沿着基板的缘旋转，一边将基板向把持位置推升。

公开(公告)号：CN106104785B

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201480074387.3

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 本发明涉及一种末端执行器及基板搬送机器人。本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。

公开(公告)号：CN303348586S

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201430555737.0

申请日：2014-12-26

Applicant: 川崎重工业株式会社

Designer： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：产业用机械手。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于将该产品的基端侧装设在产业用机器人的机械手臂前端,以保持半导体晶元等衬底。3．本外观设计产品的设计要点：在于该产业用机械手的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．本外观设计产品的立体参考图1是表明构件名与动作方向的立体参考图，立体参考图2是表明衬底保持构件缩回状态的立体参考图。立体参考图1示出机械手前端侧及机械手基端侧各具有左右一对的衬底保持构件组(每一组包含5个衬底保持构件)。衬底保持构件的各组能从立体图所示的突出状态变化为立体参考图2所示的缩回状态。如立体参考图1所示,机械手基端侧的左右一对的衬底保持构件组是可沿箭头的动作方向上移动,且可于衬底保持位置(前进位置)与衬底非保持位置(后退位置)之间切换。如右视参考图及俯视参考图所示,本外观设计产品可同时保持多个衬底(最多5片)。