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公开(公告)号:CN1687763A
公开(公告)日:2005-10-26
申请号:CN200510025783.X
申请日:2005-05-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属传感器技术领域,具体为一种特高频双晶振混频式气体传感单元。它由两个晶体振荡器A和B、串联双二极管平衡混频器、检波及放大器、整形放大器经电路连接组成。其中,晶体振荡器A和B的两个晶振片的频率在30-60MHz之间,并具有相同的频点,其上涂敷有对某特定气体敏感的敏感膜,它们工作于晶振片的串联谐振频率fs和并联谐振频率fp之间。气体传感单元检测灵敏度高,对气体吸附选择性强,可广泛应用于特定气体的检测。
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公开(公告)号:CN1195219C
公开(公告)日:2005-03-30
申请号:CN03129410.3
申请日:2003-06-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明是微电极阵列芯片传感器。现有该类芯片传感器制备复杂、成本高、灵敏度不高。本发明提供了一种硅基表面的微电极阵列芯片传感器,该微电极阵列由叉指状微电极组成,该结构使正负电极之间距离足够小,保证了正负极之间电沉积电聚合功能分子时,膜厚度均匀可控;同时正负极发生反应时电子传输速率远高于平面电极,被测物在电极表面的传输速度也很快,因而这种叉指状设计优于平面电极,从而大大提高了检测灵敏度;该芯片运用MEMS技术,使制备工艺简单,操作方便,若将芯片表面作各种用途的修饰,本发明可用于不同用途的芯片传感器制作。
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公开(公告)号:CN1462878A
公开(公告)日:2003-12-24
申请号:CN03129410.3
申请日:2003-06-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明是微电极阵列芯片传感器。现有该类芯片传感器制备复杂、成本高、灵敏度不高。本发明提供了一种硅基表面的微电极阵列芯片传感器,该微电极阵列由叉指状微电极组成,该结构使正负电极之间距离足够小,保证了正负极之间电沉积电聚合功能分子时,膜厚度均匀可控;同时正负极发生反应时电子传输速率远高于平面电极,被测物在电极表面的传输速度也很快,因而这种叉指状设计优于平面电极,从而大大提高了检测灵敏度;该芯片运用MEMS技术,使制备工艺简单,操作方便,若将芯片表面作各种用途的修饰,本发明可用于不同用途的芯片传感器制作。
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公开(公告)号:CN1040460A
公开(公告)日:1990-03-14
申请号:CN89106240.8
申请日:1989-07-25
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/76
Abstract: 本发明属半导体集成电路工艺结构领域,是一种埋层阻挡式多孔硅氧化形成SOI结构的新工艺。主要步骤包括锑或砷扩散,在硅衬底上形成n型埋层阻挡层;P型外延;磷或砷离子注入,形成n型岛器件区;阳极化,使P型外延层转化为多孔硅;多孔硅氧化,形成SOI结构。本发明工艺简单,实施方便,获得的SOI结构平整,缺陷密度小,n型硅岛间的击穿电压大于200伏,适于制作各种类型的集成电路和半导体器件。
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公开(公告)号:CN101254094A
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200810035866.0
申请日:2008-04-10
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于神经微探针阵列技术领域,具体为一种组装式神经微探针阵列的制作方法。该方法用电镀焊接的方法把微探针阵列与对应的柔性互连线组装在一起,并用定刻胶对焊接处进行加固,电化学腐蚀出金属探针针尖后,用聚对二甲苯涂敷除插脚外的所有地方,接着,反应离子刻蚀掉针尖上的聚对二甲苯,根据刻蚀的条件可以控制微探针的阻抗。金属微探针有足够的强度刺入神经组织,而柔性互连线不会引起太大的损伤,这种方法制作的神经探针集合了两者的优点,有利于用作长期植入式神经信号的探测。
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公开(公告)号:CN101201540A
公开(公告)日:2008-06-18
申请号:CN200710170793.1
申请日:2007-11-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光子晶体技术领域,具体为一种由纳米压印技术制备水凝胶可调谐振光子晶体。本发明先设计成二维光子晶体图形结构,制作出PDMS弹性印章作为模板,采用流体铸模和纳米压印技术将PDMS上的光子晶体结构转移到水凝胶上,即得到水凝胶可调谐振光子晶体。通过控制温度的变化使水凝胶吸收水份膨胀或丢失水份而收缩,从而改变水凝胶表面光子晶体的晶格常数,使光子禁带的位置发生偏移。本发明制备的水凝胶可调谐光子晶体具有广泛的应用,不仅可以作为温度或湿度传感器,还可以用于生物DNA分子、蛋白质、病毒等的检测。
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公开(公告)号:CN100373157C
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200510025268.1
申请日:2005-04-21
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/48 , G01N33/53 , G01N27/327
Abstract: 本发明属硅微机械和电化学技术领域,具体为一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器。它由工作电极、参比电极、对电极和基板构成。其中,工作电极呈圆形或类似圆形,对称排列,参比电极呈U字形,置于工作电极中间,对电极呈长条形,置于参比电极中间。基板由硅衬层与二氧化硅层复合组成。工作电极有4-8个,电极与二氧化硅层间用钛粘附层粘结。各电极可采用IC工艺中的常规成膜工艺制备。本发明的微型传感器体积小,成本低,检测可靠性高。它可以定量检测血清中的抗原浓度,并可同时检测血清的多个指标,而血清的使用量很少。
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公开(公告)号:CN1865959A
公开(公告)日:2006-11-22
申请号:CN200610027194.X
申请日:2006-06-01
Applicant: 复旦大学 , 上海伍鳌医学科技有限公司
Abstract: 本发明涉及电极阵列微芯片传感器领域。具体的说,本发明设计了一种集成三电极体系的多通道阵列微芯片传感器,它由电极阵列微芯片和检测池组成;电极阵列微芯片是由工作电极阵列、对电极及参比电极组成。本发明首次实现了集成化多通道电极阵列芯片传感器的微型化,微芯片表面所形成的电解池体积不大于50微升,微型化的实现增加了检测灵敏度、准确性和检测速度;同时降低生产成本和检测成本。本发明可以应用于化工、生物、医药、环保等行业的样品检测分析,具有高通量、高灵敏度和低检测限等诸多优点。
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公开(公告)号:CN1696679A
公开(公告)日:2005-11-16
申请号:CN200510025784.4
申请日:2005-05-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属气体传感器技术领域,具体为一种特高频气体检测传感器的超声场气体脱附方法及其调控单元。该方法是对气体传感器的敏感膜施加20KHz~1MHz的超声交变电场,使气体的极性分子去极化,同时通入N2将气体分子带走。相应的调控单元包括超声场发生器、超声场极板和供电电源三部分。本发明对吸附气体脱附的效率高、速度快,可适用各种气体的脱附。
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公开(公告)号:CN1687768A
公开(公告)日:2005-10-26
申请号:CN200510025268.1
申请日:2005-04-21
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/48 , G01N33/53 , G01N27/327
Abstract: 本发明属硅微机械和电化学技术领域,具体为一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器。它由工作电极、参比电极、对电极和基板构成。其中,工作电极呈圆形或类似圆形,对称排列,参比电极呈U字形,置于工作电极中间,对电极呈长条形,置于参比电极中间。基板由硅衬层与二氧化硅层复合组成。工作电极有4-8个,电极与二氧化硅层间用钛粘附层粘结。各电极可采用IC工艺中的常规成膜工艺制备。本发明的微型传感器体积小,成本低,检测可靠性高。它可以定量检测血清中的抗原浓度,并可同时检测血清的多个指标,而血清的使用量很少。
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