公开(公告)号：CN100359322C

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200510025784.4

申请日：2005-05-12

Applicant: 复旦大学

Inventor： 刘全 ,  黄宜平 ,  谢海芬 ,  杨秋冬

IPC: G01N27/00 ,  B01J20/34 ,  G05D13/00 ,  B01J19/10

Abstract: 本发明属气体传感器技术领域，具体为一种特高频气体检测传感器的超声场气体脱附方法及其调控单元。该方法是对气体传感器的敏感膜施加20KHz～1MHz的超声交变电场，使气体的极性分子去极化，同时通入N2将气体分子带走。相应的调控单元包括超声场发生器、超声场极板和供电电源三部分。本发明对吸附气体脱附的效率高、速度快，可适用各种气体的脱附。

公开(公告)号：CN1696679A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200510025784.4

申请日：2005-05-12

Applicant: 复旦大学

Inventor： 刘全 ,  黄宜平 ,  谢海芬 ,  杨秋冬

IPC: G01N27/00 ,  B01J20/34 ,  G05D13/00

Abstract: 本发明属气体传感器技术领域，具体为一种特高频气体检测传感器的超声场气体脱附方法及其调控单元。该方法是对气体传感器的敏感膜施加20KHz～1MHz的超声交变电场，使气体的极性分子去极化，同时通入N2将气体分子带走。相应的调控单元包括超声场发生器、超声场极板和供电电源三部分。本发明对吸附气体脱附的效率高、速度快，可适用各种气体的脱附。