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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101254094A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810035866.0
申请日：2008-04-10
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于神经微探针阵列技术领域，具体为一种组装式神经微探针阵列的制作方法。该方法用电镀焊接的方法把微探针阵列与对应的柔性互连线组装在一起，并用定刻胶对焊接处进行加固，电化学腐蚀出金属探针针尖后，用聚对二甲苯涂敷除插脚外的所有地方，接着，反应离子刻蚀掉针尖上的聚对二甲苯，根据刻蚀的条件可以控制微探针的阻抗。金属微探针有足够的强度刺入神经组织，而柔性互连线不会引起太大的损伤，这种方法制作的神经探针集合了两者的优点，有利于用作长期植入式神经信号的探测。
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公开(公告)号：CN101254094B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200810035866.0
申请日：2008-04-10
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于神经微探针阵列技术领域，具体为一种组装式神经微探针阵列的制作方法。该方法用电镀焊接的方法把微探针阵列与对应的柔性互连线组装在一起，并用定刻胶对焊接处进行加固，电化学腐蚀出金属探针针尖后，用聚对二甲苯涂敷除插脚外的所有地方，接着，反应离子刻蚀掉针尖上的聚对二甲苯，根据刻蚀的条件可以控制微探针的阻抗。金属微探针有足够的强度刺入神经组织，而柔性互连线不会引起太大的损伤，这种方法制作的神经探针集合了两者的优点，有利于用作长期植入式神经信号的探测。
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公开(公告)号：CN101214149A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200710173298.6
申请日：2007-12-27
Applicant: 复旦大学
IPC: A61B5/05 , A61N1/04 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/768
Abstract: 本发明属于柔性互连线的微加工技术领域，具体为一种用于三维电学互连集成连线的制作方法。本发明以聚酰亚胺柔性材料为主体，用微加工工艺把铜互连线镶嵌到聚酰亚胺中，并在微电极阵列对应的地方开孔用于三维互连，从而降低三维互连的复杂性，提高互连线的集成度，降低三维互连的成本；由于聚酰亚胺的柔韧性，降低了互连线对机体组织的损伤，使与其结合的三维神经电极阵列更适合活体应用。
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公开(公告)号：CN101121500A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710045640.4
申请日：2007-09-06
Applicant: 复旦大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明属于微电极微加工技术领域，具体为一种三维神经微电极阵列的制作方法。本发明利用玻璃模具、PDMS的微复制特性和电镀技术制作三维微电极阵列，用精密切割机切割玻璃形成柱状阵列，用HF和NH4F的混合液腐蚀出相应的结构作为PDMS微复制的模具，免去了光刻工艺，消除了光刻胶对三维结构尺寸的限制，可以制作更大长度的微电极阵列，这一长度决定于玻璃的切割深度和金属的深孔电镀技术。本发明方法，工艺简单，可以大大降低成本。
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