用于体硅微机械加工的局部光刻方法

    公开(公告)号:CN1594065A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410025231.4

    申请日:2004-06-17

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明为一种用于体硅微机械加工的局部光刻方法。它利用一个隔离装置结合局部光刻工艺,实现硅背部腐蚀和正面保护。所述隔离装置由隔离圈和密闭容器和硅片托盘组成,隔离圈将腐蚀液和硅正面隔离。本发明可确保腐蚀液无渗漏,边缘掩膜完好,正面无腐蚀痕迹,大大提高了成品率。

    一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器

    公开(公告)号:CN100373157C

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200510025268.1

    申请日:2005-04-21

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属硅微机械和电化学技术领域,具体为一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器。它由工作电极、参比电极、对电极和基板构成。其中,工作电极呈圆形或类似圆形,对称排列,参比电极呈U字形,置于工作电极中间,对电极呈长条形,置于参比电极中间。基板由硅衬层与二氧化硅层复合组成。工作电极有4-8个,电极与二氧化硅层间用钛粘附层粘结。各电极可采用IC工艺中的常规成膜工艺制备。本发明的微型传感器体积小,成本低,检测可靠性高。它可以定量检测血清中的抗原浓度,并可同时检测血清的多个指标,而血清的使用量很少。

    一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器

    公开(公告)号:CN1687768A

    公开(公告)日:2005-10-26

    申请号:CN200510025268.1

    申请日:2005-04-21

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属硅微机械和电化学技术领域,具体为一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器。它由工作电极、参比电极、对电极和基板构成。其中,工作电极呈圆形或类似圆形,对称排列,参比电极呈U字形,置于工作电极中间,对电极呈长条形,置于参比电极中间。基板由硅衬层与二氧化硅层复合组成。工作电极有4-8个,电极与二氧化硅层间用钛粘附层粘结。各电极可采用IC工艺中的常规成膜工艺制备。本发明的微型传感器体积小,成本低,检测可靠性高。它可以定量检测血清中的抗原浓度,并可同时检测血清的多个指标,而血清的使用量很少。

    一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器

    公开(公告)号:CN2786625Y

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200520041035.6

    申请日:2005-04-21

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属硅微机械和电化学技术领域,具体为一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器。它由工作电极、参比电极、对电极和基板构成。其中,工作电极呈圆形或类似圆形,对称排列,参比电极呈U字形,置于工作电极中间,对电极呈长条形,置于参比电极中间。基板由硅衬层与二氧化硅层复合组成。工作电极有4-8个,电极与二氧化硅层间用钛粘附层粘结。各电极可采用IC工艺中的常规成膜工艺制备。本实用新型的微型传感器体积小,成本低,检测可靠性高。它可以定量检测血清中的抗原浓度,并可同时检测血清的多个指标,而血清的使用量很少。

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