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公开(公告)号：CN114598180A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210187638.5
申请日：2022-02-28
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种压电位移装置；其包括至少两个组合叠堆，组合叠堆分为至少两个叠堆组，其中，每个叠堆组包括至少两个组合叠堆，组合叠堆含三个运动方向；组合叠堆与预紧装置装配在动子框架上作为动子，在尺蠖式运动方式下，通过交替致动在定子基座上运动并提供高精度定位。本发明能够不依赖导轨、柔性机构等结构，在X‑Y平面内提供二维大行程致动，解决了常规压电位移装置多轴输出行程有限的问题，符合现阶段超精密运动控制的需求。本发明对精密设备市场具有显著的发展意义。
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公开(公告)号：CN119483336A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411415263.9
申请日：2024-10-11
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种宏微动行走式压电运动台及其安装方法。该宏微动行走式压电运动台包括基台和宏动运动平台。宏动运动平台与基台前后滑移连接，基台设有用于驱动宏动运动平台前后移动的行走式压电致动器。宏动运动平台设有微动台面。微动台面的左右两侧通过低刚度柔性铰链与宏动运动平台连接。微动台面的后侧设有高刚度柔性铰链和压电叠堆致动器。高刚度柔性铰链具有分别与所述微动台面和宏动运动平台连接的第一端和第二端。压电叠堆致动器的前后两端分别与微动台面和第二端抵接。本发明的安装方法通过调整螺孔对直线导轨、定位块和致动器动子的安装进行微调，从而使基台与宏动运动平台的滑移方向能够与行走式压电致动器的驱动方向一致。
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公开(公告)号：CN117728710A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311606228.0
申请日：2023-11-28
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明涉及自动控制技术领域，公开了一种基于行走式压电作动器的多自由度运动台解耦方法、解耦装置、多自由度运动台及存储介质，多自由度运动台由多个行走式压电作动器驱动，行走式压电作动器包括两组驱动足，每组驱动足包括切向压电陶瓷叠堆和垂向压电陶瓷叠堆；其方法包括：通过多自由度运动台各自由度逻辑轴上的反馈调节量和控制解耦矩阵确定多个行走式压电作动器步长反馈调节量；根据步长反馈调节量调整行走式压电作动器驱动足中的切向压电陶瓷叠堆的驱动波形，通过驱动波形对所述多自由度运动台进行多自由度耦合抑制。本发明可以抑制多自由度运动台的多自由度耦合，提高运动台在各个自由度的运动精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117674635A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311596440.3
申请日：2023-11-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种行走式压电致动三轴耦合运动台，包括：基台，基台的中轴线沿第一方向延伸；驱动组件，驱动组件设有多组，多组驱动组件绕基台的中轴线圆周布置，每组驱动组件均包括行走式压电致动器和柔性铰链单元，行走式压电致动器设有致动器定子和致动器动子，致动器动子和致动器定子活动连接，并相对于致动器定子沿第一方向移动，致动器定子与基台连接，致动器动子与柔性铰链单元连接；姿态调整平台，姿态调整平台与柔性铰链单元连接。本发明利用压电驱动并联动柔性铰链单元的方式实现姿态调整平台的大行程、大角度的姿态调整，满足在真空、无磁、低热耗的工作环境下工作设备大行程、大角度的姿态调整需求。
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公开(公告)号：CN116107175A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202310137050.3
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种紧凑式多轴精密运动台；其自下而上包括一级运动台、二级运动台和三级运动台。其中一级运动台为x轴直线运动台，二级运动台为Rx旋转运动台，三级运动台为Y、Z直线运动台和Rz旋转运动台。本发明的运动台具有结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强的特点，布置合适致动器作为驱动使得在各运动轴上具有高运动精度和高鲁棒性，同时具有低功耗、无磁低热和高可靠性。
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公开(公告)号：CN115309006A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210981688.0
申请日：2022-08-16
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20 , H02K7/20 , H02K41/035
Abstract: 本发明公开了一种混合驱动微动台，该微动台至少包含第一运动框架、第二运动框架和基座。第一运动框架包含第一动子和第一定子，第二运动框架包含第二动子和第二定子。第一动子通过多个第一柔性结构连接到第二动子上；第一定子固定在第二动子上；第二动子通过多个第二柔性结构连接到基座上；第二定子固定在基座上。第一、第二坐标轴相互垂直。在第一运动框架中，混合磁阻电机驱动第一动子沿第一坐标轴正/负方向进行高速、高加速、高精度的扫描运动；在第二运动框架中，两个音圈电机驱动第二动子沿第二坐标轴正/负方向运动。进而第一动子可以实现相对于基座的两自由度无摩擦运动。
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公开(公告)号：CN220040960U
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202320257902.8
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种紧凑式多轴精密运动台；其自下而上包括一级、二级和三级运动台，同时包括底部、中部、旋转和顶部框架。一级运动台通过X向直线驱动模块与X向陶瓷块接触摩擦实现中部框架相对底部框架在X方向的移动；二级运动台通过Rx向旋转驱动模块和旋转陶瓷块接触摩擦实现旋转框架相对中部框架在Rx方向的弧形旋转；三级运动台通过Y向直线驱动模块与Y向陶瓷块接触摩擦实现顶部框架相对旋转框架在Y方向的移动，通过Z向直线驱动模块和Z向陶瓷块接触摩擦实现Z向运动滑块在Z方向的移动；本实用新型运动台结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强，致动器作为驱动使得在各运动轴上运动精度高、功耗低、可靠性高。
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公开(公告)号：CN219697507U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202320269975.9
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种无轴承弧形压电电机；其包括尺蠖压电驱动模组和C字弧形动子；弧形动子的内弧面和内侧面交界处进行45°倒角形成内倒角面以和内倒角面尺蠖压电驱动模组接触，内倒角面尺蠖压电驱动模组沿弧线在动子内倒角面同心弧度上±25°位置布置，外侧面、外弧面尺蠖压电驱动模组在动子外侧面0°、外弧面0°位置分别布置。预紧力作用下，尺蠖压电驱动模组为动子上接触面提供沿弧面法向夹持力，各尺蠖压电驱动模组法向夹持力在非运动自由度的分力推力平衡，为动子提供非运动自由度约束。通电状态下，动子在沿弧形运动方向受到内倒角面，外侧、弧面尺蠖压电驱动模组的切向驱动力。本实用新型电机具有结构简单，驱动导向一体化的优点。
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