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公开(公告)号:CN107403847A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201710569811.7
申请日:2017-07-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/09 , H01L31/18 , H01L21/02
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/09 , H01L21/02381 , H01L21/02568 , H01L21/0259 , H01L21/0262 , H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种二维层状二硫化钼薄膜的光探测器及制备工艺,光探测器包括从上之下依次排列的电极结构、多个层状二硫化钼薄膜以及衬底;电极结构为电极、主支、分支三部分,相邻主支之间和相邻分支之间的间距为二硫化钼薄膜的平均大小,起到并联二硫化钼薄膜、增大光敏面积的作用。二硫化钼薄膜的生长采用化学气相沉积(CVD)的方法,硅片作为衬底,MoO3粉末作为钼源,硫粉作为硫源,通过控制钼源与衬底之间的间距、硫蒸气进入反应的时间和反应温度,制备得到大面积的层状二硫化钼薄膜。使用该方法制备层状二硫化钼薄膜,对设备要求低,实验过程简单方便、重复性高。
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公开(公告)号:CN105244414B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201510678656.3
申请日:2015-10-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/074
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种二硫化钼/ 硅异质结太阳能电池及其制备方法,化学气相沉积(CVD)方法可制得大面积、均匀、高结晶的二硫化钼膜,该材料具有较高的载流子迁移率且带隙可调控,制备的二硫化钼/ 硅异质结太阳电池具有常温制备、工艺简单、成本低、光电转换效率高等特点,在降低器件成本的同时,能够实现太阳能的有效转换。
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公开(公告)号:CN106531834A
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201611090552.1
申请日:2016-11-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/074 , H01L31/0352 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/074 , H01L31/035272 , H01L31/0547 , H01L31/1804
Abstract: 本发明公开了一种HIT(Heterojunction with Intrinsic Thin-layer)太阳能电池及其制备方法,该电池的组成包括N型单晶硅衬底(N-c-Si)、本征氢化非晶硅层(a-Si:H)、低氢气稀释比(RH)的P型微晶硅层、高RH的P型微晶硅层、ITO(indium tin oxide)透明导电薄膜、正面栅线电极、DBRs(Distributed Bragg reflectors)、背电极。DBRs是由三层重掺杂N型非晶硅薄膜和氮化硅薄膜构成。本发明优化了HIT太阳能电池窗口层和背反射层的结构,能够大大提升电池对近红外光的吸收,降低串联电阻,提升开路电压和短路电流,进而提升太阳能电池效率。
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公开(公告)号:CN105870253A
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201610258405.4
申请日:2016-04-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/074
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/074
Abstract: 本发明公开了一种制备二硫化钨/硅(WS2/Si)异质结太阳能电池的方法,主要工艺是:对p型单晶硅片清洗、制绒后置于PECVD系统中制备出本征非晶硅薄膜层;经WO3的硫化制备出WS2薄膜层;在其反面热蒸发金属铝背电极,正面采用电子束蒸发制备出钯薄膜构成上电极,得到异质结太阳能电池。该化学气相沉积方法可制备出面积大、分布均匀、高结晶性的纳米WS2薄膜材料,有很好的载流子迁移率和带隙可调控优点,且实验方法简单、工艺可控、易操作、成本较低、光电转换效率高,能够实现太阳能的有效转换。
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公开(公告)号:CN105161576A
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201510677976.7
申请日:2015-10-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/1864
Abstract: 本发明公开了一种基于二硫化钼的肖特基太阳电池的制备方法,利用金属钯与二硫化钼形成肖特基异质结,在石英衬底上制备薄膜太阳能电池。纳米层状二硫化钼薄膜的制备采用化学气相沉积法实现,金属钯薄膜采用磁控溅射法实现,钯薄膜作为背电极,金属钛/金叠层薄膜通过热蒸发方法在二硫化钼薄膜上沉积作为上电极。这种基于二硫化钼的肖特基异质结太阳能电池光电转换效率高,制备方法简单易行,成本低,具有广泛应用前景。
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