一种WS2/Si异质结太阳能电池制备方法

    公开(公告)号:CN105870253A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610258405.4

    申请日:2016-04-25

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521 H01L31/18 H01L31/074

    Abstract: 本发明公开了一种制备二硫化钨/硅(WS2/Si)异质结太阳能电池的方法,主要工艺是:对p型单晶硅片清洗、制绒后置于PECVD系统中制备出本征非晶硅薄膜层;经WO3的硫化制备出WS2薄膜层;在其反面热蒸发金属铝背电极,正面采用电子束蒸发制备出钯薄膜构成上电极,得到异质结太阳能电池。该化学气相沉积方法可制备出面积大、分布均匀、高结晶性的纳米WS2薄膜材料,有很好的载流子迁移率和带隙可调控优点,且实验方法简单、工艺可控、易操作、成本较低、光电转换效率高,能够实现太阳能的有效转换。

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