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公开(公告)号:CN109341946B
公开(公告)日:2021-09-14
申请号:CN201811432009.4
申请日:2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明提供一种复合型比较法真空校准系统及方法,包括:机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔;所述分子泵的抽气出口通过第一真空阀门与机械泵连接,其抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接且其通过第三真空阀门连接至机械泵;第一真空室与第三真空计连接、通过第四真空阀门连接第二真空计;所述第一开孔通过第五真空阀门、第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门后与气瓶连接;所述第八真空阀门连接至第二真空室,及第二真空室上连接第一真空计且通过第十真空阀门连接至机械泵。本发明将多种检测技术集成在一台设备上,能够节约设备成本,扩大校准范围。
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公开(公告)号:CN105510736A
公开(公告)日:2016-04-20
申请号:CN201510845838.5
申请日:2015-11-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01R31/00
CPC classification number: G01R31/00
Abstract: 一种星载设备的测试系统及方法,包括:星载设备(1)、开关矩阵(2)、及测量端(3),其特征在于:开关矩阵(2)为由N路输入和M路输出组成全接点开关矩阵,具有N个输入端和M个输出端,星载设备(1)上设有与开关矩阵的每一路输入端连接的多个端口,在开关矩阵(2)的每一个回路上有两个继电器开关G、F,继电器G控制输入通路的接通和断开,继电器F控制输出通路的接通和断开,开关矩阵的M个输出分别连接一路共地信号端及M-1路输出端接示波器测量信号,且该M-1路输出的后面接第二级开关,对进行测量的类型进行,这样M-1个通路可以同时并行进行信号检测工作。
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公开(公告)号:CN117419996B
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202311355171.1
申请日:2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法,所述装置包括:微量气体取样管路,包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计;其他气体取样管路,包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计;混合气体管路,包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计;第一真空室与第四阀门连接,第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便,可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号:CN118129979A
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202410457443.7
申请日:2024-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于差分法的真空计校准装置及校准方法,校准装置包括校准室、第一流导元件、第一真空计、被校准真空计、差分管道、差分组件和供气检测组件,差分管道的三个端口分别用于与校准室、抽气管道和供气管道连接,差分组件设置在抽气管道上,包括第二真空计和第二流导元件,供气检测组件设置在供气管道上,包括供气检测真空计和第三流导元件。本发明,通过设置在校准室抽进气口上的差分组件,实现对进气流量的有效差分,将校准下限延伸到10‑7Pa,简化了校准装置的结构和操作方法,减小了装置的体积和重量。
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公开(公告)号:CN117419996A
公开(公告)日:2024-01-19
申请号:CN202311355171.1
申请日:2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法,所述装置包括:微量气体取样管路,包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计;其他气体取样管路,包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计;混合气体管路,包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计;第一真空室与第四阀门连接,第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便,可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号:CN111473833A
公开(公告)日:2020-07-31
申请号:CN202010300278.6
申请日:2020-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F17/00
Abstract: 本发明公开了一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法,属于真空腔体容积测试领域;利用内置标准体积、两次气体静态膨胀对非标真空腔体容积进行精确测量的方法:将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室,以测定两个真空腔室的体积比,在气体膨胀室置入标准体积的条件下,将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室,以测定被测真空腔室的准确体积;提出操作便捷的真空测量系统,其中气体膨胀室、阀门、标准体积经特殊高真空处理,具有较小的材料放气率,使气体静态膨胀过程中装置本底放气极小,保证测量的精确性。本发明的系统和方法能够快速、便捷地对各型真空腔体的容积进行精确测量。
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公开(公告)号:CN109519407A
公开(公告)日:2019-03-26
申请号:CN201811490232.4
申请日:2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明提供一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法,该装置包括:前级泵、分子泵、测试罩、第一~第五真空规、第一~第四阀门、流量计和气源,其中前级泵与第四阀门连接,第四阀门分别于前级泵、第三阀门、第四和第五真空规及分子泵连接;第四和第五真空规连接在分子泵和第四阀门之间的管路处;分子泵的出气口与第四阀门连接,抽气口与测试罩连接,测试罩的测试口与分子泵抽气口连接。利用本发明的测试装置,解决了传统测量范围较小的问题,延伸了压力测量范围并且提高了测量精度。
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公开(公告)号:CN109404322A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201811490227.3
申请日:2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种宽量程高精度分子泵抽速测试系统及方法。该测试系统包括干泵RP、分子泵TMP、测试罩VC1、第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3、第一真空阀门V1、第二真空阀门V2、流量计FM、气源和真空管道等。通过本发明的技术方案,测试系统的真空度测量范围达到10-1~10-7帕,测量不确定度小于10%。
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公开(公告)号:CN202694136U
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201220203735.0
申请日:2012-05-08
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本实用新型提供的一种多通道热控系统测试设备,包括多通道阻值测量模块、多通道热敏电阻模拟模块、多通道加热回路电压测量模块和多通道加热回路电流测量模块四个测量模块,各模块在控制计算机的统一控制下协调工作,满足对多通道热控系统各节点电流、电压、电阻等电性能参数的测试要求,并行测量通道多达上百条,测试效率大大提高,并且检测精度高,可靠性好。
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