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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116046245A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310017768.9
申请日：2023-01-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设置有样品夹具；标准体积室，与所述取样腔通过管路连接；穿刺机构，设置于所述取样腔上；真空计，与所述取样腔通过管路连接；分子泵组，与所述取样腔通过管路连接；充气装置，与所述取样腔通过管路连接。本发明可有效提高测量密封真空电子器件内部压力的精确度。
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公开(公告)号：CN112304804A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN109459192A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811484865.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明涉及一种基于比较法校准正压漏孔的分子流进样系统及控制方法，提出基于动态分子流进样方法和累积分子流进样方法相结合的示漏气体进样系统和方法，在漏孔泄漏的气体累积一段时间后，在一套比较法正压漏孔校准系统上、实现了动态比较和累积比较两种质谱分析方法的分子流进样，突破了比较法校准正压漏孔质谱分析进样的关键技术，并且解决了累积法条件下、正压漏孔校准过程中混合气体分子流进样和微量He气累积测量的技术难题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118603438A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410682221.5
申请日：2024-05-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置，微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置包括配置有第一测试室的氦气配气管路和配置有第二测试室的氢气配气管路，氢气配气管路和氦气配气管路并联后通过第七阀门依次连接有第三测试室、第十五阀门、高真空泵、第十六阀门和前级泵，前级泵通过第十三阀门连接至氢气配气管路和氦气配气管路的并联节点；第三测试室通过第十二阀门与吸气剂泵连接、通过第十一阀门与流导元件连接、通过第八阀门与第三真空计连接、通过第九阀门与第四真空计连接、通过第十阀门与第四测试室连接；第三测试室还通过第十四阀门与前级泵连接。本发明，能够获取极微小的氦气气体流量Qs。
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公开(公告)号：CN117948426A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410144825.4
申请日：2024-02-01
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种超高压容器的密封装置，包括撬装平台(1)；设置于所述撬装平台(1)上的下支撑架(2)和超高压容器(3)；活动设置于所述下支撑架(2)上的上支撑架(4)；活动设置于所述上支撑架(4)上的拆装机构，所述拆装机构包括连杆(7)和开合环(8)，所述连杆(7)被配置为受控运动带动所述开合环(8)相对于所述超高压容器(3)运动，以通过所述开合环(8)将密封体(9)安装或拆卸于所述超高压容器(3)。本发明的超高压容器的密封装置，通过拆装机构实现对超高压容器(3)的密封，可实现高压、超高压釜试验在安全性、操作便捷性、可靠性上的有效提高。
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公开(公告)号：CN115791353A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211495203.3
申请日：2022-11-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N1/38
Abstract: 本发明涉及一种标准样品动态模拟器，包括：进气口(1)、与所述进气口(1)连接的充气腔(2)、送样腔(4)、与所述送样腔(4)连接的送样出口(5)、真空线性运动机构(9)和标准体积(6)，标样气体均匀地从所述进气口(1)进入所述充气腔(2)并填充所述标准体积(6)，完成标样气体的取样；所述真空线性运动机构(9)驱动所述标准体积(6)向下运动，将所述标准体积(6)中的标样气体排入所述送样腔(4)，经所述送样出口(5)完成标样气体的送样。本发明将标准体积里的标样气体动态引入分析腔管路，确保标准体积内标样气体和上游气源参数的一致性和可知性，能正确进行量值溯源。
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公开(公告)号：CN110865002A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201911123671.6
申请日：2019-11-17
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明公开了一种高精度材料放气率测试系统及其测试方法，属于高精度材料放气率测试领域，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门，第八真空阀门，第九真空阀门，本发明采用包含对称结构材料放气测试装置和温控单元的系统，采用两个结构和尺寸均相同的测量室，对称结构的材料放气测试系统实现了样品和测试系统本底放气的同时测量，不仅提高了测量精度，而且将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN109323817A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201811090584.0
申请日：2018-09-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明是一种下限为10-16 Pam3/s的超灵敏度检漏装置及方法。该检漏装置包括干泵(RP1)、分子泵(TMP1)、吸气剂泵(NEG1)、真空规(G1)、四级质谱计(QMS)、第一至第五真空阀门、检测室(VC1)、固定流导法流量计(FM)、气源、真空管道。本发明基于累积比较的方法，采用固定流导法流量计提供下限为1.3×10-16 Pam3/s的标准气体流量，从而将检漏装置的检漏下限延伸至10-16Pam3/s。
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