一种弧形电极等离子体增强化学气相沉积装置

    公开(公告)号:CN108315722A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201711416199.6

    申请日:2017-12-25

    CPC classification number: C23C16/545 C23C16/513

    Abstract: 本发明提供一种弧形电极等离子体化学气相沉积装置,能够避免板间电缆与电极的相对滑动,消除了划痕缺陷。该装置的放卷室、镀膜室、收卷室三个腔室相连,形成真空腔体,真空泵与所述真空腔体相连,形成抽气系统;卷绕机构与纠偏机构相连,圆形电极和弧形电极安装在镀膜室内,基底材料紧贴圆形电极表面并与圆形电极同步转动;送气单元、射频功率源与弧形电极相连,送气单元将工作气体送入圆形电极与弧形电极之间,在射频功率源的作用下,在圆形电极和弧形电极之间产生等离子体,基膜紧贴在圆形电极上,通过卷绕机构和纠偏机构控制基膜的运动,在基膜上沉积涂层。

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