一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法

    公开(公告)号:CN105132886B

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201510576553.6

    申请日:2015-09-11

    Abstract: 本发明公开了一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法,(1)将管状基底放置于反应室内,将侧壁上均匀分布有若干通孔的进气管置于所述管状基底内;(2)对管状基底进行加热;(3)通过所述进气管向反应室内通入反应前驱体进行镀膜。本发明一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法,能够显著改善管状基底内表面沉积薄膜的均匀性。

    一种滚珠表面镀膜的装置

    公开(公告)号:CN104561920A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410834542.9

    申请日:2014-12-26

    CPC classification number: C23C14/505

    Abstract: 本发明公开了一种滚珠表面镀膜的装置。本发明采用将上转盘通过限位孔与固定架固定,而下转盘与旋转轴相连的方式,即下转盘转动,上转盘固定不动,使得滚珠的各表面与旋转轴的旋转中心的距离不一样,进而导致滚珠的自转,使得直线传播的膜料均匀沉积在滚珠表面,使得滚珠表面的膜层更加均匀。

    一种高可靠沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源

    公开(公告)号:CN111146967B

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN201911353705.0

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 本发明公开了一种沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源,并设计了触发式脉冲引弧电源包括整流电路、电容充放电电路和触发控制电路三部分;当电弧主电源的输出电压高于空载输出电压的75%,或输出电流低于30A时,触发控制电路判定阴极电弧源处于熄弧状态,并触发脉冲信号,整流电路同步将交流电220V转换成直流电360V,并开始对电容充电,当充电电压达到360V,光晶闸管VS1自行关断,光晶闸管VS1可靠关断2ms后,触发控制电路给光晶闸管VS2发出一个导通触发脉冲信号,电容的电压通过光晶闸管VS2施加到阴极电弧源的陶瓷触发极上,为陶瓷表面的沿面击穿提供脉冲放电电压。

    一种沿面击穿触发式引弧结构

    公开(公告)号:CN112795874B

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202011468247.8

    申请日:2020-12-14

    Abstract: 本发明公开一种沿面击穿触发式引弧结构,包括阴极靶、屏蔽盘、触发极陶瓷、导电片、引弧电极触头、内法兰套、外法兰套、密封圈、接线柱及触发式脉冲电源;阴极靶旁边的真空腔室壁上开一个法兰口,接线柱穿过内外法兰套和密封圈,形成端面压紧密封结构,接线柱细端连接引弧电极触头,接线柱粗端和屏蔽盘固定端通过一个导电片搭桥连接,触发极陶瓷表面涂覆石墨涂层,三个触发极陶瓷均布通过定位销安装在屏蔽盘上,触发极陶瓷一端台阶面要搭载在阴极靶外沿上有效接触,触发式脉冲电源的正极与引弧电极触头连接,负极与阴极电杆连接;本发明引弧结构简单,便于实现和产品小型化,经济成本低,同时提高触发放电的可靠性和引弧稳定性。

    一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法

    公开(公告)号:CN105132886A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510576553.6

    申请日:2015-09-11

    Abstract: 本发明公开了一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法,(1)将管状基底放置于反应室内,将侧壁上均匀分布有若干通孔的进气管置于所述管状基底内;(2)对管状基底进行加热;(3)通过所述进气管向反应室内通入反应前驱体进行镀膜。本发明一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法,能够显著改善管状基底内表面沉积薄膜的均匀性。

    一种高可靠沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源

    公开(公告)号:CN111146967A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201911353705.0

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 本发明公开了一种沿面击穿放电触发式脉冲引弧电源,并设计了触发式脉冲引弧电源包括整流电路、电容充放电电路和触发控制电路三部分;当电弧主电源的输出电压高于空载输出电压的75%,或输出电流低于30A时,触发控制电路判定阴极电弧源处于熄弧状态,并触发脉冲信号,整流电路同步将交流电220V转换成直流电360V,并开始对电容充电,当充电电压达到360V,光晶闸管VS1自行关断,光晶闸管VS1可靠关断2ms后,触发控制电路给光晶闸管VS2发出一个导通触发脉冲信号,电容的电压通过光晶闸管VS2施加到阴极电弧源的陶瓷触发极上,为陶瓷表面的沿面击穿提供脉冲放电电压。

    一种热电防护一体化薄膜结构

    公开(公告)号:CN109786951A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201811577559.5

    申请日:2018-12-20

    Abstract: 本发明属于卫星天线技术领域,涉及一种热电防护一体化薄膜结构。所述薄膜由依次位于天线基底上的过渡层、导电层、热控层和防护层组成,过渡层的材料为Cr或Ti;导电层的材料为Au、Ag、Cu或Al;热控层的材料为氧化硅或氧化铝;防护层的材料为Ge。本发明所述薄膜实现了热电防护一体化,有效的增强天线微波传输能力,并实现一定范围的温度控制,实现对空间环境和静电的防护。

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