一种弧形电极等离子体增强化学气相沉积装置

    公开(公告)号:CN108315722A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201711416199.6

    申请日:2017-12-25

    CPC classification number: C23C16/545 C23C16/513

    Abstract: 本发明提供一种弧形电极等离子体化学气相沉积装置,能够避免板间电缆与电极的相对滑动,消除了划痕缺陷。该装置的放卷室、镀膜室、收卷室三个腔室相连,形成真空腔体,真空泵与所述真空腔体相连,形成抽气系统;卷绕机构与纠偏机构相连,圆形电极和弧形电极安装在镀膜室内,基底材料紧贴圆形电极表面并与圆形电极同步转动;送气单元、射频功率源与弧形电极相连,送气单元将工作气体送入圆形电极与弧形电极之间,在射频功率源的作用下,在圆形电极和弧形电极之间产生等离子体,基膜紧贴在圆形电极上,通过卷绕机构和纠偏机构控制基膜的运动,在基膜上沉积涂层。

    一种高致密复合型原子氧防护薄膜

    公开(公告)号:CN115537728B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202211234011.7

    申请日:2022-10-10

    Abstract: 本发明公开了一种高致密复合型原子氧防护薄膜。首先在有机物基底表面设计一层厚度为1~100nm的致密无微观缺陷的SiOx薄膜,作为硅氧烷涂层生长的“种子层”;随后在SiOx种子层上设计厚度为200~600nm的硅氧烷涂层。最后在硅氧烷表面上设计一层厚度为5~200nm的SiOx薄膜,作为帽子层。本发明的优点在于:SiOx种子层可以有效降低硅氧烷涂层中的微观缺陷,防止形成原子氧剥蚀通道。SiOx帽子层可以有效遮盖硅氧烷表面孔洞、裂纹等缺陷,同时增强原子氧防护性能。为低轨道、超低轨道卫星长期在轨运行提供原子氧防护方法,保证长寿命、低轨道卫星在轨性能和使用寿命。

    一种空间原子氧密度在轨连续检测系统

    公开(公告)号:CN117110132A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310953188.0

    申请日:2023-07-31

    Abstract: 本发明提供一种空间原子氧密度在轨连续检测系统,涉及空间环境探测技术领域。该空间原子氧密度在轨连续检测系统包括微型原子氧密度传感器、原子氧监测电路、控温及测温电路和紫外光源,微型原子氧密度传感器包括基底、支撑层、下绝缘层、上绝缘层、加热及测温电阻薄膜、加热及测温引线窗口、传感电极和纳米氧化锌薄膜。本发明利用纳米结构增强ZnO半导体薄膜原子氧传感灵敏度、高集成度微型传感MEMS器件设计降低系统尺寸及功耗等有益方案的结合,可实现空间原子氧密度的在轨连续监测,具有高灵敏度、高寿命、快速响应、小尺寸、低功耗等优点。该空间原子氧密度在轨连续检测系统可用于地面模拟设备原子氧密度和空间环境中的原子氧密度探测。

    一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN115536440B

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202211199886.8

    申请日:2022-09-29

    Abstract: 本发明公开了一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法,通过设计涂层制备方法,使SiC/C复合材料喷管高温抗氧化涂层耐受1800℃的工作温度和剧烈热震。采用如下步骤:将SiC/C复合材料喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描,在内壁表面形成微纳复合的微结构,利用微纳结构实现与后期制备的防护用高温抗氧化涂层之间形成镶嵌结构。采用等离子体增强CVD技术,完成碳化硅和硼化铪组成的过渡层生长。采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属铱膜层制备。采用等离子体增强CVD技术,完成碳化硅和硼化铪组成的过渡层生长。重复10‑50次,完成周期性叠层结构的生长。采用等离子体增强CVD技术,完成碳化硅和硼化铪组成的耐烧蚀层生长。

    一种组分梯度分布的防原子氧薄膜

    公开(公告)号:CN116948445B

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202310917000.7

    申请日:2023-07-25

    Abstract: 本发明提供一种组分梯度分布的防原子氧薄膜,涉及航天器空间环境效应防护领域。该防原子氧薄膜的化学组分为SiOxCyHz,其中,薄膜表面的化学组分为SiO2,在由薄膜表面向其内部延伸的方向上,x从2减小到0.5,y从0增大到2,z从0增大到8。制备方法:通过等离子体增强化学气相沉积技术在基底上制备有机硅氧烷薄膜;采用紫外光辐照所述有机硅氧烷薄膜,使得该薄膜化学组分呈梯度分布,获得组分梯度分布的防原子氧薄膜。该防原子氧薄膜具有一定柔韧性,与基底材料结合力强,可应用于低地球轨道中飞行的航天器表面,并且该薄膜的防原子氧性能优异,生产效率高且光学透明度高,能够满足航天领域对超高原子氧累积通量的防护要求。

    一种微型原子氧密度传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN117110131A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310947749.6

    申请日:2023-07-31

    Abstract: 本发明提供一种微型原子氧密度传感器的制造方法,涉及空间环境探测技术领域。该方法包括:准备基底;在基底表面制备下绝缘层;在下绝缘层表面制备加热及测温电阻薄膜;在加热及测温电阻薄膜表面制备上绝缘层,使其包覆于上绝缘层和下绝缘层中;在上绝缘层中制备加热及测温引线窗口以将加热及测温电阻薄膜的引出端引出;在上绝缘层的表面制备传感电极;在传感电极的表面制备纳米氧化锌薄膜,并与传感电极之间形成电连接;处理基底的背面以在下绝缘层下方形成悬空支撑结构。本发明利用纳米结构增强ZnO半导体薄膜原子氧传感灵敏度、高集成度微型传感MEMS器件设计降低系统尺寸及功耗等有益方案的结合,可实现空间原子氧密度的在轨连续监测。

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