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公开(公告)号：CN118112054A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410192562.4
申请日：2024-02-21
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本申请涉及材料电学性能测试技术领域，具体而言，涉及一种高通量真空气氛环境高温电学测试系统，包括高温真空气氛炉、电学测试平台、性能采集模块、气体源以及真空泵组，其中：高温真空气氛炉包括电阻丝发热体、炉管以及固定底座，炉管管体的两端分别设置有第一真空法兰和第二真空法兰；薄膜材料样品固定设置在电学测试平台上；气体源通过气体管道与第一真空法兰上的进气口连接；性能采集模块通过高温导线与炉管内部的电学测试平台连接；真空泵组通过气体管道与第二真空法兰上的出气口连接。本申请将电学测试平台集成至高温真空气氛炉中，通过对高温真空气氛炉的改造，可实现室温至1200℃温度区间、高真空或可控气氛环境下薄膜材料的电学测量。
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公开(公告)号：CN117604489A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311531865.6
申请日：2023-11-16
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: C23C16/40 , C23C16/18 , C23C16/02 , C23C16/455
Abstract: 本发明提供一种低频率漂移率铷原子钟的复合薄膜结构，沉积在铷原子钟内壁上，依次包括氧化物层、过渡层和贵金属点阵。氧化物层的材料为Al2O3，厚度为20～30nm；过渡层的材料Ti，厚度为10～20nm；贵金属点阵的材料为Ir，厚度为5～15nm。本发明通过热法原子层沉积和等离子体辅助增强原子层沉积制备，可以形成化学反应和物理扩散阻挡层，稳定吸收泡中工作介质的状态，有效降低铷原子钟中铷原子的纵向扩散过程和横向移动过程，从而有效降低铷原子的频率漂移率降低输出频率随时间变化过程，降低铷原子钟的频率漂移率。
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公开(公告)号：CN117206665A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310928143.8
申请日：2023-07-26
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: B23K26/00 , B23K26/073 , B23K26/70
Abstract: 本申请涉及一种利用飞秒激光加工光子筛的方法、装置、存储介质及终端。其中，所述方法包括：获取光子筛的设计结果；根据所述设计结果，设定所述光子筛的加工编号信息；根据所述设计结果、所述加工编号信息和激光损伤阈值，加工所述光子筛。本申请在加工光子筛时，无需掩模和光刻胶，工艺过程简单；可加工大尺寸光子筛。
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公开(公告)号：CN112746265A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011608058.6
申请日：2020-12-29
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: C23C16/455 , C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/04
Abstract: 本发明公开了一种在喷管内表面制备涂层的方法。本发明将需制备涂层的喷管置于反应室内，将气相前驱体以脉冲形式交替通入反应器，第一种前躯体到达喷管内，以化学吸附在喷管内表面形成一个单吸附层；再通入第二种前驱体，与第一种前驱体反应，在喷管内表面生成一个单原子层的涂层。在每个前驱体脉冲之间需要用惰性气体对反应器进行清洗，再重复吸附和反应过程，逐层生成涂层。本方法通过气体吸附和反应相结合的方式，实现在喷管内表面制备涂层，解决目前无法采用真空镀膜方法在喷管内表面制备涂层的难题，可在不同的材料表面制备金属、氧化物等各类涂层材料，满足不同需求。
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公开(公告)号：CN111045118A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911368772.X
申请日：2019-12-26
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种耐湿热的红外高反射光子晶体薄膜及其制备方法，属于表面工程技术领域。所述薄膜由基底、过渡层和光子晶体层三部分构成，由下至上依次为基底、过渡层、光子晶体层，层与层之间相互接触。所述制备方法包括：基底清洗，抽真空及基底加热，离子束清洗，过渡层镀膜及离子束轰击，光子晶体膜层的沉积，取出样品。本发明所述薄膜红外反射率高，并且薄膜结构简单，能够实现3～5um红外高反射，同时能够耐受湿度≥95％、温度50±2℃的湿热环境考核，满足武器装备的使用要求；且制备方法简单。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108287377A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201711405840.6
申请日：2017-12-22
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G02B1/00
Abstract: 本发明涉及一种红外防护和防激光探测兼容的光子晶体复合薄膜，属于表面工程技术领域。本发明所述光子晶体薄膜是采用两种不同中心波长的光子晶体膜堆串联的结构设计，实现在同一个复合薄膜结构中既对红外热源的反射率大于95％又对激光探测光束的反射率小于5％，从而满足武器装备对红外防护和防激光探测的兼容性需求，而且所述光子晶体复合薄膜的使用寿命长，可靠性高，适应广泛，大大提高了武器装备的战场生存能力。
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公开(公告)号：CN105132886A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510576553.6
申请日：2015-09-11
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明公开了一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法，（1）将管状基底放置于反应室内，将侧壁上均匀分布有若干通孔的进气管置于所述管状基底内；（2）对管状基底进行加热；（3）通过所述进气管向反应室内通入反应前驱体进行镀膜。本发明一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法，能够显著改善管状基底内表面沉积薄膜的均匀性。
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公开(公告)号：CN115537812B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202211197995.6
申请日：2022-09-29
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: C23C28/04
Abstract: 本发明公开了一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层，涉及卫星复合材料喷管热防护技术领域，解决了现有热防护涂层无法耐受1800℃以上服役环境的问题。该涂层包括SiC/C基体、过渡层、周期性叠层和耐高温烧蚀层。SiC/C基体表面设置过渡层；过渡层材料为碳化硅和硼化铱多元组合涂层。在过渡层的表面设置周期性叠层。周期性叠层中每四层结构为一个周期，四层结构由下至上顺次为：第一层是1微米‑10微米的碳化硅，第二次是1微米‑10微米的硼化铱、第三次是1微米‑10微米的金属铱，第四层是1微米‑10微米的硼化铱与碳化硅的复合层。周期性叠层表面设置耐高温烧蚀层。耐高温烧蚀层由有碳化硅、硼化铪和硼化铱组成。
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公开(公告)号：CN115536440A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211199886.8
申请日：2022-09-29
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: C04B41/90
Abstract: 本发明公开了一种复合材料热防护用高温抗氧化涂层的制备方法，通过设计涂层制备方法，使SiC/C复合材料喷管高温抗氧化涂层耐受1800℃的工作温度和剧烈热震。采用如下步骤：将SiC/C复合材料喷管内壁表面用飞秒激光采用一定的能量密度和脉冲频率进行扫描，在内壁表面形成微纳复合的微结构，利用微纳结构实现与后期制备的防护用高温抗氧化涂层之间形成镶嵌结构。采用等离子体增强CVD技术，完成碳化硅和硼化铪组成的过渡层生长。采用Ir(acac)3、还原气体H2、Ar进行金属铱膜层制备。采用等离子体增强CVD技术，完成碳化硅和硼化铪组成的过渡层生长。重复10‑50次，完成周期性叠层结构的生长。采用等离子体增强CVD技术，完成碳化硅和硼化铪组成的耐烧蚀层生长。
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公开(公告)号：CN108287377B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201711405840.6
申请日：2017-12-22
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: G02B1/00
Abstract: 本发明涉及一种红外防护和防激光探测兼容的光子晶体复合薄膜，属于表面工程技术领域。本发明所述光子晶体薄膜是采用两种不同中心波长的光子晶体膜堆串联的结构设计，实现在同一个复合薄膜结构中既对红外热源的反射率大于95％又对激光探测光束的反射率小于5％，从而满足武器装备对红外防护和防激光探测的兼容性需求，而且所述光子晶体复合薄膜的使用寿命长，可靠性高，适应广泛，大大提高了武器装备的战场生存能力。
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