一种基于非金属矿物电极衬底表面原位生长纳米In2O3的室温NO2传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN110261445B

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN201910627455.9

    申请日:2019-07-12

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于非金属矿物电极衬底表面原位生长纳米In2O3的室温NO2传感器及制备方法,属于金属氧化物半导体材料的气体传感器领域。本发明以非金属矿物多孔陶瓷电极为衬底,采用直流溅射法在衬底表面溅射叉指电极,并采用水热法在其表面原位生长In2O3纳米材料,所述的In2O3纳米材料呈棒状结构,并均匀密集地分布在衬底表面,其直径为120~200nm,长度为0.5~1μm,该棒状结构是由纳米颗粒相互堆积组成的,所述的纳米颗粒为In2O3立方相晶体结构,其直径为10~30nm。该气体传感器可以在室温工作条件下,并在UV光辅助恢复下,对0.1~1ppm NO2具有快速的响应和恢复速度,且具有优异的选择性和长期稳定性,有良好的应用前景。

    一种贵金属原位共掺杂CuO基NO2气敏材料的制备及其应用

    公开(公告)号:CN109632894A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201910027216.X

    申请日:2019-01-11

    Applicant: 东北大学

    CPC classification number: G01N27/127

    Abstract: 本发明一种贵金属原位共掺杂CuO基NO2气敏材料的制备及其应用,涉及CuO基纳米材料制备领域。贵金属原位共掺杂CuO纳米材料制备方法包括以下步骤:向去离子水中分别加入1.3mmol的CuSO45H2O和0.8~1mmol的柠檬酸三钠,搅拌后加入5~5.3mmol的NaOH,得溶液A;将375~1875μL浓度为0.017mol/L的氯金酸溶液和650~3250μL浓度为0.01mol/L的氯化钯溶液混合,得溶液B;将溶液B加入溶液A中,160℃条件下水热反应12h得到反应产物;冷却洗涤干燥热处理。上述方法制得的材料可制备气敏性能优越、适用于低工作温度检测的NO2气体传感器。

    一种基于钙钛矿结构ZnSnO3纳米球的异丙醇气敏元件及其制备方法

    公开(公告)号:CN110412086B

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN201910712687.4

    申请日:2019-08-02

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于钙钛矿结构ZnSnO3纳米球的异丙醇气敏元件及其制备方法,属于半导体金属氧化物气敏元件技术领域。所述气敏元件主要由电极元件和均匀涂覆在电极元件上的ZnSnO3纳米球组成,所述ZnSnO3纳米球直径为500±50nm,所述ZnSnO3纳米球为钙钛矿结构,所述气敏元件的异丙醇浓度检测范围为500ppb~500ppm。本发明操作流程简单、反应条件温和、易于控制、可批量生产。基于钙钛矿结构ZnSnO3纳米球的ppb级异丙醇气敏元件具有ppb级检测、响应恢复迅速、可逆性好、高选择性,在200℃工作温度条件下时获得对异丙醇气体的最大灵敏度,是具有良好发展前景的异丙醇气敏元件。

    一种基于非金属矿物电极衬底表面原位生长纳米In2O3的室温NO2传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN110261445A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910627455.9

    申请日:2019-07-12

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于非金属矿物电极衬底表面原位生长纳米In2O3的室温NO2传感器及制备方法,属于金属氧化物半导体材料的气体传感器领域。本发明以非金属矿物多孔陶瓷电极为衬底,采用直流溅射法在衬底表面溅射叉指电极,并采用水热法在其表面原位生长In2O3纳米材料,所述的In2O3纳米材料呈棒状结构,并均匀密集地分布在衬底表面,其直径为120~200nm,长度为0.5~1μm,该棒状结构是由纳米颗粒相互堆积组成的,所述的纳米颗粒为In2O3立方相晶体结构,其直径为10~30nm。该气体传感器可以在室温工作条件下,并在UV光辅助恢复下,对0.1~1ppm NO2具有快速的响应和恢复速度,且具有优异的选择性和长期稳定性,有良好的应用前景。

    一种基于rGO-SnO2纳米复合材料的NO2气敏元件及其制备方法

    公开(公告)号:CN110243881A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910640005.3

    申请日:2019-07-16

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于rGO-SnO2纳米复合材料的NO2气敏元件及其制备方法,属于石墨烯-金属氧化物复合材料气敏元件技术领域。所述气敏元件主要由电极元件和均匀涂覆在电极元件上的rGO-SnO2纳米复合材料组成,所述rGO-SnO2纳米复合材料的微观形貌为在还原氧化石墨烯片层上均匀生长着SnO2纳米球,所述SnO2纳米球直径为40~70nm,为四方锡石相结构。本发明采用一步水热法制备出比表面积大、电阻率低、分散性良好的rGO-SnO2纳米复合材料,然后将rGO-SnO2纳米复合材料作为气敏涂层制备出NO2气敏元件。该气敏元件有效地解决了传统NO2气敏元件工作温度较高及石墨烯类气敏元件灵敏度较低、恢复时间较长等问题,具有较好的应用价值和发展前景。

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