一种基于光电复合的振动陀螺精密装调设备

    公开(公告)号:CN114193145A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202111394731.5

    申请日:2021-11-23

    Abstract: 本发明提供一种基于光电复合的振动陀螺精密装调设备,包括:相对设置的两个多自由度高精度位移台,分别用于安装石英基座和半球谐振子;激光检测装置,用于检测所述石英基座和半球谐振子的轮廓特征;电容检测装置,用于检测所述石英基座和半球谐振子之间N个电极对的电容值;工控机,与所述激光检测装置和电容检测装置以及多自由度高精度位移台通信连接;在粗调阶段,所述工控机根据所述石英基座和半球谐振子的轮廓特征调整所述多自由度高精度位移台;在微调阶段,所述工控机根据各电极对的电容值调整所述多自由度高精度位移台。本发明基于激光和电容检测,解决了两套件结构的石英半球谐振陀螺亚微米级精密装配问题。

    一种基于叉指电极的谐振子动力学参数检测装置

    公开(公告)号:CN113566844A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110625557.4

    申请日:2021-06-04

    Abstract: 本发明公开了一种基于叉指电极的谐振子动力学参数检测装置,该检测装置包括:基准平台,其中,垂直于所述基准平台的方向为第一方向;电极基座,安装在所述基准平台上,该电极基板具有孔;叉指电极,覆盖于所述电极基座上;电路板,覆盖于所述电极基座上;引线,用于连接所述叉指电极和所述电路板;位移及转动装置,其可在所述第一方向上伸缩和转动以及在所述基准平台上平移。本发明提出一种基于叉指电极的熔融石英谐振子动力学参数检测装置,利用叉指电极实现对镀膜前熔融石英谐振子的驱动和振动检测,进而测量出谐振子的动力学参数。

    降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件

    公开(公告)号:CN111039255A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911242893.X

    申请日:2019-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件,所述的MEMS惯性器件包含:封装管壳、位于封装管壳内的芯片;所述的方法包含以下步骤:步骤1,将直径一致的硅珠的粉体与贴片胶混合并搅拌均匀,得到混合物;步骤2,利用点胶器将所述的混合物喷涂于所述的封装管壳的底板上,以形成贴片胶层;步骤3,将所述芯片的底面贴在所述的贴片胶层上;步骤4,使所述的贴片胶层固化。本发明通过在贴片胶内添加直径一致的硅珠,并对贴片胶层各个参数量化控制,有效的降低封装应力,提高了工艺过程的稳定性。

    一种星载微波雷达驱动机构自动化测试方法及测试设备

    公开(公告)号:CN115792616A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211655299.5

    申请日:2022-12-21

    Abstract: 本发明公开了一种星载微波雷达驱动机构自动化测试方法及测试设备,该测试设备包含:上位机、FPGA测试板卡、雷达机构控制器、自适应配重装置、微波吸收暗箱、星载微波雷达组件(包括星载微波雷达和雷达驱动机构)。FPGA测试板卡具备指令序列发送功能,自动实现雷达各个模式的功能、性能测试。自适应配重装置可实现微波雷达驱动机构的完全失重模拟,上位机可绘制微波雷达的位置、速度、相电流、反作用力矩曲线,以清晰直观地监测当前测试情况。微波吸收暗箱可以进行折叠、体积小、便于随时随地进行验收测试。本发明的测试方法及测试设备可用于地面模拟失重环境下实现自动化测试星载微波雷达驱动机构的运动情况、功能和性能。

    一种大气下轴对称谐振子密度1至4次谐波辨识装置及方法

    公开(公告)号:CN111912398B

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202010679894.7

    申请日:2020-07-15

    Abstract: 本发明公开了一种大气下轴对称谐振子密度1至4次谐波辨识装置及方法,该辨识装置包含:激励模块、夹持模块、测振模块,其中,激励模块用于进行多轴激振,包括功率放大器、至少两个激振器,该功率放大器用于为激振器输入振动信号;夹持模块用于固定谐振子,包括夹持部分和旋转部分,该旋转部分能旋转谐振子至0‑360°的连续角度。本发明的谐波辨识方法通过竖直激振获得不同角度的幅频曲线、通过水平不同方位激振获得不同角度的幅频曲线,获得1至4次谐波密度的方位和幅值。本发明提供的一种大气下轴对称谐振子密度1至4次谐波辨识装置无需精密装配,可适用于大气环境,无需真空环境,有利于实现批量化的谐振子调平,且辨识方法操作简便。

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