基于虚拟转动的力平衡模式振动陀螺零位自标定方法

    公开(公告)号:CN114370887B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202111394717.5

    申请日:2021-11-23

    Abstract: 本发明提供一种基于虚拟转动的力平衡模式振动陀螺零位自标定方法,在力平衡模式下进行如下步骤:步骤S1,在第一时间内,向振动陀螺施加一虚拟进动电压V,并获取所述振动陀螺的力平衡回路的控制电压,记为VFTR1;步骤S2,在第二时间内,向所述振动陀螺施加一反向的虚拟进动电压‑V,并获取所述振动陀螺的力平衡回路的控制电压,记为VFTR2;步骤S3,根据VFTR1和VFTR2,对所述振动陀螺进行零位标定。本发明利用控制回路施加虚拟进动,实现了陀螺仪在不同使用环境以及时间下的零位自标定。

    通过过渡层结构降低封装应力的MEMS惯性器件

    公开(公告)号:CN111115551B

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN201911241743.7

    申请日:2019-12-06

    Abstract: 本发明公开了一种通过过渡层结构降低封装应力的MEMS惯性器件,所述的MEMS惯性器件包含:封装管壳、位于封装管壳内的芯片、以及设于所述封装管壳的底板与所述的芯片之间的过渡层;所述的过渡层包含若干片层,所述的片层包含:贴片胶层和应力缓冲层;所述的应力缓冲层的材质与所述的封装管壳或所述的芯片的材质相同。本发明通过对过渡层进行结构设计,在过渡层中设计应力缓冲区,应力缓冲层的材质与封装管壳或芯片的材质相同,有利于降低封装应力。

    电极谐振微陀螺
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108871302B

    公开(公告)日:2021-12-10

    申请号:CN201810651368.2

    申请日:2018-06-22

    Abstract: 本发明提供了一种电极谐振微陀螺,包括基体(1)、谐振体(2);所述谐振体(2)设置在基体(1)上;所述基体(1)具有容纳腔(4);所述谐振体(2)设置在容纳腔(4)内。所述谐振体(2)底部延伸出固定部(3);所述容纳腔(4)设置有固定部容纳槽;所述固定部(3)与固定部容纳槽相匹配;所述固定部(3)固定在固定部容纳槽内。本发明提供的加工工艺为平面微细加工工艺,加工方便,利于批量生产;通过腐蚀二氧化硅牺牲层形成底部支撑柱,可以精准的控制支撑柱的大小,并实现结构的自对称。

    一种固体振动陀螺频差与耗散角检测电路及其检测方法

    公开(公告)号:CN109708664B

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201811512646.2

    申请日:2018-12-11

    Abstract: 一种固体振动陀螺频差与耗散角检测电路及其检测方法,采用全数字化设计,将现有的陀螺模拟控制中除陀螺敏感器件、数模/模数转换外的所有模拟控制电路替代为可编程的数字电路,使用数字解调与控制的方式进行频率跟踪、X路信号幅度控制、Y路信号幅度解调的设计与实现,提高了系统精度,避免了模拟电路中器件的漂移带来的误差,数字控制环路受温度、磁场等影响小,提高了系统的抗干扰能力,简化了陀螺频差与耗散角检测电路,设计成本低,设计周期短,易维护调试。

    基于复合学习的MEMS陀螺仪预设性能非奇异滑模控制方法

    公开(公告)号:CN109062048B

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201810948760.3

    申请日:2018-08-20

    Abstract: 本发明涉及一种基于复合学习的MEMS陀螺仪预设性能非奇异滑模控制方法,该方法考虑存在参数摄动的MEMS陀螺动力学模型,结合平行估计模型构建神经网络预测误差,设计神经网络权值的复合自适应律,修正神经网络的权重系数,实现未知动力学的有效动态估计;引入性能函数使跟踪误差受限,并通过误差转换将受限的跟踪误差转换为不受限的转换误差,设计基于转换误差的滑模控制器和复合学习律,实现MEMS陀螺的预设性能控制;设计非奇异终端滑模控制器实现未知动力学的前馈补偿,并避免系统奇异问题。本发明解决MEMS陀螺系统奇异、超调及跟踪误差无法预先设计的问题,进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度,改善陀螺性能。

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