一种轴对称结构谐振子不平衡质量识别装置及方法

    公开(公告)号:CN119935187A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411984172.7

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 一种轴对称结构谐振子不平衡质量识别装置及方法,利用激光测振仪检测轴对称结构谐振子外杆振动,进而对谐振子不平衡质量进行识别,将激光测振仪架设在真空腔室的外部,透过真空腔室上的玻璃窗对谐振子外杆的振动进行检测。通过这种非接触式的测量方法无需将测振传感器放置于真空腔室内部,从而在解算出不平衡质量的大小和方位后可以直接在真空腔室内去除谐振子的不平衡质量,不需要将传感器从真空腔室中取出,避免了反复抽真空导致的调平效率降低。同时,激光测振仪只需要一次安装即可,避免了使用接触式传感器时反复装夹带来的测量误差。

    一种基于叉指电极的谐振子动力学参数检测装置

    公开(公告)号:CN113566844A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110625557.4

    申请日:2021-06-04

    Abstract: 本发明公开了一种基于叉指电极的谐振子动力学参数检测装置,该检测装置包括:基准平台,其中,垂直于所述基准平台的方向为第一方向;电极基座,安装在所述基准平台上,该电极基板具有孔;叉指电极,覆盖于所述电极基座上;电路板,覆盖于所述电极基座上;引线,用于连接所述叉指电极和所述电路板;位移及转动装置,其可在所述第一方向上伸缩和转动以及在所述基准平台上平移。本发明提出一种基于叉指电极的熔融石英谐振子动力学参数检测装置,利用叉指电极实现对镀膜前熔融石英谐振子的驱动和振动检测,进而测量出谐振子的动力学参数。

Patent Agency Ranking