一种基于光电复合的振动陀螺精密装调设备

    公开(公告)号:CN114193145B

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202111394731.5

    申请日:2021-11-23

    Abstract: 本发明提供一种基于光电复合的振动陀螺精密装调设备,包括:相对设置的两个多自由度高精度位移台,分别用于安装石英基座和半球谐振子;激光检测装置,用于检测所述石英基座和半球谐振子的轮廓特征;电容检测装置,用于检测所述石英基座和半球谐振子之间N个电极对的电容值;工控机,与所述激光检测装置和电容检测装置以及多自由度高精度位移台通信连接;在粗调阶段,所述工控机根据所述石英基座和半球谐振子的轮廓特征调整所述多自由度高精度位移台;在微调阶段,所述工控机根据各电极对的电容值调整所述多自由度高精度位移台。本发明基于激光和电容检测,解决了两套件结构的石英半球谐振陀螺亚微米级精密装配问题。

    一种基于光电复合的振动陀螺精密装调设备

    公开(公告)号:CN114193145A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202111394731.5

    申请日:2021-11-23

    Abstract: 本发明提供一种基于光电复合的振动陀螺精密装调设备,包括:相对设置的两个多自由度高精度位移台,分别用于安装石英基座和半球谐振子;激光检测装置,用于检测所述石英基座和半球谐振子的轮廓特征;电容检测装置,用于检测所述石英基座和半球谐振子之间N个电极对的电容值;工控机,与所述激光检测装置和电容检测装置以及多自由度高精度位移台通信连接;在粗调阶段,所述工控机根据所述石英基座和半球谐振子的轮廓特征调整所述多自由度高精度位移台;在微调阶段,所述工控机根据各电极对的电容值调整所述多自由度高精度位移台。本发明基于激光和电容检测,解决了两套件结构的石英半球谐振陀螺亚微米级精密装配问题。

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