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公开(公告)号：CN120048733A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202410825826.5
申请日：2024-06-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/02 , H01L21/223 , H01J37/32
Abstract: 提供一种处理基底的方法。所述方法包括：在基底处理设备的台上提供基底；以及对台上的基底进行处理。对基底进行处理包括：将源功率提供到基底处理设备；以及将偏置功率提供到基底处理设备。将偏置功率提供到基底处理设备包括：将第一非正弦波提供到台的等离子体电极；以及将第二非正弦波提供到台的边缘电极。第二非正弦波的占空比不同于第一非正弦波的占空比。
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公开(公告)号：CN119725145A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202410450941.9
申请日：2024-04-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01J37/32 , C23C16/517 , C23C16/02 , C23C16/52
Abstract: 一种衬底处理方法，包括：将衬底放置在衬底处理装置中；向衬底处理装置施加源功率；以及向衬底处理装置施加偏压功率，其中，向衬底处理装置施加源功率包括：利用具有第一周期的第一脉冲向衬底处理装置提供第一射频(RF)功率；以及利用具有第二周期的第二脉冲向衬底处理装置提供第二RF功率，其中，第一周期比第二周期长。
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公开(公告)号：CN119673735A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411078505.X
申请日：2024-08-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01J37/248 , H01J37/32 , H01L21/67
Abstract: 一种等离子体处理装置，包括：等离子体室；射频(RF)电源，被配置为在等离子体室中产生等离子体；电磁体，被配置为向等离子体施加磁场；以及脉冲电流产生器，被配置为向电磁体提供脉冲电流，其中，脉冲电流的每个周期包括第一部分和第一部分之后的第二部分，并且脉冲电流产生器还被配置为：在第一部分处以第一方向向电磁体提供脉冲电流以产生磁场，并且在第二部分处以与第一方向相反的第二方向向电磁体提供脉冲电流以降低在第一部分处产生的磁场的强度。
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公开(公告)号：CN117476425A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310559036.2
申请日：2023-05-17
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种等离子体处理装置包括：晶片支撑固定件，在腔室中，并且被配置为支撑晶片；上电极，在腔室中，并且与晶片支撑固定件间隔开；磁体组件，被配置为将磁场施加到腔室中，磁体组件包括布置为环形形状的多个第一磁体和多个第二磁体，以及从腔室的中心轴到多个第一磁体中的每个第一磁体和到多个第二磁体中的每个第二磁体的水平距离小于晶片的半径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101206216A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710159943.9
申请日：2007-12-20
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00387 , B01J2219/00527 , B01J2219/00576 , B01J2219/00596 , B01J2219/00608 , B01J2219/00659 , B01J2219/00662 , B01J2219/00693 , B01J2219/00702 , B01J2219/00722 , C12Q1/6837 , Y10T428/24612 , C12Q2565/513
Abstract: 示例实施方式可以包括基于易于分析的布局的低聚物探针阵列芯片。示例低聚物探针阵列芯片可以包括基底、位于基底上具有多个以行或面板的形式的子阵列的主阵列、和/或位于每个子阵列行外部的多个子阵列排列点阵列。子阵列可以包括多个以矩阵排列的点，其中具有不同序列的低聚物探针可以连接于该点。示例实施方式还提供用于制造低聚物探针阵列芯片的掩模以及低聚物探针阵列芯片的杂交分析方法。
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公开(公告)号：CN101206215A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710159942.4
申请日：2007-12-20
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01L3/508 , B01J2219/00659 , B01J2219/00702 , B01L2300/041 , B01L2300/0636 , B01L2300/0822
Abstract: 本发明提供一种生物芯片套件，包括：第一壳体；放置在第一壳体中并且构造成包括多个分子探针的生物芯片；以及与第一壳体结合并且构造成与第一壳体形成反应空间并且覆盖该生物芯片的第二壳体，其中第二壳体和第一壳体在构造上可移动地结合，从而可以暴露生物芯片的上表面。还提供一种使用该生物芯片套件来测试生物样品的方法。
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公开(公告)号：CN108242382A
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201711417986.2
申请日：2017-12-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01L21/67069 , C23C16/4585 , C23C16/5096 , H01J37/32642 , H01J37/32724 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/6831 , H01L21/68735 , H01J37/32715 , H01J2237/334
Abstract: 一种等离子体处理装置包括：支撑晶片的静电卡盘；设置为围绕晶片的外周表面的调节环；设置为围绕调节环的外周表面的绝缘环；以及支撑调节环的下部分和绝缘环的下部分的边缘环，边缘环与静电卡盘间隔开并且围绕静电卡盘的外周表面；其中边缘环包括在其中容纳流体的流道。
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公开(公告)号：CN101206215B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200710159942.4
申请日：2007-12-20
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01L3/508 , B01J2219/00659 , B01J2219/00702 , B01L2300/041 , B01L2300/0636 , B01L2300/0822
Abstract: 本发明提供一种生物芯片套件，包括：第一壳体；放置在第一壳体中并且构造成包括多个分子探针的生物芯片；以及与第一壳体结合并且构造成与第一壳体形成反应空间并且覆盖该生物芯片的第二壳体，其中第二壳体和第一壳体在构造上可移动地结合，从而可以暴露生物芯片的上表面。还提供一种使用该生物芯片套件来测试生物样品的方法。
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公开(公告)号：CN101298464B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200810009721.3
申请日：2008-02-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: C07H19/00 , B01J19/0046 , B01J2219/00432 , B01J2219/00527 , B01J2219/00596 , B01J2219/00608 , B01J2219/00621 , B01J2219/00626 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B82Y30/00 , C07D215/14 , C07F9/2408 , C07F9/60 , C07F9/65515 , C07H21/00 , C40B50/14 , Y02P20/55 , Y10T436/143333
Abstract: 公开了一种对光不稳化合物、低聚物探针阵列、和包括对光不稳化合物的用于低聚物探针阵列的基片、及其制造方法。
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