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公开(公告)号：CN119890073A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411432424.5
申请日：2024-10-14
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供一种气体供应组件和一种半导体晶圆处理设备。该气体供应组件包括：热控制板，其包括加热器和冷却器；气体分布板，其在热控制板下方并且包括处理气体通过其递送的处理气体分布通路和热调节气体通过其递送的热调节气体分布通路；热传递垫，其在气体分布板下方，并且包括电介质材料垫，电介质材料垫中包括电极；以及喷头，其包括与处理气体分布通路连通并且排放处理气体的喷嘴。热传递垫还包括与气体分布板的处理气体分布通路连通的处理气体移动通道和与气体分布板的热调节气体分布通路连通的热调节气体移动通道。
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公开(公告)号：CN118943043A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410507760.5
申请日：2024-04-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 提供了冷却剂管块组装件和半导体处理装置。示例冷却剂管块组装件包括：第一冷却剂管块，其包括第一冷却剂流动路径管和第二冷却剂流动路径管中的至少一个；中枢块，其被配置为在一侧暴露第一冷却剂流动路径管和第二冷却剂流动路径管中的至少一个，并且连接至第一冷却剂管块的下侧；第二冷却剂管块，其包括与第一冷却剂流动路径管和第二冷却剂流动路径管中的至少一个连通的至少一个第三冷却剂流动路径管和至少一个第四冷却剂流动路径管，并且通过中枢块与第一冷却剂管块堆叠；以及夹具，其设置在第二冷却剂管块的下部并且紧固至形成在中枢块外的紧固凹槽。
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公开(公告)号：CN101206216B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN200710159943.9
申请日：2007-12-20
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00387 , B01J2219/00527 , B01J2219/00576 , B01J2219/00596 , B01J2219/00608 , B01J2219/00659 , B01J2219/00662 , B01J2219/00693 , B01J2219/00702 , B01J2219/00722 , C12Q1/6837 , Y10T428/24612 , C12Q2565/513
Abstract: 示例实施方式可以包括基于易于分析的布局的低聚物探针阵列芯片。示例低聚物探针阵列芯片可以包括基底、位于基底上具有多个以行或面板的形式的子阵列的主阵列、和/或位于每个子阵列行外部的多个子阵列排列点阵列。子阵列可以包括多个以矩阵排列的点，其中具有不同序列的低聚物探针可以连接于该点。示例实施方式还提供用于制造低聚物探针阵列芯片的掩模以及低聚物探针阵列芯片的杂交分析方法。
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公开(公告)号：CN101294216B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200810009726.6
申请日：2008-02-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00497 , B01J2219/00527 , B01J2219/00585 , B01J2219/00596 , B01J2219/00605 , B01J2219/00659 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B01J2219/00725 , B82Y30/00 , C40B40/06 , C40B40/10 , C40B50/18 , C40B80/00 , Y10T428/31504
Abstract: 本发明公开了一种衬底结构、低聚物探针阵列及其制造方法。该衬底结构可以包括衬底和衬底上的包括由下面的结构式1表示的化学结构的中间膜。 (其中R1是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基，R2是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基，和X直接或经由固定层而与衬底耦合)。
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公开(公告)号：CN101067605B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200710100990.6
申请日：2007-05-08
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00317 , B01J2219/00529 , B01J2219/00585 , B01J2219/00596 , B01J2219/00608 , B01J2219/00612 , B01J2219/00617 , B01J2219/00621 , B01J2219/00626 , B01J2219/00637 , B01J2219/00659 , B01J2219/00722
Abstract: 一种具有提高的信噪比的低聚物探针阵列，包括衬底，在衬底上或在衬底中形成的多个探针单元有源区，该多个探针单元有源区的每一个具有基本上平坦的表面并以自己的序列与至少一个低聚物探针耦合，以及限定探针单元有源区并且没有用于与表面上的低聚物探针耦合的官能团的探针单元隔离区。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101221121B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200710307759.4
申请日：2007-07-16
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00382 , B01J2219/00432 , B01J2219/00527 , B01J2219/00585 , B01J2219/00596 , B01J2219/00605 , B01J2219/00659 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B82Y30/00 , C40B50/18
Abstract: 一种制造微阵列的方法，包括提供基板，该基板具有采用酸不稳定保护基团保护的官能团固定且能够与低聚物探针偶联的表面；将光酸产生剂提供到基板上；在基板上设置包括凸起区和围绕凸起区的多个凹面区的印记模板，以使得该凸起区接触或邻接基板的上表面以由基板的上表面和印记模板的凸起区和凹面区限定多个反应区；将一个或多个反应区暴露到光以使得在一个或多个暴露的反应区中由光酸产生剂产生酸并且由酸除去对所述一个或多个暴露的反应区中的官能团的保护；以及将低聚物探针提供到基板上以使得低聚物探针与已除去保护的官能团偶联。
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公开(公告)号：CN101298464A
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：CN200810009721.3
申请日：2008-02-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: C07H19/00 , B01J19/0046 , B01J2219/00432 , B01J2219/00527 , B01J2219/00596 , B01J2219/00608 , B01J2219/00621 , B01J2219/00626 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B82Y30/00 , C07D215/14 , C07F9/2408 , C07F9/60 , C07F9/65515 , C07H21/00 , C40B50/14 , Y02P20/55 , Y10T436/143333
Abstract: 公开了一种对光不稳化合物、低聚物探针阵列、和包括对光不稳化合物的用于低聚物探针阵列的基片、及其制造方法。
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公开(公告)号：CN101294216A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200810009726.6
申请日：2008-02-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00497 , B01J2219/00527 , B01J2219/00585 , B01J2219/00596 , B01J2219/00605 , B01J2219/00659 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B01J2219/00725 , B82Y30/00 , C40B40/06 , C40B40/10 , C40B50/18 , C40B80/00 , Y10T428/31504
Abstract: 公开了一种衬底结构、低聚物探针阵列及其制造方法。该衬底结构可以包括衬底和衬底上的包括由下面的结构式1表示的化学结构的中间膜。 (其中R1是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基，R2是烷基、芳香基、烷氧基、腈、酯、苯基、羟基、脂肪族内脂、环烷基或环烯基，和X直接或经由固定层而与衬底耦合)。
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公开(公告)号：CN101221121A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710307759.4
申请日：2007-07-16
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00382 , B01J2219/00432 , B01J2219/00527 , B01J2219/00585 , B01J2219/00596 , B01J2219/00605 , B01J2219/00659 , B01J2219/00711 , B01J2219/00722 , B82Y30/00 , C40B50/18
Abstract: 一种制造微阵列的方法，包括提供基板，该基板具有采用酸不稳定保护基团保护的官能团固定且能够与低聚物探针偶联的表面；将光酸产生剂提供到基板上；在基板上设置包括凸起区和围绕凸起区的多个凹面区的印记模板，以使得该凸起区接触或邻接基板的上表面以由基板的上表面和印记模板的凸起区和凹面区限定多个反应区；将一个或多个反应区暴露到光以使得在一个或多个暴露的反应区中由光酸产生剂产生酸并且由酸除去对所述一个或多个暴露的反应区中的官能团的保护；以及将低聚物探针提供到基板上以使得低聚物探针与已除去保护的官能团偶联。
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公开(公告)号：CN101067606A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200710100998.2
申请日：2007-05-08
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: B01J19/0046 , B01J2219/00317 , B01J2219/00605 , B01J2219/00662 , B01J2219/00722
Abstract: 一种即使当采用的减小的设计规则时也具有提高的信噪比和希望的探测灵敏度的低聚物探针阵列，包括衬底、在衬底上或在衬底中形成的多个探针单元有源区，该多个探针单元有源区的每一个具有三维表面并与具有其自己序列的至少一个低聚物探针耦合、以及限定探针单元有源区并且没有与表面上的低聚物探针耦合的官能团的探针单元隔离区。
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