公开(公告)号：CN1306336C

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN02145838.3

申请日：2002-10-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李有京 ,  姜圣哲 ,  周振豪 ,  李东基

IPC: G03F7/008 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明公开一种包括热致酸生成剂的光致抗蚀剂组合物和用其形成图案的方法。该光致抗蚀剂组合物包括100重量份的碱溶性丙烯酰基共聚物，5-100重量份的1，2-醌二叠氮化合物，2-35重量份的含氮交联剂，0.1-10重量份的加热能产生酸的热致酸生成剂。在基底上涂覆光致抗蚀剂组合物并干燥，形成光致抗蚀剂层。通过使用具有预定形状的掩模使光致抗蚀剂层曝光。通过使用含水碱性溶液使曝光的光致抗蚀剂层显影，形成光致抗蚀剂图案。加热这样得到的光致抗蚀剂图案，使其固化，不会产生热回流。

公开(公告)号：CN1296772C

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN02150451.2

申请日：2002-11-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李有京 ,  姜圣哲 ,  周振豪 ,  李东基 ,  李承昱 ,  姜勋

IPC: G03F7/012 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0236 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明公开一种具有良好灵敏度和余层特性的光致抗蚀剂组合物和用该组合物形成图案的方法。该光致抗蚀剂组合物包括约5%重量至约30%重量的聚合树脂、约2%重量至约10%重量的光敏化合物、约0.1%至约10%重量的灵敏度提高剂、约0.1%重量至约10%重量的灵敏度抑制剂和约60%重量至约90%重量的有机溶剂。在基板上涂覆光致抗蚀剂组合物，然后干燥涂覆的光致抗蚀剂组合物，形成光致抗蚀剂层。然后，通过使用具有预定形状的掩模使所述光致抗蚀剂层曝光。接下来，通过使曝光的光致抗蚀剂层显影而形成光致抗蚀剂图案。光致抗蚀剂图案具有均匀的涂层厚度和临界尺寸。

公开(公告)号：CN1606714A

公开(公告)日：2005-04-13

申请号：CN02825525.9

申请日：2002-02-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李东基 ,  姜圣哲 ,  李有京 ,  周振豪

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0226

Abstract: 本发明涉及具有用于LCD生产方法的耐高温性的光致抗蚀剂组合物，且更具体地说，本发明涉及具有耐高温性的能够减少工艺的策略(一种方式)、工艺简化和节约费用的光致抗蚀剂组合物。本发明的组合物通过使跳过5步工艺成为可能而有利于这一特性，诸如形成金属薄膜的Cr金属沉积和整个金属表面的光/蚀刻/PR剥离/蚀刻步骤；通过用本发明的组合物取代常用的金属薄膜，使得TFT－LCD生产过程中的N+离子掺入可以因其耐高温性而进行。

公开(公告)号：CN1158569C

公开(公告)日：2004-07-21

申请号：CN00126263.7

申请日：2000-08-30

Applicant: 三星电子株式会社 ,  东友半导体株式会社

Inventor： 罗振豪 ,  李有京 ,  朴弘植 ,  罗允静 ,  金玑洙 ,  姜圣哲 ,  康升镇

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/0226

Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物，其包括：用以形成光致抗蚀剂层的聚合物树脂、由于曝光而使光致抗蚀剂层的溶解度发生改变的感光化学品以及作为溶剂的乙酸3-甲氧基丁酯和4-丁内酯。该组合物具有良好的感光性和残膜率，且没有恶臭。

公开(公告)号：CN1413317A

公开(公告)日：2003-04-23

申请号：CN00817711.2

申请日：2000-12-08

Applicant: 三星电子株式会社 ,  克拉里安特国际有限公司

Inventor： 朴弘植 ,  周振豪 ,  李有京 ,  姜圣哲 ,  吴世泰 ,  姜德万

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  C11D7/50

CPC classification number: G03F7/168 ,  G03F7/38 ,  G03F7/42 ,  G03F7/422 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/31133

Abstract: 本发明提供一种用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂，其包括50到80重量％的醋酸正丁酯，丙二醇烷基醚，和丙二醇烷基醚醋酸酯。该稀释剂既对人类无毒害，也不对生态带来不利影响，而且没有不适的气味。其废液和与之相关的废水容易处理，由此使得这种稀释剂对环境友好。本发明的光致抗蚀剂稀释剂具有优异的冲洗能力。

公开(公告)号：CN1289070A

公开(公告)日：2001-03-28

申请号：CN00126263.7

申请日：2000-08-30

Applicant: 三星电子株式会社 ,  东友半导体株式会社

Inventor： 罗振豪 ,  李有京 ,  朴弘植 ,  罗允静 ,  金玑洙 ,  姜圣哲 ,  康升镇

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/0226

Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物,其包括:用以形成光致抗蚀剂层的聚合物树脂、由于曝光而使光致抗蚀剂层的溶解度发生改变的感光化学品以及作为溶剂的乙酸3－甲氧基丁酯和4－丁内酯。该组合物具有良好的感光性和残膜率,且没有恶臭。

公开(公告)号：CN303395602S

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201530002703.3

申请日：2015-01-06

Applicant: 三星电子株式会社

Designer： 朴敏善 ,  权喜真 ,  李有京

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：带图形用户界面的电视接收机。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于运行程序以及电视通信。3．本外观设计产品的设计要点：在于电视接收机的屏幕中显示的图形用户界面。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计2主视图。5．指定基本设计：设计2。6．其它说明：设计1到设计10的图形用户界面相同，并且界面的内容框中的图片内容被省略。界面用途：本图形用户界面包括多个内容框，如果用户选择其中的一个内容框，则屏幕将显示或播放所选择的内容框。