公开(公告)号：CN103852636A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201410116385.8

申请日：2014-03-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘宇维 ,  庞博升 ,  邓中祚 ,  陈兴林 ,  陈宇青 ,  刘帅 ,  聂文田

IPC: G01R22/10

Abstract: 基于电能测量芯片的电能测量电路，涉及电能测量技术领域。它为了解决现有电能计体积大、且精度低的问题。本发明在使用时，将电源插头连接220V～50hz交流电源，将待测用电器连接负载接入端子，当目标负载即待测用电器在工频下正常工作时，与目标负载串联的取样电阻就会与目标负载流过相同的电流，取样电阻两端的电压测量信号输入到测量电路中，测量电路根据采样电压计算得到待测用电器的用电量，并通过光电隔离电路输出。现有产品相比，本发明所述的基于电能测量芯片的电能测量电路体积减小至少70%，功率减小至少36%，精度达到0.8级。本发明适用于用电器的用电量测量。

公开(公告)号：CN103389947A

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201310339761.5

申请日：2013-08-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘川 ,  史新妍 ,  李慧璐 ,  王伟峰

IPC: G06F12/02 ,  G06F12/06

Abstract: 基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理器及管理方法，属于光刻机工作台控制系统的内存管理技术领域。本发明为了解决现有基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理方法由于会产生大量的碎片，而影响系统正常运行的问题。它包括：用于初始化光刻机双工件台控制系统内存的初始化装置；用于对光刻机双工件台控制系统内存进行分配的内存分配装置；用于对光刻机双工件台控制系统内存进行管理的内存释放装置。本发明用于管理光刻机双工件台控制系统的内存。

公开(公告)号：CN103366063A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310295948.X

申请日：2013-07-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  王一光 ,  李晓杰

IPC: G06F17/50

CPC classification number: Y02T10/82

Abstract: 一种工件台微动部分机械参数估计方法，主要涉及工件台微动部分机械参数估计方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分三个水平音圈电机的安装角度和质心位置难于通过传统精密仪器精确测量的问题。一、建立转换关系；二、建立位置关系；三、将位置关系二次求导；四、得出相对驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式；六、设定实际质心位置和安装角度；七、由平面几何关系得出L1-L10的实际值；八、利用步骤三中的方法计算实际Q；九、利用步骤一中的方法计算实际L；十、建立误差模型；十一、列写位移差方程；十二、通过试验测得[x′t y′t r′zt z′t r′xt r′y t]T；十三、仿真得[xt yt rzt zt rxt ryt]T；十四、解方程组得△x0,△y0,△z0,△θ1,△θ2,△θ3。本发明属于超精密制造领域。

公开(公告)号：CN103309355A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310187795.7

申请日：2013-05-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  王伟峰 ,  张旭 ,  李聪 ,  刘杨

IPC: G05D3/00

CPC classification number: F16M11/12 ,  F16M11/18

Abstract: 多轴支撑气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它首先设定质心偏移量阈值，然后将质心偏移量G(x0，y0)与质心偏移量阈值进行比较，当质心偏移量G(x0，y0)小于质心偏移量阈值时，对支撑腿的伸缩长度进行补偿；当质心偏移量G(x0，y0)大于质心偏移量阈值时，通过控制气足的喷嘴喷气使承载平台在水平混凝土基座上平动，跟随承载平台上负载的运动以调整相对位移量(x2，y2)，直到将质心偏移量G(x0，y0)调至质心偏移量阈值范围之内。本发明用于气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控。

公开(公告)号：CN103279034A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310179857.X

申请日：2013-05-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  王一光 ,  刘杨 ,  李晓杰

IPC: G05B13/04

Abstract: 一种分数阶鲁棒控制器的参数整定方法，本发明属于分数阶自动控制技术领域，主要涉及的是一种PDμ结构的分数阶鲁棒控制器的参数整定方法。本发明是要解决现有方法由于不确定因素的影响使得常规的PD控制不能达到满意效果的问题。一、给定待整定系统的各项参数；二、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(1)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；三、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(2)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；四、利用图解法求出步骤二和步骤三所确定的曲线的交点坐标(μ，Kd)；五、将步骤四所求得的Kd和μ代入公式(3)求出Kp。本发明应用于分数阶自动控制技术领域。

公开(公告)号：CN103277644A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310187887.5

申请日：2013-05-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘杨 ,  李聪 ,  刘川 ,  王伟峰

IPC: F16M11/32

Abstract: 多轴支撑气浮平台，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为解决为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括承载平台，M条支撑腿、M个气浮筒和M个气足，M为3、4、5、6、7或8，承载平台为圆形平台，承载平台由M条支撑腿支撑，M条支撑腿与承载平台下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿的末端连接一个气浮筒，每个气浮筒的底端通过气浮球轴承连接一个气足。本发明作为一种支撑平台。

公开(公告)号：CN103268381A

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201310203935.5

申请日：2013-05-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  王公峰 ,  陈兴林 ,  吴勇超 ,  刘川 ,  王伟峰 ,  张旭

IPC: G06F17/50

Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。