滤光片式分光元件
    122.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1226639C

    公开(公告)日:2005-11-09

    申请号:CN200310108346.5

    申请日:2003-10-31

    Abstract: 本发明公开了一种滤光片式分光元件,它是通过设计一系列透射峰位连续的超窄带通滤光片,并将其集成在一起形成滤光片式的分光元件。它包括:二片衬底,二片衬底的一表面各镀有完全相同的无序型膜系,在二无序型膜系之间的四周边缘粘有高分子聚合物材料制成的微米小球胶,使其真空密封固定成一体,中间形成一真空层。其中一片衬底的无序型膜系是镀在深浅渐变的凹槽列阵上的。本发明的分光元件结构简单、体积小,分出的光束单色性好。如果加上入射狭缝和出射狭缝就可以构成一个完整的单色仪,非常有利于与其它系统的组合,构成各种光谱测量系统。

    薄膜气体传感器
    123.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1215342C

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN03116787.X

    申请日:2003-05-08

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜气体传感器,包括:二片相同材料的衬底,其中一片衬底的一表面有一凹槽,带有凹槽的表面镀有无序型膜系。另一片衬底的二表面为平面,其任一平面镀有无序型膜系,在二无序型膜系之间的二侧边缘粘有特种微米小球粘胶,使其固接成一体,中间为样品室。凹槽内外的高度差分别对应二个不同的带通峰位,将其中的一个带通峰位设计至待检气体的特征吸收峰,另一个带通峰位设计在特征吸收峰附近的非吸收区作为参考峰位,利用气体吸收引起的透射峰强度的相对变化来实现气体含量的检测。本发明的薄膜气体传感器的最大优点是可以针对任何一种已知特征吸收峰的气体进行设计,使得响应具有唯一性,同时该传感器还具有灵敏度高、响应快、选择性好、重复性好、寿命长等优点,大大弥补了传统气体传感器各种性能不能兼顾的缺点。

    集成窄带滤光片
    125.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1614451A

    公开(公告)日:2005-05-11

    申请号:CN200410067892.3

    申请日:2004-11-05

    Abstract: 本发明公开了一种集成窄带滤光片,包括:基片,在基片上依次有相互牢固结合的下层膜系,厚度不等的谐振腔层列阵和上层膜系。本发明的集成窄带滤光片是基于F-P干涉原理,通过半导体刻蚀工艺来获取不同谐振腔层的厚度,达到控制窄带滤光片的带通峰位,从而实现不同透射波长窄带滤光片在同一块基片上的集成。这种滤光片可适用于各个波段窄带滤光片列阵的制备。其优点是:工艺简单,只需设计一个膜系、通过镀膜和刻蚀即可完成集成窄带滤光片的制备,所制备的滤光片各单元的半峰宽很窄,其相对半峰宽都小于0.36%,可以起到很好的波长选择作用。

    可见光波段高偏振度偏振光束分离器

    公开(公告)号:CN1383002A

    公开(公告)日:2002-12-04

    申请号:CN02111812.4

    申请日:2002-05-23

    Abstract: 本发明公开了一种采用金属光子晶体结构的可见光波段高偏振度偏振光束分离器。包括:在衬底上构成二维阵列结构的介质棒,所说的二维阵列结构可以是正方格子或六角格子等,所说的介质棒是由金属材料构成的,介质棒之间嵌有SiO2。本发明提供的偏振器结构不同于传统的偏振器,它可以通过只改变金属棒的半径和晶格常数R/a的比,预先设计工作波段,并且可以得到高的偏振度和透射率。

Patent Agency Ranking