一种双机热备份系统及该系统的故障检测方法

    公开(公告)号:CN103425553B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201310403241.6

    申请日:2013-09-06

    Abstract: 一种双机热备份系统及该系统的故障检测方法,属于自动控制领域,本发明为解决现有双机热备份系统出现故障时,无法判定系统故障的类型的问题。本发明包括DSP主机、DSP备份机和电源控制板;它还包括复用GPIO端口、一号时钟同步模块、二号时钟同步模块和三号选择开关SW;对该系统进行同步时钟故障检测,该检测是由DSP主机1来检测,同步时钟作为DSP主机1与DSP备份机2的外部中断源使用,在DSP主机1中通过设置标志量来表示同步时钟是否有中断信号进入;通过检测此标志量实现同步时钟故障检测。该系统还可进行存储器故障检测、程序性故障检测、串口故障检测和DSP主机和DSP备份机的A/D、D/A自检。用在数据处理系统中。

    一种抑制直线电机定位力补偿控制器

    公开(公告)号:CN104201963A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410460927.3

    申请日:2014-09-11

    Abstract: 一种抑制直线电机定位力补偿控制器,属于电机补偿控制领域。为了解决目前的补偿控制器结构复杂且控制周期长反应速度慢的问题。本发明的补偿控制器,采用迭代控制器的方法,对永磁同步直线电机的推力波动进行在线补偿,其中补偿控制器采用了PI与重复控制相结合的方式进行设计。这种方法避免了利用扰动模型进行补偿控制时,由复杂的数学模型或者冗杂的建模数据带来的系统开销,将非线性的直线电机推力波动补偿控制大幅简化,可以有效降低控制周期进而提升系统的反应速度。它用于直线电机的定位力补偿。

    基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法

    公开(公告)号:CN104200033A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410455326.3

    申请日:2014-09-09

    Abstract: 基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法,属于电路板串口调试领域。为了解决目前的硬件仿真器对电路板串口进行调试时易出错的问题。所述方法是基于FPGA、DSP和CPLD实现的,所述方法包括:采用FPGA确定运行DSP进行串口调试的时序,所述时序包括接收时序和发送时序的步骤;根据确定的时序,采用DSP实现串口调试的步骤;采用CPLD为DSP和FPGA提供正常的电平范围的步骤。它用于电路板的串口调试。

    基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统

    公开(公告)号:CN104181901A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410448520.9

    申请日:2014-09-04

    CPC classification number: Y02P90/02

    Abstract: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统,属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制,次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步,实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。

    双工件台扫描光刻机的Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换方法

    公开(公告)号:CN104133802A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410400093.7

    申请日:2014-08-14

    Abstract: 双工件台扫描光刻机的Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换方法,属于两个物理板卡或两个系统之间的数据交换技术领域。本发明是为了解决现有双工件台扫描光刻机的操作系统与运动控制卡在进行数据交换时,存在DSP和Vxworks同时读写同一块内存,导致数据交换效率低的问题。它采用FPGA的双口RAM的两个数据区用来交替保存向上位机发送的数据,Vxworks读板卡任务监测两个数据区的写满标志位,在写满标志位置0时,表示读数据任务完成,Vxworks的读板卡任务实时监控数据区的写满标志寄存器,发现哪一块数据区写满就读哪一块数据。本发明用于Vxworks嵌入式操作系统和运动控制卡间的数据交换。

    基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构

    公开(公告)号:CN104019940A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201410277199.2

    申请日:2014-06-20

    Abstract: 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构,属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题,所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成,垂向运动机构旁安置有基准压力腔,绝对压力传感器安置于基准压力腔内,垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成,垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔,相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式,具有较高的测量精度,可达到较为良好的实验效果。

    基于二次平台线阵CCD的倾角测量方法

    公开(公告)号:CN103983247A

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:CN201410208601.1

    申请日:2014-05-16

    CPC classification number: G01C9/00 G05D3/12

    Abstract: 基于二次平台线阵CCD的倾角测量方法,涉及基于二次平台的倾角测量方法,属于超精密仪器设备测量系统的测量方法。为了解决采用光栅式编码器不适用于二次平台及六自由度气浮台系统的问题以及采用倾角传感器在二次平台动态工作时精度差的问题。本发明通过旋转半导体激光器旋转扫描周围的线阵CCD,在线阵CCD屏幕上留下高度不等的光点,得到线阵CCD屏幕上光点的高度数据。将相邻的线阵CCD上光点的高度数据信号发送给数字信号处理器。根据光点的高度信号求解光点构成平面的倾角α,根据误差对倾角α进行补偿,将补偿后的倾角α0作为当前平台的倾角。本发明适用于二次平台的倾角测量。

    二次平台运动控制的上下位机通信方法和装置

    公开(公告)号:CN103973798A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201410203410.6

    申请日:2014-05-14

    Abstract: 二次平台运动控制的上下位机通信方法和装置,涉及一种通信方法和装置。本发明是为了解决传统的二次平台运动控制的上下位机通信方法的实时性差的问题。本发明的上位机和下位机通信节点通过TCP通信协议进行通信,下位机通信节点与单片机通过串口进行通信。由于通信指令多,故定义了应用层的通信协议和装置。当上位机向下位机单片机发送指令时,上位机通过TCP通道把数据发送给下位机通信节点,通信节点再把应用层的信息通过串口发给单片机,单片机根据指令执行相应的功能。本发明适用于二次平台运动控制的上下位机通信。

    基于模糊FMEA的仿真系统风险评估方法

    公开(公告)号:CN103902845A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410169440.X

    申请日:2014-04-25

    Abstract: 基于模糊FMEA的仿真系统风险评估方法,具体涉及利用模糊FMEA的方法进行仿真系统的风险评估。本发明是要解决现有风险评估方法成本分配评估不合理、结果评估不符合满足要求、定性评估以人的意见和判断为依据的问题。一、基于模糊FMEA对整个仿真系统的风险进行初步评估,得到得到模糊化的结果;二、对整个仿真系统的评估成本进行估计;三、建立整个仿真系统的风险和成本的计算模型;四、评价整个仿真系统的模糊线性成本和风险之间的关系,建立评估解决方案的模糊线性规划模型,得到最终整个风险评估的结果。本发明应用于风险评估领域。

    基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法

    公开(公告)号:CN103869833A

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201410128646.8

    申请日:2014-04-01

    Abstract: 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节方法,涉及地面全物理仿真领域。它是为了解决现有调节三轴气浮台质心需要人工调平,浪费时间,三轴气浮台质心调节精度低的问题。本发明实现将三轴气浮台质心调整到与其旋转中心重合的位置上,使实验台具有很高的平衡精度的目的,其三维质心调节系统的定位精度优于10um,满足实验台在地面进行姿态仿真时的使用要求;大大减少了质心调节的时间,不需要人工操作,调节时间同比节约了一倍以上。本发明适用于地面全物理仿真领域。

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