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公开(公告)号：CN102501180A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110329852.1
申请日：2011-10-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B24C1/08 , G05B19/404
Abstract: 本发明是一种对轻质反射镜压印效应误差的修正方法，是确定轻质反射镜压印效应的误差分布数据，把轻质反射镜对准安装在抛光机床上，确定轻质反射镜在抛光机床坐标系上的误差分布的位置；获得射流抛光轻质反射镜材料的去除函数和去除函数数据；根据压印效应的误差分布数据和去除函数数据，计算射流抛光过程中的驻留时间分布；根据轻质反射镜压印效应误差位置的分布情况，规划射流抛光误差修正过程中的射流抛光运动轨迹；基于驻留时间分布和运动轨迹，生成相应抛光机床的数控代码；开启射流抛光系统和机床数控系统，射流抛光头在数控机床的控制下，冲击射流对准轻质反射镜上不同点进行材料去除加工，从而实现轻质反射镜全口径或局部的误差修正。
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公开(公告)号：CN102494634A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110367837.6
申请日：2011-11-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 一种基于条纹反射的离轴非球面镜检测方法，测量系统由被测镜、显示屏和CCD摄像机组成。首先以离轴非球面镜中心建立世界坐标系，并得到世界坐标系、显示屏坐标系及摄像机坐标系之间的关系。测量时，在显示屏上正(余)弦周期性条纹图样，投影在被测镜上被反射回来，由摄像机进行拍摄。通过相移技术及相位展开技术得到相位分布，再结合各坐标之间的关系得到被测非球面的法线向量分布，最后积分重建被测离轴非球面的面形高度信息。
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公开(公告)号：CN101876540B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201010172118.4
申请日：2010-05-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统包括相移干涉仪、标准镜头、由多个光学元件或元件组构成的多波前透镜补偿器、电控调整装置及驱动器、被测非球面光学元件、六维调整架、电控平移台及驱动器、计算机控制及数据处理系统。本发明通过多次干涉测量实现误差分离以提高非球面光学元件面形检测精度，同时具有一定的柔性测量范围，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101858735B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201010181989.2
申请日：2010-05-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径离轴非球面测量和标定系统，包括一台干涉仪、标准镜头、两个平凹透镜、一个直角反射棱镜、一块标准平面反射镜以及需要测量或者标定的离轴非球面组成。从干涉仪发射出来的标准平行光，经过标准镜头后会聚于需要测量或者标定的离轴非球面的焦点上，再经过离轴非球面的反射后变成平行光并由标准平面反射镜沿原光路反射回来，最后由干涉仪的图像处理软件对大口径离轴非球面的面形进行分析处理，完成大口径离轴非球面测量。而同样从干涉仪中心发射出的细光束，沿着主光轴方向入射到第一个平凹透镜上，透射后进入直角反射棱镜，并经其反射后偏转90°，入射到第二个平凹透镜上，最后经过离轴非球面表面矢高的最低点与最高点射出，移动标准平面反射镜使这一束光沿原路返回，可保证各个元器件的中心在同一高度，并可根据已知条件完成大口径离轴非球面的几何参数测量与标定。
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公开(公告)号：CN101943559B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201010253138.4
申请日：2010-08-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B5/008
Abstract: 本发明是一种利用三坐标测量机检测大口径非球面光学元件的方法，利用信息处理技术对三坐标测量机获取的数据进行处理，采取利用测头补偿的方法对三坐标测量机的测头进行误差补偿，利用最小二乘法剔除检测数据的倾斜和平移误差，并剔除由格兰姆-施密特正交化方法进行面形数据Zernike多项式拟合后的常数项和倾斜项，复原被检测的大口径非球面光学元件面形，以实现大口径光学元件高精度三坐标测量目的。本发明全面考虑被检大口径非球面光学元件三坐标测量机的误差源，从而可以更加真实客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用测头补偿和最小二乘法对光学元件面形测量误差进行处理，对高精度大口径光学元件的面形检测具有重要的应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102221348A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110082661.X
申请日：2011-04-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于多特征匹配和平均法的球面绝对测量方法，该方法通过对一个“猫眼”位置干涉测量和多个共焦位置干涉测量结果进行数据处理直接获得与参考面误差无关的被测球面光学元件面形误差信息。多特征匹配根据设置在被测球面光学元件表面的多个特征标记在共焦位置测量数据中形成的特征形状进行准确的旋转角度控制和数据匹配，然后将多组由“猫眼”位置测量、被测球面光学元件某一共焦位置测量和与之相对旋转180度后共焦位置测量组成的三位置法计算结果进行平均处理，以提高被测球面光学元件绝对面形误差的准确性。本发明无需复杂的调整机构和辅助对准装置，同时可避免反复进行光路调整，在实际操作中的方便性和绝对测量结果的准确性之间保持了较好的平衡，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101943559A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010253138.4
申请日：2010-08-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B5/008
Abstract: 本发明是一种利用三坐标测量机检测大口径非球面光学元件的方法，利用信息处理技术对三坐标测量机获取的数据进行处理，采取利用测头补偿的方法对三坐标测量机的测头进行误差补偿，利用最小二乘法剔除检测数据的倾斜和平移误差，并剔除由格兰姆-施密特正交化方法进行面形数据Zernike多项式拟合后的常数项和倾斜项，复原被检测的大口径非球面光学元件面形，以实现大口径光学元件高精度三坐标测量目的。本发明全面考虑被检大口径非球面光学元件三坐标测量机的误差源，从而可以更加真实客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用测头补偿和最小二乘法对光学元件面形测量误差进行处理，对高精度大口径光学元件的面形检测具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN101858735A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010181989.2
申请日：2010-05-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径离轴非球面测量和标定系统，包括一台干涉仪、标准镜头、两个平凹透镜、一个直角反射棱镜、一块标准平面反射镜以及需要测量或者标定的离轴非球面组成。从干涉仪发射出来的标准平行光，经过标准镜头后会聚于需要测量或者标定的离轴非球面的焦点上，再经过离轴非球面的反射后变成平行光并由标准平面反射镜沿原光路反射回来，最后由干涉仪的图像处理软件对大口径离轴非球面的面形进行分析处理，完成大口径离轴非球面测量。而同样从干涉仪中心发射出的细光束，沿着主光轴方向入射到第一个平凹透镜上，透射后进入直角反射棱镜，并经其反射后偏转90°，入射到第二个平凹透镜上，最后经过离轴非球面表面矢高的最低点与最高点射出，移动标准平面反射镜使这一束光沿原路返回，可保证各个元器件的中心在同一高度，并可根据已知条件完成大口径离轴非球面的几何参数测量与标定。
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公开(公告)号：CN101339008A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810119127.X
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种检测大口径抛物面镜K值系数的装置，其特征在于：包括高精度测角仪、标准平面反射镜、校准平面反射镜、标准球面反射镜、平移台、二维旋转调节架；检测时，高精度测角仪发出平行光束，经标准平面反射镜和被测大口径抛物面镜反射后，到达标准球面反射镜，反射后沿原光路返回，再次经过被测大口径抛物面镜和标准平面反射镜后回到高精度测角仪，这样高精度测角仪就能测出发出平行光束和返回平行光束之间的角度差，根据不同位置采样检测得到的角度差值，可以拟合出被测大口径抛物面镜的K值系数；本发明采用采样检测和高精度角度测量使K值误差转换为角度误差的形式，为大口径抛物面面形加工提供准确的指导信息。
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公开(公告)号：CN101285734A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810113461.4
申请日：2008-05-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 扇形离轴非球面拼接测量系统，包括菲索型干涉仪、被测扇形离轴非球面镜、电控平移台及计算机控制系统；通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪主机，使得标准镜头产生的不同曲率半径的参考球面波前，与被测扇形离轴非球面相应的扇形区域相匹配，通过安装在计算机系统上的菲索型干涉仪的数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来；由扩展的扇形子孔径“拼接”算法对所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息；本发明无需特殊的辅助光学元件就能实现适当偏离量的扇形离轴非球面的低成本检测，具有较大的应用价值。
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